JPH02126113U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02126113U JPH02126113U JP3517189U JP3517189U JPH02126113U JP H02126113 U JPH02126113 U JP H02126113U JP 3517189 U JP3517189 U JP 3517189U JP 3517189 U JP3517189 U JP 3517189U JP H02126113 U JPH02126113 U JP H02126113U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- outlet
- air
- transport mechanism
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Description
図はこの考案の一実施例を示し、第１図は要部
の正面図、第２図は同じく側面図、第３図は全体
の側面図である。 １……本体、２……入口、３……出口、４……
成膜装置（基板処理装置）、５……コンベア（搬
送機構）、６……カート（搬送機構）、９……エ
アノズル、１０……ブローフアン、１４，１５…
…シヤワーノズル、１８……排気口。
の正面図、第２図は同じく側面図、第３図は全体
の側面図である。 １……本体、２……入口、３……出口、４……
成膜装置（基板処理装置）、５……コンベア（搬
送機構）、６……カート（搬送機構）、９……エ
アノズル、１０……ブローフアン、１４，１５…
…シヤワーノズル、１８……排気口。
Claims (1)
- 入口および出口を有するトンネル状の本体と、
この本体の出口に接続された基板処理装置と、前
記本体内および前記基板処理装置内に順に基板を
搬送する搬送機構と、前記本体の入口および出口
にエアを噴出してこれら入口および出口にエアカ
ーテンを形成するエアノズルと、前記本体の天井
部分からその下方に向けて層流のエアを送風する
ブローフアンと、前記本体の内側の両側部に設け
られ該本体内に送り込まれた基板の両側の表面に
ダスト除去用の気体を噴射するシヤワーノズルと
、前記本体の下部に設けられた排気口とを具備す
ることを特徴とする基板のダスト除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3517189U JPH02126113U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3517189U JPH02126113U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126113U true JPH02126113U (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=31540296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3517189U Pending JPH02126113U (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02126113U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006022993A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Sanki Eng Co Ltd | 異物侵入防止設備 |
| JP2017189720A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | トヨタ自動車株式会社 | 異物除去装置 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP3517189U patent/JPH02126113U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006022993A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Sanki Eng Co Ltd | 異物侵入防止設備 |
| JP2017189720A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | トヨタ自動車株式会社 | 異物除去装置 |