JPH01125357U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01125357U JPH01125357U JP1954388U JP1954388U JPH01125357U JP H01125357 U JPH01125357 U JP H01125357U JP 1954388 U JP1954388 U JP 1954388U JP 1954388 U JP1954388 U JP 1954388U JP H01125357 U JPH01125357 U JP H01125357U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- sputtering
- gas
- target
- causing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるスパツタリン
グ装置の概略断面構成図、第２図はその基板ホル
ダ及びガス導入、導出ガイド部分の斜視図、第３
図は該装置における基板ホルダの一部斜視図、第
４図は本考案の他の実施例によるスパツタリング
装置に適用される基板カートの正面図、第５図は
その側面図、第６図はその断面側面図、第７図は
その一部斜視図である。 １……真空室、５……基板、６……ターゲツト
、９……ガス導入、導出ガイド。
グ装置の概略断面構成図、第２図はその基板ホル
ダ及びガス導入、導出ガイド部分の斜視図、第３
図は該装置における基板ホルダの一部斜視図、第
４図は本考案の他の実施例によるスパツタリング
装置に適用される基板カートの正面図、第５図は
その側面図、第６図はその断面側面図、第７図は
その一部斜視図である。 １……真空室、５……基板、６……ターゲツト
、９……ガス導入、導出ガイド。
Claims (1)
- 真空容器内に対向して設けられた基板とターゲ
ツトとの間に放電を起こさせ、前記ターゲツトか
らのスパツタリング粒子を前記基板表面に付着さ
せて成膜を行うスパツタリング装置において、放
電領域を除く前記基板周囲の領域に対してスパツ
タリング用のガスを導入し、かつ排出するための
ガス導入ガイド及びガス導出ガイドを設け、前記
基板表面に沿つてガス経路が形成されるようにし
たことを特徴とするスパツタリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1954388U JPH01125357U (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1954388U JPH01125357U (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125357U true JPH01125357U (ja) | 1989-08-25 |
Family
ID=31235147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1954388U Pending JPH01125357U (ja) | 1988-02-17 | 1988-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125357U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02163377A (ja) * | 1988-12-18 | 1990-06-22 | Ulvac Corp | 仕込・取出室 |
| JP2001107231A (ja) * | 1999-10-01 | 2001-04-17 | Toppan Printing Co Ltd | スパッタリング成膜装置及びそれを用いたフォトマスクブランクスの製造方法 |
-
1988
- 1988-02-17 JP JP1954388U patent/JPH01125357U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02163377A (ja) * | 1988-12-18 | 1990-06-22 | Ulvac Corp | 仕込・取出室 |
| JP2001107231A (ja) * | 1999-10-01 | 2001-04-17 | Toppan Printing Co Ltd | スパッタリング成膜装置及びそれを用いたフォトマスクブランクスの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| USD267906S (en) | Electrified vacuum hose for a wet/dry vaccum cleaner | |
| USD266701S (en) | Ultrasonic nebulizer | |
| JPH01125357U (ja) | ||
| USD258535S (en) | Ultrasonic nebulizer | |
| USD275136S (en) | Combined bag and bag support for an upright vacuum cleaner | |
| USD274149S (en) | Design for an upright vacuum cleaner | |
| JPH01174922U (ja) | ||
| JPH01168551U (ja) | ||
| JPS61171765U (ja) | ||
| JPS6319565U (ja) | ||
| JPH01106561U (ja) | ||
| JPS6373357U (ja) | ||
| JPS6311558U (ja) | ||
| JPS6343098U (ja) | ||
| JPH01158942U (ja) | ||
| JPH036459U (ja) | ||
| JPH0374663U (ja) | ||
| JPH0233234U (ja) | ||
| JPS6450757U (ja) | ||
| JPH03123568U (ja) | ||
| JPS61108358U (ja) | ||
| JPS61147170U (ja) | ||
| JPS6265908U (ja) | ||
| JPS63143569U (ja) | ||
| JPS63127974U (ja) |