JPS60129540A - 低風速垂直層流形クリ−ンル−ム - Google Patents
低風速垂直層流形クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS60129540A JPS60129540A JP58236925A JP23692583A JPS60129540A JP S60129540 A JPS60129540 A JP S60129540A JP 58236925 A JP58236925 A JP 58236925A JP 23692583 A JP23692583 A JP 23692583A JP S60129540 A JPS60129540 A JP S60129540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- clean room
- laminar flow
- low
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 5
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011491 glass wool Substances 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕、、。
この発明は、半導体工場や精密機械工場などで採用され
ているクリーンルーム、特に低風速垂直層流形のクリー
ンルームに関するものである。
ているクリーンルーム、特に低風速垂直層流形のクリー
ンルームに関するものである。
〔この発明が解決しようとする問題点〕この種のクリー
ンルームにおいては、現在粒径０．５μｍ以上の塵埃粒
子について、室内空気１ｆｔ”当９に含まれる粒子個数
で規定し、例えば１００個／ｆｔ”のものをクラス−１
００，１ｃｉｏｏ。
ンルームにおいては、現在粒径０．５μｍ以上の塵埃粒
子について、室内空気１ｆｔ”当９に含まれる粒子個数
で規定し、例えば１００個／ｆｔ”のものをクラス−１
００，１ｃｉｏｏ。
個／ ｆｔｌの場合でクラス−１００’ＯＯな−どと称
している。
している。
このような室内空気の塵埃粒子を、一般大気中の数百刃
側／ｆｔｌ ｄ、ら１００〜１００，０００個／ ｆｔ
”に減らすための除塵装置として、第１図に示すような
い６ゆるＨ Ｅ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆ ｆ ｉ
ｃ １ｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉ
ｌｔｅｒ）フィルターが利用されていることは周知であ
る。
側／ｆｔｌ ｄ、ら１００〜１００，０００個／ ｆｔ
”に減らすための除塵装置として、第１図に示すような
い６ゆるＨ Ｅ Ｐ Ａ （Ｈｉｇｈ Ｅｆ ｆ ｉ
ｃ １ｅｎｃｙＰａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉ
ｌｔｅｒ）フィルターが利用されていることは周知であ
る。
このＨＥＰＡフィルタ１を用いてクラス−１００Ｕ上の
超清浄空間を形成するためには、第２図に示すように、
室内天井の照明器具設置箇所以外の全面にこのＨＥＰＡ
フィルタ１を取付け、’０．２５ｍ／ｓｅｅ程度の一様
な風速で天井面よシ床面へ向かう垂直気流を作って、そ
の目的を達成している。このような方式を垂直層流形ク
リーンルームという。
超清浄空間を形成するためには、第２図に示すように、
室内天井の照明器具設置箇所以外の全面にこのＨＥＰＡ
フィルタ１を取付け、’０．２５ｍ／ｓｅｅ程度の一様
な風速で天井面よシ床面へ向かう垂直気流を作って、そ
の目的を達成している。このような方式を垂直層流形ク
リーンルームという。
これに対して、余ｐ高い清浄度を必要としないクラス−
１０００からクラス−１００，０００程度のクリーンル
ームでは、第６図に示すように、室内天井にＨＥＰＡフ
ィルタ１を散在設置して、これより０．７〜０．８ ｉ
／ｓｅｅ程度の風速で空気を吹出している。この方式に
よれば、ＨＥＰＡフィルタ１からの吹出気流は、室内気
流を誘引し室内の汚染空気とＨＥＰＡフィルタ１からの
清浄空気とが混合した上で、室内に拡散して行く。この
ようなりリーンルームの方式を乱流形クリーンルームと
称する。
１０００からクラス−１００，０００程度のクリーンル
ームでは、第６図に示すように、室内天井にＨＥＰＡフ
ィルタ１を散在設置して、これより０．７〜０．８ ｉ
／ｓｅｅ程度の風速で空気を吹出している。この方式に
よれば、ＨＥＰＡフィルタ１からの吹出気流は、室内気
流を誘引し室内の汚染空気とＨＥＰＡフィルタ１からの
清浄空気とが混合した上で、室内に拡散して行く。この
ようなりリーンルームの方式を乱流形クリーンルームと
称する。
垂直層流形クリーンルームでは、室内発塵はＨＥ Ｐ
Ａフィルタからの吹出気流に乗って、他に拡散せずに床
面の吸込口に達するが、乱流形クリーンルームでは、そ
の本質上、室内発塵が室内に拡散するのを防止すること
はできない。
Ａフィルタからの吹出気流に乗って、他に拡散せずに床
面の吸込口に達するが、乱流形クリーンルームでは、そ
の本質上、室内発塵が室内に拡散するのを防止すること
はできない。
しかしながら、余り高い清浄度を要さない場合は、比較
的少ない吹出風量で清浄空間を作シ上げることができる
ために、従来乱流形クリーンルームは半導体工場や精密
機械工場のみでなく、薬品工場２食品工場などでも広く
採用されてもた。ちなみに、垂直層流形クリーンルーム
での吹出風量は、換気回数６００〜５００回／ｈｒ程度
になるが、乱流形クリーンルームでは、クラス−１００
０で換気回数１００回／ｈｒ、クラス−１００、０００
で２０回／ ｈｒであるために、空調設備費も層流形ク
リーンルームに比して、大分低摩となる特徴を有してい
る。
的少ない吹出風量で清浄空間を作シ上げることができる
ために、従来乱流形クリーンルームは半導体工場や精密
機械工場のみでなく、薬品工場２食品工場などでも広く
採用されてもた。ちなみに、垂直層流形クリーンルーム
での吹出風量は、換気回数６００〜５００回／ｈｒ程度
になるが、乱流形クリーンルームでは、クラス−１００
０で換気回数１００回／ｈｒ、クラス−１００、０００
で２０回／ ｈｒであるために、空調設備費も層流形ク
リーンルームに比して、大分低摩となる特徴を有してい
る。
これらクリーンルームは、一長一短を有しているが、今
後クリーンルームが各種産業に普及して行く上で、低廉
でなおかつ比較的清浄度の高いものが実現できれは好都
合である。
後クリーンルームが各種産業に普及して行く上で、低廉
でなおかつ比較的清浄度の高いものが実現できれは好都
合である。
この発明は、このような事情に鑑みて提案されたもので
、その目的は比較的簡単な構成で低廉でなおかつ低風速
で比較的清浄度の高い低風速儂直層流形のクリーンルー
ムを提供することにある。
、その目的は比較的簡単な構成で低廉でなおかつ低風速
で比較的清浄度の高い低風速儂直層流形のクリーンルー
ムを提供することにある。
この発明に係るクリーンルームは、ろ紙が波形状に折畳
んで配置されている市販のＨＥＰＡフィルタをろ紙のピ
ッチが比較的大きくセパレータを必要としない低風量形
フィルタとし、この低風量形フィルタを天井全面にわた
って取付け、比較的低風速で空気を室内へ吹き出してな
るものでおる。
んで配置されている市販のＨＥＰＡフィルタをろ紙のピ
ッチが比較的大きくセパレータを必要としない低風量形
フィルタとし、この低風量形フィルタを天井全面にわた
って取付け、比較的低風速で空気を室内へ吹き出してな
るものでおる。
以下、この発明を図示する一実施例に基づいて説明する
。まず、従来市販されているＨＥＰＡフィルタ１につい
て説明すると、第１図に示すように木枠あるいは鋼板枠
２の内部にアスベストやグラスウールを主体としたろ紙
３をピッチ５ｍｌ１Ｉ前後で波形状に折畳んで取付け、
アルミニウムなどを波形にしたセパレータ４を交互に入
れてろ紙とろ紙の間隔を保ち、ろ過面積が広くなるよう
にされている。
。まず、従来市販されているＨＥＰＡフィルタ１につい
て説明すると、第１図に示すように木枠あるいは鋼板枠
２の内部にアスベストやグラスウールを主体としたろ紙
３をピッチ５ｍｌ１Ｉ前後で波形状に折畳んで取付け、
アルミニウムなどを波形にしたセパレータ４を交互に入
れてろ紙とろ紙の間隔を保ち、ろ過面積が広くなるよう
にされている。
このようなＨ］ｌｉＣＰ Ａフィルタ１の寸法・性能等
の例を示すと表１のようなものがある。
の例を示すと表１のようなものがある。
表 １
このようなＨＥＰＡフィルタ１の通過風速は、例えば型
式Ａでは ＝ ’ ０．０’ １４１ Ｃｍ／ ５ｅｃ）と非常に
遅く、その通過抵抗は初期値で２５１１１１Ａ％程度で
ある。
式Ａでは ＝ ’ ０．０’ １４１ Ｃｍ／ ５ｅｃ）と非常に
遅く、その通過抵抗は初期値で２５１１１１Ａ％程度で
ある。
一般の乱流形クリーンルームの空調機処理風量などの例
を示すと表２のようになる。ここで、室内の天井高は２
．５ｍとしている。
を示すと表２のようになる。ここで、室内の天井高は２
．５ｍとしている。
したがって、表２に示すような風量を天井全面に取付け
たＨＥＰＡフィルタで処理するものとすると、ＨＥＰＡ
フィルタ取付枠などの無効部分を考えて、表１に示す型
式Ａのフィルタ枠を用いて天井面積０．５ ｍ２分を受
持たせるとすると、フィル４１個ａｂの処理風量は、そ
れぞれ、クラス １０００ ： ２００ＸＯ，５＝１０
０ｍ／ｈｒ・個１００００： １００ＸＯ，５＝５０１
＋Ｌ／ｈｒ−個□１ＱＯＱＱ０： ３７．５ｘＱ、５＝
１７．７５ ｍ”／ｈｒ−個となる。
たＨＥＰＡフィルタで処理するものとすると、ＨＥＰＡ
フィルタ取付枠などの無効部分を考えて、表１に示す型
式Ａのフィルタ枠を用いて天井面積０．５ ｍ２分を受
持たせるとすると、フィル４１個ａｂの処理風量は、そ
れぞれ、クラス １０００ ： ２００ＸＯ，５＝１０
０ｍ／ｈｒ・個１００００： １００ＸＯ，５＝５０１
＋Ｌ／ｈｒ−個□１ＱＯＱＱ０： ３７．５ｘＱ、５＝
１７．７５ ｍ”／ｈｒ−個となる。
このような処理風量に対して、最大通過風速を０．０１
４１１１ｔ／ｓｅｅとすると、１０ Ｑ ｔｒｉ”／
ｈｒ・個を処理するのに必要なる材面積は、 ≠１．９７ （ｆｉり 有効内法寸法６００Ｘ６００ の枠にとのる材を収納す
るにほろ材長さは、 ろ材長さ＝ １．９７１０．６ ’、３．５ｍ あればよい。
４１１１ｔ／ｓｅｅとすると、１０ Ｑ ｔｒｉ”／
ｈｒ・個を処理するのに必要なる材面積は、 ≠１．９７ （ｆｉり 有効内法寸法６００Ｘ６００ の枠にとのる材を収納す
るにほろ材長さは、 ろ材長さ＝ １．９７１０．６ ’、３．５ｍ あればよい。
したがって、ろ材有効高さを２０６ＩＩＬ程度とすると
、ろ材の折れ数は１６となシ山数は８山で済むことにな
ル、山間のピッチは、第４図に示すように７５３１１１
とな少、従来市販のＨＥＰＡフィルタ１０１０倍程度の
低風量形フィルタ５が得られる。
、ろ材の折れ数は１６となシ山数は８山で済むことにな
ル、山間のピッチは、第４図に示すように７５３１１１
とな少、従来市販のＨＥＰＡフィルタ１０１０倍程度の
低風量形フィルタ５が得られる。
このようなフィルタ５であれば、ピッチが大きいため、
従来のような相隣るる紙の付着を防ぐためのセパレータ
を必要としない。
従来のような相隣るる紙の付着を防ぐためのセパレータ
を必要としない。
またこのようなフィルタ５は、構造が簡単なものとなる
ため、従来のような木材あるいは鋼板などでなく、合成
樹脂板などの枠で十分製作が可能となｊｏ、１４．７Ｋ
ｆの重量を有するものが、せいぜい３に９程度と軽量に
なシ、その取付けも非常に簡単になる。
ため、従来のような木材あるいは鋼板などでなく、合成
樹脂板などの枠で十分製作が可能となｊｏ、１４．７Ｋ
ｆの重量を有するものが、せいぜい３に９程度と軽量に
なシ、その取付けも非常に簡単になる。
このような低風量形フィルタ５を第５図に示すように天
井全面（但し、取付金具、照明器具等の部分を除く）に
取付け、通過抵抗の比較的小さい前述の低風速で空気が
吹き出すようにすれば、容易に低風速垂直層流形クリー
ンルームが得られる。
井全面（但し、取付金具、照明器具等の部分を除く）に
取付け、通過抵抗の比較的小さい前述の低風速で空気が
吹き出すようにすれば、容易に低風速垂直層流形クリー
ンルームが得られる。
なお、以上は一つの計算例を示したが、フィルタの型式
、処理風量などによりろ材長さは種々の値をとるものの
、いずれの場合もピッチの大きいフィルタ５が得られる
ことはいうまでもない。
、処理風量などによりろ材長さは種々の値をとるものの
、いずれの場合もピッチの大きいフィルタ５が得られる
ことはいうまでもない。
前述のとお如、この発明によれば比較的簡単な構成で低
摩でなおかつ低風速で比較的清浄度の高い低風速垂直層
流形のクリーンルームを得ることができる。さらに、そ
の低風量形フィルタは、軽量なものとすることができ、
取付けが非常に簡単になるという利点がある。
摩でなおかつ低風速で比較的清浄度の高い低風速垂直層
流形のクリーンルームを得ることができる。さらに、そ
の低風量形フィルタは、軽量なものとすることができ、
取付けが非常に簡単になるという利点がある。
第１図は従来のＨＥＰＡフィルタを示す斜視図、第２図
は従来の垂直層流形クリーンルームを示す概略図、第３
図は従来の乱流形クリーンルームを示す概略図、第４図
はこの発明に係るフィルタを示す概略図、第５図はこの
発明に係るクリーンルームを示す概略図である。 １・・・・・・ＨＥＰＡフィルタ ２・・・・・・枠３
・・・・・・ろ紙 ４・・・・・・セパレータ５・・・
・・・低風量形フィルタ
は従来の垂直層流形クリーンルームを示す概略図、第３
図は従来の乱流形クリーンルームを示す概略図、第４図
はこの発明に係るフィルタを示す概略図、第５図はこの
発明に係るクリーンルームを示す概略図である。 １・・・・・・ＨＥＰＡフィルタ ２・・・・・・枠３
・・・・・・ろ紙 ４・・・・・・セパレータ５・・・
・・・低風量形フィルタ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （゛） 波形状に折畳んで配−されているろ紙の１ツチ
が比較的大きくセパレータを必要としない低風量形フィ
ルタを、天井全面にわたって取付け、比軟的低風速で空
気を室内へ吹き出してなることを特徴とする低風速垂直
層流形クリーンルーム。 （２） 低風量形フィルタのピッチは、乱流形クリーン
ルームの清浄度に基づいて決定されていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の低風速垂直層流形クリ
ーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58236925A JPS60129540A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 低風速垂直層流形クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58236925A JPS60129540A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 低風速垂直層流形クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60129540A true JPS60129540A (ja) | 1985-07-10 |
Family
ID=17007780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58236925A Pending JPS60129540A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | 低風速垂直層流形クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60129540A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1661287B (zh) | 2004-02-29 | 2010-06-16 | 株式会社统能克斯 | 层气流控制型空气净化器 |
| JP2014109418A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 装置内層流化機構 |
-
1983
- 1983-12-15 JP JP58236925A patent/JPS60129540A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1661287B (zh) | 2004-02-29 | 2010-06-16 | 株式会社统能克斯 | 层气流控制型空气净化器 |
| JP2014109418A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 装置内層流化機構 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20070202798A1 (en) | Method And A Device For Ventilation And Airborne Decontamination By Mixing Using Blow And Suction Flows Attached By The Coanda Effect | |
| KR950704657A (ko) | 청정실 천정에서 소용돌이를 감소시키기 위한 방법 및 장치(Method and device for reducing vortices at a cleanroom celling) | |
| US5641340A (en) | Method for filtering air in laminar flow | |
| US3336855A (en) | Ultraclean work station | |
| HUT55900A (en) | Apparatus for producing fresh air zone | |
| JPH02111411A (ja) | 天吊型クリーンユニット | |
| JPH0452452A (ja) | 一様性気体流形成装置 | |
| JP2590917Y2 (ja) | 天井システム用フィルタユニット | |
| JP2536188B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
| JPH0213063Y2 (ja) | ||
| JPS59185923A (ja) | クリーンルームの形成方法 | |
| JPH0462345A (ja) | クリーンルーム内の吸気ダクト方式 | |
| JPH0244827Y2 (ja) | ||
| JPH0538821Y2 (ja) | ||
| JPH0144086B2 (ja) | ||
| US20230075567A1 (en) | Microbial ventilation device | |
| JPS61168735A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JP7219403B2 (ja) | 空気調和装置の室内機 | |
| JP2004167324A (ja) | エアフィルタユニット、整流体、ファンフィルタユニット、クリーンルーム、及び半導体製造装置 | |
| CN205279371U (zh) | 用于风机过滤单元的散流板 | |
| JPS597836A (ja) | 垂直層流式無塵室 | |
| JP3013098B2 (ja) | 天井システム用フィルタユニット | |
| JP2020146640A (ja) | エアフィルタ | |
| JP2000039205A (ja) | 空気吹出口 | |
| JPH06304429A (ja) | Ｈｅｐａフィルタユニットおよびその配置方法 |