JPH0414489U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0414489U JPH0414489U JP5521390U JP5521390U JPH0414489U JP H0414489 U JPH0414489 U JP H0414489U JP 5521390 U JP5521390 U JP 5521390U JP 5521390 U JP5521390 U JP 5521390U JP H0414489 U JPH0414489 U JP H0414489U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- conductors
- electrostatic
- adsorption layer
- adsorption device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図ないし第７図は本考案の静電吸着装置の
説明図であつて、第１図は本考案の一実施例の導
電体の配置を示す平面説明図、第２図は本考案の
一実施例の構造の説明図、第３図ないし第７図は
印加された導電体の選択を例示する要部説明図、
第８図は静電吸着装置の要部断面説明図、第９図
は静電吸着装置の従来例を示す図である。 １……吸着層、２……選択接続スイツチ、３…
…電源、１０……静電吸着装置、３０……静電吸
着装置、３１……絶縁層、３２……吸着層、３３
……被吸着物、３４，３５……導電体、３６……
電源、ａ，ｂ，ｃ，ｄ……導電体、Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ……接続口。
説明図であつて、第１図は本考案の一実施例の導
電体の配置を示す平面説明図、第２図は本考案の
一実施例の構造の説明図、第３図ないし第７図は
印加された導電体の選択を例示する要部説明図、
第８図は静電吸着装置の要部断面説明図、第９図
は静電吸着装置の従来例を示す図である。 １……吸着層、２……選択接続スイツチ、３…
…電源、１０……静電吸着装置、３０……静電吸
着装置、３１……絶縁層、３２……吸着層、３３
……被吸着物、３４，３５……導電体、３６……
電源、ａ，ｂ，ｃ，ｄ……導電体、Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ……接続口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 吸着層内または吸着層の一側面側に互に電気的
に分離され配設される対の導電体を有し、この対
となる導電体間に印加される直流電圧またはそれ
と等価な電圧による静電的吸引力により前記吸着
層の他側面側に位置される被吸着物を吸着保持す
る静電吸着装置において、 一対となる二個の導電体が配置されて形成され
る電極パターン間に、それら電極パターンに平行
する少なくとも一個の導電体が設けられた吸着板
と、 前記吸着板の少くとも二個以上の導電体に同時
に給電可能な通電手段と を備えたことを特徴とする静電吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990055213U JP2516020Y2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 静電吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990055213U JP2516020Y2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 静電吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414489U true JPH0414489U (ja) | 1992-02-05 |
| JP2516020Y2 JP2516020Y2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=31577963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990055213U Expired - Lifetime JP2516020Y2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | 静電吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516020Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6164637A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 給紙装置 |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP1990055213U patent/JP2516020Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6164637A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 給紙装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2516020Y2 (ja) | 1996-11-06 |