JPH02124934U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02124934U JPH02124934U JP3295589U JP3295589U JPH02124934U JP H02124934 U JPH02124934 U JP H02124934U JP 3295589 U JP3295589 U JP 3295589U JP 3295589 U JP3295589 U JP 3295589U JP H02124934 U JPH02124934 U JP H02124934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carriage
- fixed
- rack
- guide block
- meshes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案に係わる実施例の装置の平面
図、第２図はその断面図、第３図は従来例の平面
図、第４図はその断面図である。 １……第１台車、２……第２台車、３……第１台
車ガイドブロツク、４……第２台車ガイドブロツ
ク、５……アクチユエータ、６……伝達車、１３
……第１ラツク、１４……第２ラツク、１５……
第３ラツク、１７……ピニオン。
図、第２図はその断面図、第３図は従来例の平面
図、第４図はその断面図である。 １……第１台車、２……第２台車、３……第１台
車ガイドブロツク、４……第２台車ガイドブロツ
ク、５……アクチユエータ、６……伝達車、１３
……第１ラツク、１４……第２ラツク、１５……
第３ラツク、１７……ピニオン。
Claims (1)
- 被搬送部材を搭載したスライドする第１台車と
、前記第１台車をガイドする第１台車ガイドブロ
ツクと、前記第１台車ガイドブロツクを固着し、
かつ、真空容器底壁上に固定した第２台車ガイド
ブロツクにより案内され、スライドする第２台車
と、前記第２台車に装着されたベアリングで保持
され、第１台車および真空容器底壁上に固定され
た第１ラツクおよび第２ラツク双方に噛合う伝達
歯車と、第２台車に固定され、アクチユエータに
固着されたピニオンと噛合う第３ラツクにより構
成された真空装置の搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295589U JPH02124934U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3295589U JPH02124934U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124934U true JPH02124934U (ja) | 1990-10-15 |
Family
ID=31536250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3295589U Pending JPH02124934U (ja) | 1989-03-23 | 1989-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02124934U (ja) |
-
1989
- 1989-03-23 JP JP3295589U patent/JPH02124934U/ja active Pending
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