JPH02129196U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による静電吸着装置の一実施例
における誘電体の配置パターンを示す図、第２図
は別の実施例の配置パターンの説明図、第３図は
静電吸着装置の基本的構成を示す断面図、第４図
は従来例を説明するための図面である。 １……吸着層、２……段階スイツチ、３……電
源、１０……静電吸着装置、１１ａ，１１ｂ，１
２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ……導電体、３０
……静電吸着装置、３１……絶縁層、３２……吸
着層、３３……被吸着物、３４，３５……導電体
、３６……電源、３７……浮上り部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 吸着層内または吸着層の一側面側に互に電気
   的に分離されて配設される対の導電体を有し、こ
   の対となる導電体間に印加される直流電圧または
   それと等価な電圧による静電的吸引力により前記
   吸着層の他側面側に位置される被吸着物を吸着保
   持する静電吸着装置において、 それぞれ対となる導電体を複数対設けるととも
   に、一の対の導電体が前記吸着層面域の中央部に
   設けられており、その周囲に他の対の導電体が存
   在する配置となされており、 中央部に設けられた対の導電体からその周囲に
   配設された対の導電体に及ぶ順序で、これらの対
   の導電体に直流電圧またはそれと等価な電圧を印
   加する段階スイツチを付設した ことを特徴とする静電吸着装置。 ２ 複数の対となる導電体のうち、一の対の導電
   体が吸着層面域の中央部に設けられ、他の対の導
   電体が順次その各周囲に配置されているとともに
   、中央部の一の対の導電体から各周囲に位置する
   他の複数の対の導電体に及ぶ順序で直流電圧また
   はそれと等価な電圧が印加されていく構成とした
   請求項第１項に記載の静電吸着装置。