JPH02130845A - 電子回路装置 - Google Patents

電子回路装置

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JPH02130845A
JPH02130845A JP63283573A JP28357388A JPH02130845A JP H02130845 A JPH02130845 A JP H02130845A JP 63283573 A JP63283573 A JP 63283573A JP 28357388 A JP28357388 A JP 28357388A JP H02130845 A JPH02130845 A JP H02130845A
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pad
metallization
board
plating
electronic circuit
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Ryohei Sato
了平 佐藤
Muneo Oshima
大島 宗夫
Takashi Kuroki
喬 黒木
Toshitada Nezu
根津 利忠
Takatsugu Takenaka
竹中 隆次
Toshinori Ameya
飴矢 俊法
Mitsuru Fujii
満 藤井
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はメタライゼーシ曹ン・パッドを有するセラミッ
ク基板を具備してなる電子回路装置Kかかわシ、特に、
微細で低強度なメタライゼーション・パッドを強化し、
かつろう材の供給を確実に行うのに好適な電子回路装置
は関する。
〔従来の技術〕
従来、セラミック基板上のメタライゼーシlン・パッド
としては、第5図GL) K示すごとく、基板上面に形
成するだけの場合と、第5図(b) K”示すごとく、
さらに周辺を誘電体層でカバーして、はんだ付け、ろう
付けをする場合とがあった0図にシいて、1は半導体、
2はろう材、13はメタライゼータ1ン・パッド、5は
ろう材、6はリードビン、7はセラミック配線板であシ
、同図伽)では、さらに誘電体゛のカバー14が設けら
れている。前者は。
はんだ付け、ろう付は等の組立工程や使用時に加わる応
力によって、メタライゼーション・パッドとセラミック
配線板との界面から破壊しやすいという問題があった◎
また、後者は、前者で生じる問題点を解決することがで
きるが、微細パターンにおけるろう材の供給が難しいと
いう問題があった◇すなわち、ろう材の供給でも、ペー
スト状のろう材を印刷する場合は問題がないが、通常の
デイツプ方式の場合あるいはボールや箔状のろう材を供
給する場合には、パッド周辺の誘電体層が邪魔なして、
ろう材がパッドに接しない場合が発生し、不良パッドが
形成されるという問題があった。
とのことは、パッドが微細化するに伴い、ますます重大
な問題となる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記従来技術は、セラミック基板上のメタライゼーシ曹
ン・パッドの強度の向上とろう材の供給しやすさの2つ
の!!求を同時に満足できないといり問題がありた0 本発明の目的は、上記課題を解決し、セラミック基板上
に接合強度が強く、ろう材供給のしゃすいメタライゼー
タ1ン・パッドを実現することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、メタライゼーシlン・パッドを、その周辺
がセラミックで覆われ、かつその表面がセラミック基板
面と同一平面かもしくは基板面よυ凸面になるように形
成するととKよシ、達成される◎ 上記構成は、メタライゼーシ璽ン・パラトノ形成後、そ
の周辺に誘電体層を印刷し、プレスしてから焼結するこ
とによシ、容易に実現できる。
〔作用〕
上記構成によシ、メタツイゼーシ冒ン・パッド周辺の誘
電体層がセラミック基板と一体になシ、確実にパッドと
基板の界面破壊を防止することによって、高強度なパッ
ドを実現できるとともに、基板面と同一平面かよシ凸面
に形成されたパッドによシ、セラミック基板をろう材中
に浸漬する際に、ろうが確実にパッドと接触するので、
ぬれ拡がシと拡散反応が起きて、ろうの付着を確実にす
ることができる0 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第1図および第2図を用いて
説明する。
第1図は本発明に基づいて構成したメタライゼーシ冒ン
・パッドを有する電子回路装置の部分断面を示したもの
で、第2図はそのメタライゼーシ璽ンφパッドを形成す
るプロセスを示したものである。
第1図において、1は半導体、2はろう材、3は本発明
に基づいて構成されたメタライゼーシ冒ン・パッド、5
はろう材、6はリードピン、7はセラミック基板である
。
ここで、そのメタライゼーシ璽ンOパッドを形成するプ
ロセスを第2図に従りて説明する0積層セラミックの工
程において、同図(ハ))のごとく、グリーンシート9
にタングステンやモリブデン等の導電ペースト8を印刷
・乾燥して電極を形成し、その上に、同図((9)のご
とく、誘電体ペースト4を該電極の周縁に印刷・乾燥し
た後、同図(0)のごとく、すべてのグリーンシートを
一括してプレス積層接着し、焼結することKよりて、同
図(4)のごとく、メタ、ライゼーシ璽ン・パッドの周
縁がセラミック内に入シ込んで、セラミック基板0表・
裏爾と露出した電極部面とが同一平面上にある構造を得
ることができる0さらに、この上に、通常のニッケルめ
っき、金めつき等のろう付は用のめりきメタライゼーシ
璽ン10を施すととによって、同図(e)のごとく、セ
ラミック基板の表・裏面よシも凸なメタライゼータ1ン
構造を得ることができるOこの多層セラミックを、溶融
したろうに浸漬して、ろう材を表・裏直に供給し、半導
体1やy−ドピン6を位置合わせをして加勢溶着すると
、第1図に示す電子回路装置が得られる。
上記のように作成された接合体の強度を調べた結果、第
3図(a)K示す従来の接合体がメタライゼーシlン・
パッドとセラミックとの界面近傍から簡単に剥離するの
に対して、上記実施例の接合体では、半導体や入出力ビ
ンとの接合のいずれにおいても、ろう材が先に破断し、
接合部は十分な強度を示し九〇 また、第5図(1))に示す従来の接合体が、浸漬によ
るろう材の供給において、ろう材の表面張力と周縁のカ
バーが邪魔をしていることによシ、パッドとろう材とが
接しない場合が生じ、ろうの未付着不良が発生し、特に
、パッドのサイズの小さい半導体の接合部でろうの未付
着が顕著であった。
これに対し、本実施例では、周縁のカバーがないので、
いずれの部分でも確実にろうが付着し、ろう付は不良を
防止することができ九〇 また、ボールや箔状のろう材の場合、バットに対する位
置合わせや寸法精度が厳しくなっているため、カバーが
あると、これが機械的に邪魔をしてパッドとろう材が接
しない場合が生じたが、本発明の構成では、この点が大
幅に改善され、微細化に対しても確実な接続を得ること
が可能になりたO 〔発明の効果〕 本発明によれば、セラミック基板を用いた電子回路装置
における接合強度の大幅な向上と接続不良の防止の両方
を同時に実現できるという効果があシ、さらに、セラミ
ック基板を用いた高密度で高信頼度な電子回路装置の実
現に大きく寄与することができる◎
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に基づいて構成したメタフィゼーシ曹ン
・パッドを有する電子回路装置の一実施例の部分断面図
、第2図はそのメタツイゼーシ曹ン・パッドを形成する
プロセスを示す工程図、第3図(a)および(b)はそ
れぞれ従来技術による半導体およびリードビンの接合部
を示す部分断面図である0 1・・・半導体、2・・・ろう材、3・・・メタライゼ
ーション・パッド、4・・・誘電体ペースト、5・・・
ろう材、6・・・リードピン、7・・・セラミック基板
、8・・・導電ペースト、9・・・グリーンシート、1
0・・・めりきメタツイゼーシ四ン0 第1図 (C) (d) f遵奉 ろう)ネオ メタライa’−シ3ン、ハo−yl、”うつ4才 ・ノードヒ!ン 仁うむ71!l!、線板 4; ま匁電イ本へ°−λF 8: 導I配へ0−スト 5図 CQ) (b) 1:I1体 2:うラネオ I4:カバ゛− 5: ララオオ 6:−t−トビ〉 7:七う!シフ6υ褒J更

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.電子回路部品の接続や基板同士を相互に接続するた
    めのメタライゼーション・パッドを有するセラミック基
    板を具備してなる電子回路装置において、前記メタライ
    ゼーション・パッドを、その周辺がセラミックで覆われ
    、かつその表面がセラミック基板面と同一平面かもしく
    は該基板面よりも凸面になるように形成したことを特徴
    とする電子回路装置。
JP63283573A 1988-11-11 1988-11-11 電子回路装置 Pending JPH02130845A (ja)

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JP63283573A JPH02130845A (ja) 1988-11-11 1988-11-11 電子回路装置
DE3937549A DE3937549A1 (de) 1988-11-11 1989-11-10 Elektronische schaltung und verfahren zur herstellung derselben

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