JPH0213063Y2

JPH0213063Y2 -

Info

Publication number: JPH0213063Y2
Application number: JP1984065885U
Authority: JP
Priority date: 1984-05-04
Filing date: 1984-05-04
Publication date: 1990-04-11
Also published as: JPS60176226U

Description

【考案の詳細な説明】（技術分野）本考案はエアフイルター装置、特に、99.97％
以上の捕集効率を有する低騒音で軽量・薄型のエ
アフイルター装置に関する。

（従来技術）半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオ
テクノロジー、製薬工業、病院などの分野におい
ては超高度の清浄空間が必要とされる。清浄空間
には、作業環境全域を清浄化するクリーンルーム
や、作業環境を局部的に清浄化するクリーンベン
チ、クリーンブースなどがある。このような清浄
空間を創製するための送風機とフイルターとを組
み合わせたエアフイルター装置はすでに知られて
いる。この従来の装置はいずれも厚さ（奥ゆき）
が極端に大きいため全体として大型であり重量も
大きい。そのため、騒音も大きく、広い設置空間
を要するうえに取り付け作業が容易ではない。

（考案の目的）本考案の目的は、捕集効率が著しく高くかつ送
風性能に優れ低騒音でしかも軽量・薄型のエアフ
イルター装置を提供することにある。本考案の他
の目的は、均一な風速分布を供給しうるエアフイ
ルター装置を提供することにある。本考案の他の
目的は、設置空間の著しく小さくてすむエアフイ
ルター装置を提供することにある。本考案のさら
に他の目的は、送風機およびフイルターが軽量・
薄型であるため、取り換え取りはずしが著しく容
易なエアフイルター装置を提供することにある。

（考案の構成）本考案装置は、ハウジング内に設置した少なく
とも２基の軽量・薄型送風機と、該送風機の前方
に整流板を介して配置した軽量・薄型・高性能エ
アフイルターと、該送風機の前方でかつ該エアフ
イルターの後方に設けた多孔板と、それぞれの送
風機による共鳴を防止すべく各送風機に設けられ
た回転数変動防止手段と、を有し、該送風機が該
ハウジングに防振・吸音材を介して支持されてな
り、そのことにより上記目的が達成される。

（実施例）以下に本考案を実施例について説明する。

本考案のエアフイルター装置１は、第１図およ
び第２図に示すように、ハウジング２内に並設さ
れた少なくとも２基の送風機３および３とこれら
の各送風機３の前方に整流板５を介して配置され
たエアフイルター４とを有する。本装置１は、さ
らに、これら送風機３の前方でかつエアフイルタ
ー４の後方に多孔板６を有する。送風機３はハウ
ジング２に防振・吸音材７を介して支持される。
この送風機３は、例えば、小形軽量・薄形のプロ
ペラフアンである。プロペラフアンは従来のシロ
ツコフアンに比べて高速運転に適しているため、
極めて送風効率が良い。風速分布も極めて良好で
ある。送風機３はそれが発する振動および騒音を
低減するために、防振・吸音材７などを介して上
記ハウジング２に支持される。防振・吸音材７は
送風機３の全周もしくはその一部を包囲する形で
配置される。防振・吸音材７としては、例えば、
グラスウールあるいはポリウレタンフオーム、ポ
リスチレンフオームなどの発泡性プラスチツクな
どが用いられる。フイルター４は0.3μm単分散
DOP（ダイオクチルフタレート）粒子に対し99.97
％以上の捕集効率を有する。その厚みも従来型の
150mmの2/5以下である。このような超高性能エア
フイルター４には、例えばHEPA（High
Efficiency Particulate Air）フイルターがある。
送風機３の後方には必要に応じてプレフイルター
４１が配置されうる。上記送風機３からの吐出空
気流に生ずる乱流を防止して前方のエアフイルタ
ー４へ正しく導くために、送風機吐出口３１から
エアフイルター４にかけて整流板５が設けられ
る。整流板５の形状としては、インボリユート曲
面あるいは放物線曲面が採用されうる。これによ
り、空気の乱流によつて生ずる騒音、フアンの効
率低下および風速分布の不均一化などが改善され
る。この整流板５の材質としては、何ら格別であ
る必要はなく、送風機３からの風圧に耐えうるも
のであればよい。通常、アルミニウム板やプラス
チツク板などの軽量材が用いられる。さらに、吐
出空気の風速分布を均一化するために、エアフイ
ルター４の背後に多孔板６が設けられる。この多
孔板６としては、例えば、開孔率30％、孔径2.5
mmのアルミニウム板あるいはプラスチツク板など
の軽量材が採用される。この多孔板６により動圧
が低減され、安定なダウンフロー式垂直層流が得
られる。多孔板６の代わりに薄型のデイフユーザ
ーなどを取付けても同様の効果が得られる。

上記送風機３は、通常、少なくとも２個以上並
設される。複数のフアンモーターを取り付けたエ
アフイルター装置１の場合、個々のフアンの回転
数は電圧変化や負荷変動などによつて絶えず変動
している。これらの変動が相互に共鳴し、うなり
を生じ、振動や騒音の原因となつている。この共
鳴を防止する手段として、送風機３の後方に送風
機３と連動する、例えば、フライホイールなどの
回転数変動防止手段８が設けられる。この回転数
変動防止手段８として用いられるフライホールは
それ自身の慣性力によりフアンの回転速度を常に
安定に保つため、音の干渉によるサージングを減
少させ得る。その結果、振動および騒音が効果的
に低減されうる。

（考案の効果）本考案のエアフイルター装置は、整流板および
多孔板を採用することにより、送風機からの吐出
直後の空気流は均一な風速分布を形成し、フイル
ター全面を通過してゆく。その結果、騒音は軽減
されかつ送風性能も高い。エアフイルターの高寿
命化も図れる。本考案装置は、また、防振・吸音
材および回転数変動防止手段を採用することによ
り騒音はさらに低減される。振動も軽減される。
しかも、超薄型の送風機と超薄型のエアフイルタ
ーとを使用しているため、全体として軽量でかつ
薄型である。それゆえ、装置の取り付けやフイル
ターなどの取り換えが著しく容易である。設置ス
ペースも小さくてすむ。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本考案装置の一
実施例を示す要部平面図および要部正面断面図で
ある。１……エアフイルター装置、２……ハウジン
グ、３……送風機、４……エアフイルター、５…
…整流板、６……多孔板、７……防振・吸音材、
８……回転数変動防止手段、３１……送風機吐出
口、４１……プレフイルター。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】１ハウジング内に設置した少なくとも２基の軽
量・薄型送風機と、該送風機の前方に整流板を
介して配置した軽量・薄型・高性能エアフイル
ターと、該送風機の前方でかつ該エアフイルタ
ーの後方に設けた多孔板と、それぞれの送風機
による共鳴を防止すべく各送風機に設けられた
回転数変動防止手段と、を有し、該送風機が該
ハウジングに防振・吸音材を介して支持されて
なるエアフイルター装置。２前記送風機がプロペラフアンである実用新案
登録請求の範囲第１項に記載の装置。３前記回転数変動防止手段がフライホイールで
ある実用新案登録請求の範囲第２項に記載の装
置。