JPH038438U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH038438U JPH038438U JP6826989U JP6826989U JPH038438U JP H038438 U JPH038438 U JP H038438U JP 6826989 U JP6826989 U JP 6826989U JP 6826989 U JP6826989 U JP 6826989U JP H038438 U JPH038438 U JP H038438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding device
- gap
- gas
- holds
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る試料保持装置の平面図、
第２図は第１図の−線による断面図、第３図
は従来の試料保持装置の平面図、第４図は第３図
の−線による断面図である。 １０……ガス導入管、１０ｂ……斜めガス吹出
口、１２……保持容器、Ｗ……ウエハ。
第２図は第１図の−線による断面図、第３図
は従来の試料保持装置の平面図、第４図は第３図
の−線による断面図である。 １０……ガス導入管、１０ｂ……斜めガス吹出
口、１２……保持容器、Ｗ……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 保持されるべき試料と、これに対向する保持体
との隙間にガスを通流させることにより試料を保
持する試料保持装置において、 前記試料を一方向へ移動させるべく、前記隙間
へガスを吹き出すガス吹出口が設けてあることを
特徴とする試料保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6826989U JPH038438U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6826989U JPH038438U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038438U true JPH038438U (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=31602557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6826989U Pending JPH038438U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038438U (ja) |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP6826989U patent/JPH038438U/ja active Pending