JPH0212699B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0212699B2 JPH0212699B2 JP56036469A JP3646981A JPH0212699B2 JP H0212699 B2 JPH0212699 B2 JP H0212699B2 JP 56036469 A JP56036469 A JP 56036469A JP 3646981 A JP3646981 A JP 3646981A JP H0212699 B2 JPH0212699 B2 JP H0212699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- workpiece
- station
- rotary
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/007—Weight compensation; Temperature compensation; Vibration damping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、薄板状小物部品の高能率な研削加工
と被加工物の平面度の向上を可能とする研削方法
に関するものである。
と被加工物の平面度の向上を可能とする研削方法
に関するものである。
薄板状小物部品の研削加工に使用されている平
面研削盤の基本的な形式は、砥石軸およびテーブ
ルの構造により、大別して横軸角テーブル形、横
軸円テーブル形、立軸角テーブル形および立軸円
テーブル形の４形式に分類できる。
面研削盤の基本的な形式は、砥石軸およびテーブ
ルの構造により、大別して横軸角テーブル形、横
軸円テーブル形、立軸角テーブル形および立軸円
テーブル形の４形式に分類できる。
これらの従来形平面研削盤では、被加工物に対
する砥石の研削送りは、いずれの形式でもテーブ
ル側（被加工物側）で与えていた。すなわち、研
削中はテーブルが移動している。
する砥石の研削送りは、いずれの形式でもテーブ
ル側（被加工物側）で与えていた。すなわち、研
削中はテーブルが移動している。
このため、研削中に同一テーブル上で他の被加
工物の着脱を行なうことは困難で、一般的には、
研削完了後テーブルを一旦停止させて研削完了し
た被加工物の取はずしおよび次に研削すべき被加
工物の取付けを行ない、再び研削を行なうという
サイクルが必要であり、したがつて、被加工物の
着脱中は研削作業が中断され、全体の作業能率を
低下させるという欠点があつた。また、砥石軸を
固定し、テーブルを低速で移動させて被加工物に
対する研削送りを与え、その研削中に他の被加工
物のテーブルへの着脱を行なうことも一部では試
みられているが、被加工物の着脱を可能とするた
めにテーブル移動速度（加工速度）が低く押さえ
られ、これによる作業能率の低下は避けられず、
また研削送り方向に対する平面図が不十分である
という問題点があつた。すなわち上記従来技術の
一方向のみからの加工では、研削線の長さの変化
により研削抵抗が変動し、研削面が中高の傾向に
なるというものである。
工物の着脱を行なうことは困難で、一般的には、
研削完了後テーブルを一旦停止させて研削完了し
た被加工物の取はずしおよび次に研削すべき被加
工物の取付けを行ない、再び研削を行なうという
サイクルが必要であり、したがつて、被加工物の
着脱中は研削作業が中断され、全体の作業能率を
低下させるという欠点があつた。また、砥石軸を
固定し、テーブルを低速で移動させて被加工物に
対する研削送りを与え、その研削中に他の被加工
物のテーブルへの着脱を行なうことも一部では試
みられているが、被加工物の着脱を可能とするた
めにテーブル移動速度（加工速度）が低く押さえ
られ、これによる作業能率の低下は避けられず、
また研削送り方向に対する平面図が不十分である
という問題点があつた。すなわち上記従来技術の
一方向のみからの加工では、研削線の長さの変化
により研削抵抗が変動し、研削面が中高の傾向に
なるというものである。
本発明は、被加工物の着脱のために研削作業を
中断したり、加工速度を低下させる必要をなくし
て高能率な研削加工を実現し、併せて加工平面度
の向上を図ることを目的とし、この目的を達成す
るため、複数のスピンドルヘツドにそれぞれ砥石
を装着し、被加工物に対する砥石の研削送りを砥
石側で与え、テーブル（被加工物）が停止した状
態で研削を行ない、その間に同一テーブル上での
他の被加工物の着脱を行ない、各砥石のもどり行
程でのテーブルの回転（割出し運動）により次に
研削すべき被加工物を研削位置に移動させ、順送
り式に複数の互いに異なる方向から研削すること
により、高能率で、しかも従来技術に見られた中
高量をなくし平面度のすぐれた研削方法を提供す
るものである。
中断したり、加工速度を低下させる必要をなくし
て高能率な研削加工を実現し、併せて加工平面度
の向上を図ることを目的とし、この目的を達成す
るため、複数のスピンドルヘツドにそれぞれ砥石
を装着し、被加工物に対する砥石の研削送りを砥
石側で与え、テーブル（被加工物）が停止した状
態で研削を行ない、その間に同一テーブル上での
他の被加工物の着脱を行ない、各砥石のもどり行
程でのテーブルの回転（割出し運動）により次に
研削すべき被加工物を研削位置に移動させ、順送
り式に複数の互いに異なる方向から研削すること
により、高能率で、しかも従来技術に見られた中
高量をなくし平面度のすぐれた研削方法を提供す
るものである。
以下、本発明を図面に従つて詳細に説明する。
第１図は本発明の研削方法を実施する研削装置
の一例を示す。図中、１はベツド、２はコラム
で、ベツド１上に設けられた案内面３に沿つて図
の左右方向に摺動可能なように載置されている。
４はスピンドルヘツドで、コラム２に設けられた
案内面５に沿つて鉛直面内上下方向に摺動可能な
ように保持されている。６は砥石で、スピンドル
ヘツド４に回転自在に保持された回転自在に保持
された鉛直砥石軸７に取付けられている。８はテ
ーブルで、ベツド１に軸心が砥石軸７と平行で、
かつ回転自在に保持された主軸９の上端に固定さ
れている。１０，１１はテーブル８の位置検出用
のリミツトスイツチおよびドツグである。１２は
砥石軸７の駆動用モードで、ベルト１３、プール
１４，１５等と共に砥石軸駆動装置を構成する。
１６はスピンドルヘツド４の駆動用モータで、ギ
ヤ１７，１８、送りねじ１９等と共にスピンドル
ヘツド駆動装置を構成する。２０はコラム２の駆
動用モータで、２段変速ギヤ２１，２２、送りね
じ２３等と共にコラム駆動装置を構成する。２４
は主軸９の駆動用モータで、ギヤ２５，２６、前
記リミツトスイツチ１０、ドツグ１１等と共にテ
ーブル８の割出し装置を構成する。２７は被加工
物である。
の一例を示す。図中、１はベツド、２はコラム
で、ベツド１上に設けられた案内面３に沿つて図
の左右方向に摺動可能なように載置されている。
４はスピンドルヘツドで、コラム２に設けられた
案内面５に沿つて鉛直面内上下方向に摺動可能な
ように保持されている。６は砥石で、スピンドル
ヘツド４に回転自在に保持された回転自在に保持
された鉛直砥石軸７に取付けられている。８はテ
ーブルで、ベツド１に軸心が砥石軸７と平行で、
かつ回転自在に保持された主軸９の上端に固定さ
れている。１０，１１はテーブル８の位置検出用
のリミツトスイツチおよびドツグである。１２は
砥石軸７の駆動用モードで、ベルト１３、プール
１４，１５等と共に砥石軸駆動装置を構成する。
１６はスピンドルヘツド４の駆動用モータで、ギ
ヤ１７，１８、送りねじ１９等と共にスピンドル
ヘツド駆動装置を構成する。２０はコラム２の駆
動用モータで、２段変速ギヤ２１，２２、送りね
じ２３等と共にコラム駆動装置を構成する。２４
は主軸９の駆動用モータで、ギヤ２５，２６、前
記リミツトスイツチ１０、ドツグ１１等と共にテ
ーブル８の割出し装置を構成する。２７は被加工
物である。
上記構成において、砥石６の研削運動は砥石軸
７の回転により与えられ、被加工物２７への切込
み運動はスピンドルヘツド４の上下運動により与
えられ、また被加工物２７に対する研削送り運動
はコラム２の左右運動により与えられる。
７の回転により与えられ、被加工物２７への切込
み運動はスピンドルヘツド４の上下運動により与
えられ、また被加工物２７に対する研削送り運動
はコラム２の左右運動により与えられる。
テーブル８は研削中は停止しており、研削完了
後、主軸９の回転によりリミツトスイツチ１０と
ドツグ１１とで設定された一定角度の割出し運動
が与えられる。
後、主軸９の回転によりリミツトスイツチ１０と
ドツグ１１とで設定された一定角度の割出し運動
が与えられる。
次に、被加工物としてシリコンウエハを例にと
り、上記装置を用いた研削方法の一例を第２図に
よつて説明する。第２図は砥石６と被加工物２７
の関係を拡大して模式的に示した側面図、第３図
は２軸のスピンドルヘツドに装着した砥石６と被
加工物２７の関係を平面的に示した模式図であ
る。
り、上記装置を用いた研削方法の一例を第２図に
よつて説明する。第２図は砥石６と被加工物２７
の関係を拡大して模式的に示した側面図、第３図
は２軸のスピンドルヘツドに装着した砥石６と被
加工物２７の関係を平面的に示した模式図であ
る。
第２図において、最初は砥石６が被加工物２７
から上下、左右方向に一定距離だけ離れた原点○イ
にある。砥石６はこの原点から出発して被加工物
２７の仕上寸法となる位置○ロに切込み運動によつ
て下降する。次に、砥石６は右方向へ研削送りで
進み、○ハの位置で研削完了となり、ただちに上方
位置○ニを経由して原点○イまで早送りでもどる。
から上下、左右方向に一定距離だけ離れた原点○イ
にある。砥石６はこの原点から出発して被加工物
２７の仕上寸法となる位置○ロに切込み運動によつ
て下降する。次に、砥石６は右方向へ研削送りで
進み、○ハの位置で研削完了となり、ただちに上方
位置○ニを経由して原点○イまで早送りでもどる。
第３図において、，は加工ステーシヨン、
，は着脱ステーシヨンで、テーブル８上の軸
対称な位置に設定されており、それぞれのステー
シヨンには短時間に被加工物の着脱ができるよう
に真空チヤツク等が装備されている。
，は着脱ステーシヨンで、テーブル８上の軸
対称な位置に設定されており、それぞれのステー
シヨンには短時間に被加工物の着脱ができるよう
に真空チヤツク等が装備されている。
上記した第２図○イから○ハへの砥石６の運動によ
り、第３図に示す加工ステーシヨン，では被
加工物２７が取代（ｔ）分だけ研削される。この
間に、着脱ステーシヨン，では前の研削サイ
クルで研削完了した被加工物の取はずし、および
次に研削すべき被加工物の取付けが行なわれる。
被加工物の着脱を手作業で行なう場合、研削完了
した被加工物は着脱ステーシヨンからカセツト
２８へ移され、次に研削すべき被加工物はカセツ
ト２９から着脱ステーシヨンへ供給される。
り、第３図に示す加工ステーシヨン，では被
加工物２７が取代（ｔ）分だけ研削される。この
間に、着脱ステーシヨン，では前の研削サイ
クルで研削完了した被加工物の取はずし、および
次に研削すべき被加工物の取付けが行なわれる。
被加工物の着脱を手作業で行なう場合、研削完了
した被加工物は着脱ステーシヨンからカセツト
２８へ移され、次に研削すべき被加工物はカセツ
ト２９から着脱ステーシヨンへ供給される。
研削完了後、砥石６が○ニの位置へ移動すると、
ただちにテーブル８はリミツトスイツチ１０とド
ツグ１１により設定された90゜の割出し運動（回
転方向を矢印30で示す）を行ない、砥石６が原点
○イへもどつたときには、次に研削すべき被加工物
の取付けられた着脱ステーシヨンがステーシヨ
ンの位置に移動し、また加工ステーシヨンに
あつた被加工物は加工ステーシヨンの位置へ移
動する。このとき、被加工物は加工ステーシヨン
と加工ステーシヨンとで位相が90゜ずれるこ
とになるから、研削方向が90゜異なる方向から研
削されることになり、これによつて研削抵抗の変
動による中高傾向となる加工の修正が可能であ
る。加工ステーシヨンにおける加工取代は、加
工ステーシヨンにおける加工取代と等量にする
必要がないことは勿論で、加工取代は研削条件に
よつて選択することができる。以後は上記サイク
ルを繰り返し、次々と研削加工を実施する。
ただちにテーブル８はリミツトスイツチ１０とド
ツグ１１により設定された90゜の割出し運動（回
転方向を矢印30で示す）を行ない、砥石６が原点
○イへもどつたときには、次に研削すべき被加工物
の取付けられた着脱ステーシヨンがステーシヨ
ンの位置に移動し、また加工ステーシヨンに
あつた被加工物は加工ステーシヨンの位置へ移
動する。このとき、被加工物は加工ステーシヨン
と加工ステーシヨンとで位相が90゜ずれるこ
とになるから、研削方向が90゜異なる方向から研
削されることになり、これによつて研削抵抗の変
動による中高傾向となる加工の修正が可能であ
る。加工ステーシヨンにおける加工取代は、加
工ステーシヨンにおける加工取代と等量にする
必要がないことは勿論で、加工取代は研削条件に
よつて選択することができる。以後は上記サイク
ルを繰り返し、次々と研削加工を実施する。
第１図に示したコラム２、スピンドルヘツド
４、砥石軸７の各駆動装置およびテーブル８の割
出し装置は、数値制御等により所定のシーケンス
に従つて関連動作し、上記した砥石６の所定切込
み位置への下降、研削送り、上昇、もどりの研削
サイクルおよび砥石のもどり行程でのテーブル８
の割出し運動を繰返し行なうように設定されてい
る（制御系の構成は図示説明を省略する）。
４、砥石軸７の各駆動装置およびテーブル８の割
出し装置は、数値制御等により所定のシーケンス
に従つて関連動作し、上記した砥石６の所定切込
み位置への下降、研削送り、上昇、もどりの研削
サイクルおよび砥石のもどり行程でのテーブル８
の割出し運動を繰返し行なうように設定されてい
る（制御系の構成は図示説明を省略する）。
第４図には本発明の他の実施例として、砥石軸
数３軸、加工ステーシヨン数３、脱脱ステーシヨ
ン数２の場合の砥石６と被加工物２７の関係を模
式的に示す。このように砥石軸数およびステーシ
ヨン数を増す場合には、粒度の異なる砥石を使用
することにより、ステーシヨンの移動に従い、異
なる方向に対する研削加工をを順次おこなうこと
ができ、また研削条件によつては粗研削、仕上研
削を組み合わせた多段階研削加工を同時に行なう
こともできる。また、ステーシヨン数を増せば、
研削中に他の被加工物の測定作業を同時に行なう
ことも可能となる。すなわち、第３図ではステー
シヨン，で研削を行なつている間にステーシ
ヨン，で被加工物の着脱を行ない、第４図で
はステーシヨン，，で研削を行なつている
間にステーシヨン，で被加工物の着脱若しく
はステーシヨンで測定作業をおこないステーシ
ヨンで着脱をおこなうことも可能である。
数３軸、加工ステーシヨン数３、脱脱ステーシヨ
ン数２の場合の砥石６と被加工物２７の関係を模
式的に示す。このように砥石軸数およびステーシ
ヨン数を増す場合には、粒度の異なる砥石を使用
することにより、ステーシヨンの移動に従い、異
なる方向に対する研削加工をを順次おこなうこと
ができ、また研削条件によつては粗研削、仕上研
削を組み合わせた多段階研削加工を同時に行なう
こともできる。また、ステーシヨン数を増せば、
研削中に他の被加工物の測定作業を同時に行なう
ことも可能となる。すなわち、第３図ではステー
シヨン，で研削を行なつている間にステーシ
ヨン，で被加工物の着脱を行ない、第４図で
はステーシヨン，，で研削を行なつている
間にステーシヨン，で被加工物の着脱若しく
はステーシヨンで測定作業をおこないステーシ
ヨンで着脱をおこなうことも可能である。
以上説明したように本発明では、テーブル（被
加工物）が停止した状態で、研削加工と他の被加
工物の着脱を同時に行なえるようにしたので、被
加工物の着脱のための無駄時間が皆無で、純粋の
研削サイクル時間が全作業時間となり、また被加
工物の着脱のために研削送り速度を低くする必要
もなく、したがつて極めて高能率な研削加工と加
工平面度及び精度の向上が可能となるという効果
がある。
加工物）が停止した状態で、研削加工と他の被加
工物の着脱を同時に行なえるようにしたので、被
加工物の着脱のための無駄時間が皆無で、純粋の
研削サイクル時間が全作業時間となり、また被加
工物の着脱のために研削送り速度を低くする必要
もなく、したがつて極めて高能率な研削加工と加
工平面度及び精度の向上が可能となるという効果
がある。
第１図は本発明の研削方法を実施する研削装置
の一例を示す側断面図、第２図は第１図の装置を
用いて研削加工を行なう場合の砥石と被加工物の
関係を模式的に示した側面図および平面図、第３
図は本発明に係る研削方法における砥石と被加工
物の関係を模式的に示した一実施例平面図、第４
図は本発明の他の実施例平面図である。 １…ベツド、２…コラム、４…スピンドルヘツ
ド、６…砥石、７…砥石軸、８…テーブル、９…
主軸、１０…テーブル位置検出用リミツトスイツ
チ、１１…ドツグ、１２…砥石軸駆動用モータ、
１６…スピンドルヘツド駆動用モータ、２０…コ
ラム駆動用モータ、２４…主軸駆動用モータ、２
７…被加工物、〜…ステーシヨン。
の一例を示す側断面図、第２図は第１図の装置を
用いて研削加工を行なう場合の砥石と被加工物の
関係を模式的に示した側面図および平面図、第３
図は本発明に係る研削方法における砥石と被加工
物の関係を模式的に示した一実施例平面図、第４
図は本発明の他の実施例平面図である。 １…ベツド、２…コラム、４…スピンドルヘツ
ド、６…砥石、７…砥石軸、８…テーブル、９…
主軸、１０…テーブル位置検出用リミツトスイツ
チ、１１…ドツグ、１２…砥石軸駆動用モータ、
１６…スピンドルヘツド駆動用モータ、２０…コ
ラム駆動用モータ、２４…主軸駆動用モータ、２
７…被加工物、〜…ステーシヨン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 割出し運動する回転テーブルの回転軸と平行
な回転砥石軸に装着した回転砥石の平端面によつ
て、前記回転テーブルに固定した被加工物に平面
研削加工を行なう研削方法において、 複数の回転砥石軸にそれぞれ装着した回転砥石
を所定の間隔で配置し、前記回転テーブルの円周
に沿つた内側に少なくとも２つの着脱ステーシヨ
ンと、少なくとも２つの加工ステーシヨンとを設
けると共に、前記各回転砥石を前記各加工ステー
シヨンにそれぞれ対向させ、前記加工ステーシヨ
ンでの被加工物の加工中に前記着脱ステーシヨン
で前記被加工物を着脱するように構成し、 前記加工ステーシヨンにおいて被加工物を順次
割出し運動による位置決めを行なう段階と、 前記各回転砥石を、対向する前記各加工ステー
シヨンにある被加工物に対して、相互に平行な方
向へ研削送りして研削加工する段階との２段階を
少なくとも２回実施することにより、 前記被加工物に対して順次異なる複数方向から
研削加工することを特徴とする研削方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56036469A JPS57156157A (en) | 1981-03-16 | 1981-03-16 | Grinding method and device |
| US06/581,269 US4587765A (en) | 1981-03-16 | 1984-02-17 | Method of an apparatus for grinding work surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56036469A JPS57156157A (en) | 1981-03-16 | 1981-03-16 | Grinding method and device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57156157A JPS57156157A (en) | 1982-09-27 |
| JPH0212699B2 true JPH0212699B2 (ja) | 1990-03-26 |
Family
ID=12470668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56036469A Granted JPS57156157A (en) | 1981-03-16 | 1981-03-16 | Grinding method and device |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4587765A (ja) |
| JP (1) | JPS57156157A (ja) |
Families Citing this family (11)
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| JPH0692042B2 (ja) * | 1985-05-22 | 1994-11-16 | 豊田工機株式会社 | 主軸装置 |
| JPS63185559A (ja) * | 1987-01-24 | 1988-08-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光フアイバコネクタ端面研磨装置 |
| US5934983A (en) * | 1996-04-08 | 1999-08-10 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Double-side grinding method and double-side grinder |
| US6358851B1 (en) * | 2000-04-04 | 2002-03-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Sputter PM procedures with polish tool to effectively remove metal defects from target surface nodules (residue) |
| GB2373466B (en) * | 2001-03-22 | 2004-05-19 | Unova Uk Ltd | Method of reducing thermal distortion in grinding machines |
| US20040166770A1 (en) * | 2003-02-25 | 2004-08-26 | Flasch Joseph W. | Grinding apparatus and method |
| JP5619559B2 (ja) * | 2010-10-12 | 2014-11-05 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| CN106112718A (zh) * | 2016-07-01 | 2016-11-16 | 芜湖中驰机床制造有限公司 | 一种高精度平面磨床 |
| CN109571156A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-04-05 | 刘兴秋 | 一种研磨抛光机组 |
| JP7638600B2 (ja) * | 2021-06-15 | 2025-03-04 | 株式会社ディスコ | 被加工物の研削方法 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1981
- 1981-03-16 JP JP56036469A patent/JPS57156157A/ja active Granted
-
1984
- 1984-02-17 US US06/581,269 patent/US4587765A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4587765A (en) | 1986-05-13 |
| JPS57156157A (en) | 1982-09-27 |
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