JPH02129727U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02129727U JPH02129727U JP3640389U JP3640389U JPH02129727U JP H02129727 U JPH02129727 U JP H02129727U JP 3640389 U JP3640389 U JP 3640389U JP 3640389 U JP3640389 U JP 3640389U JP H02129727 U JPH02129727 U JP H02129727U
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- JP
- Japan
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- sample
- sample stage
- metal material
- pressure
- deformed
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- Pending
Links
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の試料台の縦断面図
である。 １……試料、２……金属薄膜、３……試料台、
４……冷媒供給口、５……冷媒排出口、６……試
料押え、７……冷媒。
である。 １……試料、２……金属薄膜、３……試料台、
４……冷媒供給口、５……冷媒排出口、６……試
料押え、７……冷媒。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 減圧下で処理される試料が設置される試料台
において、流体圧力により試料設置面が前記試料
の裏面に沿つて変形可能で良好な熱伝導性を有す
る金属材料で形成したことを特徴とする試料台。 ２ 前記金属材料として、前記試料台に供給され
る熱媒体の圧力により前記変形可能な材料を用い
た第１請求項の記載の試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3640389U JPH02129727U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3640389U JPH02129727U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129727U true JPH02129727U (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=31542601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3640389U Pending JPH02129727U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02129727U (ja) |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP3640389U patent/JPH02129727U/ja active Pending
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