JPH02131341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02131341U JPH02131341U JP3990689U JP3990689U JPH02131341U JP H02131341 U JPH02131341 U JP H02131341U JP 3990689 U JP3990689 U JP 3990689U JP 3990689 U JP3990689 U JP 3990689U JP H02131341 U JPH02131341 U JP H02131341U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cavity
- holding
- gas
- gas inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係るウエハ保持装置の模式的
縦断面図、第２図は第１図の−線による横断
面図、第３図は従来のウエハ保持装置の縦断面図
である。 １……保持板、１０……囲繞部、１１……ガス
導入口、１２……ガス導出口、１３……給気管、
１４……排気管。
縦断面図、第２図は第１図の−線による横断
面図、第３図は従来のウエハ保持装置の縦断面図
である。 １……保持板、１０……囲繞部、１１……ガス
導入口、１２……ガス導出口、１３……給気管、
１４……排気管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 保持されるべきウエハとこれに近接対向する保
持板との間にガスを通流させ、前記ウエハの表裏
面間に生じる圧力差により該ウエハを保持する装
置において、 前記保持板の前記ウエハとの対向面側に周設さ
れ、前記近接対向時にウエハの周縁に当接して両
者間に空洞を形成する囲繞部と、 該囲繞部に共に形成され、前記保持板の中央に
向けて前記空洞内に開口するガス導入口と、 該ガス導入口と略対向して前記空洞内に開口す
るガス導出口と を具備することを特徴とするウエハ保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3990689U JPH02131341U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3990689U JPH02131341U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131341U true JPH02131341U (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=31549225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3990689U Pending JPH02131341U (ja) | 1989-04-03 | 1989-04-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02131341U (ja) |
-
1989
- 1989-04-03 JP JP3990689U patent/JPH02131341U/ja active Pending