JPH02132932U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02132932U JPH02132932U JP4163489U JP4163489U JPH02132932U JP H02132932 U JPH02132932 U JP H02132932U JP 4163489 U JP4163489 U JP 4163489U JP 4163489 U JP4163489 U JP 4163489U JP H02132932 U JPH02132932 U JP H02132932U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- chuck
- spin
- cleaning liquid
- cup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
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- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案のレジスト塗布カツプ洗浄チヤ
ツクの一実施例の平面図、第２図は同半断面側面
図、第３図は実施例に用いたスピン方式レジスト
塗布装置の一部断面側面図、第４図はその装置に
本考案のレジスト塗布カツプ洗浄チヤツクを組み
込んだ一部断面側面図である。 １……カツプ洗浄チヤツク本体、２……洗浄液
伝達部、３……洗浄用スプレー、４……ロータリ
ージヨイント、７……塗布カツプ、８……連結用
取付部、９……流路、１０……ノズル、１１……
回転軸、１６……レジストの残滓。
ツクの一実施例の平面図、第２図は同半断面側面
図、第３図は実施例に用いたスピン方式レジスト
塗布装置の一部断面側面図、第４図はその装置に
本考案のレジスト塗布カツプ洗浄チヤツクを組み
込んだ一部断面側面図である。 １……カツプ洗浄チヤツク本体、２……洗浄液
伝達部、３……洗浄用スプレー、４……ロータリ
ージヨイント、７……塗布カツプ、８……連結用
取付部、９……流路、１０……ノズル、１１……
回転軸、１６……レジストの残滓。
Claims (1)
- 下面中央にスピン方式レジスト塗布装置のスピ
ンチヤツク駆動用回転軸に対する連結用取付け部
を有し、上面に中心上部の洗浄液供給用ロータリ
ジヨイントより両外端の洗浄用スプレーに至る流
路を内蔵した洗浄液伝達部を有するカツプ洗浄チ
ヤツク本体からなるレジスト塗布カツプ洗浄チヤ
ツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163489U JPH02132932U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4163489U JPH02132932U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02132932U true JPH02132932U (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=31552471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4163489U Pending JPH02132932U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02132932U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002143735A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Honda Lock Mfg Co Ltd | 車両用ミラーのコーティング装置 |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP4163489U patent/JPH02132932U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002143735A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Honda Lock Mfg Co Ltd | 車両用ミラーのコーティング装置 |