JPH02134436U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02134436U JPH02134436U JP4217290U JP4217290U JPH02134436U JP H02134436 U JPH02134436 U JP H02134436U JP 4217290 U JP4217290 U JP 4217290U JP 4217290 U JP4217290 U JP 4217290U JP H02134436 U JPH02134436 U JP H02134436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- filter
- performance filter
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図ないし第３図は従来のクリーンブースの
一例を示す図で、第１図は平面図、第２図は側面
図、第３図は第２図の要部拡大断面図、第４図お
よび第５図は従来のクリーンブース他の例を示す
図で、第４図は要部側面図、第５図は第４図の要
部拡大断面図、第６図はこの考案のクリーンルー
ムにおけるフイルタユニツトと縁枠に係わる部分
の一例の要部縦断面図、第７図ないし第１０図は
本考案の実施例になるクリーンルームに係わる図
であつて、第７図はクリーンルームの一部を示す
側面図、第８図は第７図の平面図、第９図は本考
案のクリーンルームの一実施例を示す側面図、第
１０図は主として縁枠の構造を示す斜視図、第１
１図は縁枠の平面図であつてＡは従来構造、Ｂは
本考案の一実施例の構造を示す図、第１２図は従
来のクリーンルームの実施例の一部を示す図であ
る。 １……フイルタユニツト、２……枠組、１１…
…送風機、１２……高性能フイルタ（ＨＥＰＡ）
、１４……吸気口、１５，２４……縁枠、１６…
…側壁、１７……パツキン、２７……クリーンユ
ニツト、３１……枠体、３２……固定カーテン、
３３……可動カーテン。
一例を示す図で、第１図は平面図、第２図は側面
図、第３図は第２図の要部拡大断面図、第４図お
よび第５図は従来のクリーンブース他の例を示す
図で、第４図は要部側面図、第５図は第４図の要
部拡大断面図、第６図はこの考案のクリーンルー
ムにおけるフイルタユニツトと縁枠に係わる部分
の一例の要部縦断面図、第７図ないし第１０図は
本考案の実施例になるクリーンルームに係わる図
であつて、第７図はクリーンルームの一部を示す
側面図、第８図は第７図の平面図、第９図は本考
案のクリーンルームの一実施例を示す側面図、第
１０図は主として縁枠の構造を示す斜視図、第１
１図は縁枠の平面図であつてＡは従来構造、Ｂは
本考案の一実施例の構造を示す図、第１２図は従
来のクリーンルームの実施例の一部を示す図であ
る。 １……フイルタユニツト、２……枠組、１１…
…送風機、１２……高性能フイルタ（ＨＥＰＡ）
、１４……吸気口、１５，２４……縁枠、１６…
…側壁、１７……パツキン、２７……クリーンユ
ニツト、３１……枠体、３２……固定カーテン、
３３……可動カーテン。
Claims (1)
- 周辺に気密の側壁１６を備える高性能フイルタ
１２と排気方向を前記高性能フイルタ１２に向け
た送風機１１を上部に備えると共に該送風機１１
への吸気口１４を有するカバー２１とから成るフ
イルタユニツト１を平面的な縦方向および横方向
のうち少なくとも一つの方向に２個以上備えたク
リーンユニツト２７と、該クリーンユニツト２７
の少なくとも最外の４隅部を支持する枠体３１と
該枠体３１の一部であつて該枠体３１の最上部に
形成され前記複数のフイルタユニツト１をそれぞ
れの周囲４辺を載置するように形成された縁枠２
４と前記枠体３１の上部を取り囲み該枠体３１と
実質的に一体化されクリーンルーム外部の空間と
の境界となる壁を形成する固定カーテン３２と前
記枠体３１の下部を取り囲む可動カーテン３３と
を備え内部を作業空間とする枠組２と、を備えた
クリーンルームであつて、前記縁枠２４上に、前
記フイルタユニツト１がそれぞれ備える前記高性
能フイルタ１２の前記側壁１６を取り外し可能に
載置すると共に、前記高性能フイルタ１２の側壁
１６上縁上に前記カバー２１を取り外し可能に載
置し、それぞれの前記フイルタユニツト１が備え
る前記吸気口１４から吸引された空気が、前記送
風機１１、前記カバー２１と前記高性能フイルタ
１２の上部とで形成された空間、前記高性能フイ
ルタ１２、該高性能フイルタ１２のそれぞれの下
部と前記枠組２とで形成された空間、を経由して
前記クリーンルームの外部空間に流出して前記吸
気口１４に帰還する循環ループを形成し、前記高
性能フイルタ１２のそれぞれの下部と前記枠組２
とで形成された空間には、前記カバー２１と前記
高性能フイルタ１２の上部とで形成された空間か
ら前記高性能フイルタ１２を経由した空気のみが
流入するように構成したことを特徴とするクリー
ンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4217290U JPH02134436U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4217290U JPH02134436U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02134436U true JPH02134436U (ja) | 1990-11-08 |
Family
ID=31553480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4217290U Pending JPH02134436U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02134436U (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP4217290U patent/JPH02134436U/ja active Pending
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