JPH02134717A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH02134717A JPH02134717A JP28937288A JP28937288A JPH02134717A JP H02134717 A JPH02134717 A JP H02134717A JP 28937288 A JP28937288 A JP 28937288A JP 28937288 A JP28937288 A JP 28937288A JP H02134717 A JPH02134717 A JP H02134717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- slider
- magnetic
- al2o3
- floating surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はスライダと磁気ヘッド素子とを一体化してな
る磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
る磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
第２図（ａ）は従来の製造り法による磁気ヘッドの断面
を説明覆るための斜視図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）
に示ず断面線すて切断した磁気ヘッドの断面図、第２図
（Ｃ）は第２図（ａ）に示す断面線Ｃで切断した磁気ヘ
ッドの断面図である。
を説明覆るための斜視図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）
に示ず断面線すて切断した磁気ヘッドの断面図、第２図
（Ｃ）は第２図（ａ）に示す断面線Ｃで切断した磁気ヘ
ッドの断面図である。
従来、磁気ヘッドの製造方法は、第２図に承りように磁
気記録媒体に対向して移動する例えば△１１０．とＴｉ
Ｃ等の硬物質２とを含むアルデック材よりなるスライダ
１と、アルデック（Ａより柔らかい素材よりなりかつ上
記媒体の情報の占さ込み及び読み出しを行なう磁気ヘッ
ド素子３とを一体化し、スライダ１及び磁気ヘッド素子
３における上記媒体に対する浮上面４を所定■研磨した
後、そのまま研磨テープ等により前記浮上面４のエツジ
ブレンド加工を行なっている。したがって、磁気ヘッド
は第２図（ｂ）及び第２図（Ｃ）のような削れ方をする
。
気記録媒体に対向して移動する例えば△１１０．とＴｉ
Ｃ等の硬物質２とを含むアルデック材よりなるスライダ
１と、アルデック（Ａより柔らかい素材よりなりかつ上
記媒体の情報の占さ込み及び読み出しを行なう磁気ヘッ
ド素子３とを一体化し、スライダ１及び磁気ヘッド素子
３における上記媒体に対する浮上面４を所定■研磨した
後、そのまま研磨テープ等により前記浮上面４のエツジ
ブレンド加工を行なっている。したがって、磁気ヘッド
は第２図（ｂ）及び第２図（Ｃ）のような削れ方をする
。
このエツジブレンド加工により、磁気記録媒体に対する
前記浮上面４のエツジの稜から８の部分が削られ丸めら
れるため、媒体に接触した［１．１にエツジで媒体を傷
つけることが少なくなり、ヘッド／媒体間の耐久性が向
上する。
前記浮上面４のエツジの稜から８の部分が削られ丸めら
れるため、媒体に接触した［１．１にエツジで媒体を傷
つけることが少なくなり、ヘッド／媒体間の耐久性が向
上する。
ところが、以上の様な磁気ヘッドの製造方法においては
、スライダ１の浮上面４の稜を丸めるため、削り取る部
分８を十分大きくしようとすると、磁気ヘッド素子３の
先端の削り取られる部分９が大ぎくなってしまい、磁気
記録媒体の円板に対向した時のヘッド／媒体間の実効的
なスペーシングが人ぎくなり、電磁変換特性が悪化覆る
一方９の部分を小さくしようとすると８の部分が十分に
除去されずにエツジブレンド加工の効果が少なくなって
しまうという問題点があった。
、スライダ１の浮上面４の稜を丸めるため、削り取る部
分８を十分大きくしようとすると、磁気ヘッド素子３の
先端の削り取られる部分９が大ぎくなってしまい、磁気
記録媒体の円板に対向した時のヘッド／媒体間の実効的
なスペーシングが人ぎくなり、電磁変換特性が悪化覆る
一方９の部分を小さくしようとすると８の部分が十分に
除去されずにエツジブレンド加工の効果が少なくなって
しまうという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消ザるためになされ
たもので、磁気ヘッド素子の先端の除去を少なくしなが
らスライダのエツジの稜のエツジブレンド加工を十分に
行なうことができる磁気ヘッドの製造方法を得ることを
目的とする。
たもので、磁気ヘッド素子の先端の除去を少なくしなが
らスライダのエツジの稜のエツジブレンド加工を十分に
行なうことができる磁気ヘッドの製造方法を得ることを
目的とする。
この発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、スライダ１の
浮上面４側の硬物質２を選択的にエツチングして除去し
てからエツジブレンド加工を行なうことを特徴とするも
のである。
浮上面４側の硬物質２を選択的にエツチングして除去し
てからエツジブレンド加工を行なうことを特徴とするも
のである。
この￥ｊ８方法においては、スライダ１の浮上面４側の
硬物質２が選択的にエツチングされるので、エツジブレ
ンド加工の際に磁気ヘッド素子の先端の削れ方が少ない
程度で十分なスライダ１のエツジの削り量を得ることが
できる。
硬物質２が選択的にエツチングされるので、エツジブレ
ンド加工の際に磁気ヘッド素子の先端の削れ方が少ない
程度で十分なスライダ１のエツジの削り量を得ることが
できる。
第１図はこの発明の一実施例に係る製造方法にＪ：る磁
気ヘッドの断面図であり、第１図（ａ）はスライダ１の
浮上面４の仙磨後、第１図（ｂ）はＴｉＣからなる硬物
質２を選択エツチング後、第１図（Ｃ）はエツジブレン
ド加工後（第２図に示すにうな断面線すにＪ：り切断さ
−れた断面）、第１図（ｄ）はエツジブレンド加工後（
第２図に承りような断面線Ｃにより切断された断面）の
磁気ヘッドの各断面図を示す。この実施例における磁気
ヘッドの製造方法は、第１図（ａ）に示１ようにＴｉＣ
２からなる硬物質２を含んだアルチック祠スライダ１と
、パーマロイ等の磁極材５．５Ｉ０２等のギャップ材６
及びＡｌ２Ｏ３等の保護材７を含む磁気ヘッド素子３と
を一体化して磁気ヘッドを形成した後、それを切断加工
し、図示しない磁気記録媒体に対向する浮上面４を所定
量研磨する。この磁気ヘッドに対し、エツジブレンド加
工を行なう前に第１図（ｂ）に示すように浮上面４側か
ら硬物質２を選択的にエツチングする。
気ヘッドの断面図であり、第１図（ａ）はスライダ１の
浮上面４の仙磨後、第１図（ｂ）はＴｉＣからなる硬物
質２を選択エツチング後、第１図（Ｃ）はエツジブレン
ド加工後（第２図に示すにうな断面線すにＪ：り切断さ
−れた断面）、第１図（ｄ）はエツジブレンド加工後（
第２図に承りような断面線Ｃにより切断された断面）の
磁気ヘッドの各断面図を示す。この実施例における磁気
ヘッドの製造方法は、第１図（ａ）に示１ようにＴｉＣ
２からなる硬物質２を含んだアルチック祠スライダ１と
、パーマロイ等の磁極材５．５Ｉ０２等のギャップ材６
及びＡｌ２Ｏ３等の保護材７を含む磁気ヘッド素子３と
を一体化して磁気ヘッドを形成した後、それを切断加工
し、図示しない磁気記録媒体に対向する浮上面４を所定
量研磨する。この磁気ヘッドに対し、エツジブレンド加
工を行なう前に第１図（ｂ）に示すように浮上面４側か
ら硬物質２を選択的にエツチングする。
このエツチングは例えばＣＦ、又はＣＦ、１０２又はＣ
Ｃ，、を用いたドライエツチングにより行なう。これに
より、スライダ１の浮上面４は比較的柔らかなＡｌ２Ｏ
３材が中心となる。硬物質２を選択エツチングした磁気
ヘッドに対してエツジブレンド加工を行なうと、硬物質
２が除去されて柔らかいＡｌ２Ｏ３材が中心となってい
るため、スライダ１の稜から８で示す部分が容易に削る
ことができる。したがって、第１図（Ｃ）及び第１図（
ｄ）に示すように磁気ヘッド素子３の先端をあまり削ら
ずにスライダ１の稜から必要量だけ丸めることができる
。
Ｃ，、を用いたドライエツチングにより行なう。これに
より、スライダ１の浮上面４は比較的柔らかなＡｌ２Ｏ
３材が中心となる。硬物質２を選択エツチングした磁気
ヘッドに対してエツジブレンド加工を行なうと、硬物質
２が除去されて柔らかいＡｌ２Ｏ３材が中心となってい
るため、スライダ１の稜から８で示す部分が容易に削る
ことができる。したがって、第１図（Ｃ）及び第１図（
ｄ）に示すように磁気ヘッド素子３の先端をあまり削ら
ずにスライダ１の稜から必要量だけ丸めることができる
。
なお、上記実施例ではスライダ１にアルデック材を使用
した場合を説明したが、これに限定されることなく、こ
の発明ではエツチングによりｊ式択的に固い部分だけが
除去される素材でスライダ１で形成することも可能であ
る。
した場合を説明したが、これに限定されることなく、こ
の発明ではエツチングによりｊ式択的に固い部分だけが
除去される素材でスライダ１で形成することも可能であ
る。
以上のように本発明によれば、スライダの浮上面側の硬
物質を選択的にエツチングして除去してからエツジブレ
ンド加工を行なうようにしたので、磁気ヘッド素子の先
端をあまり削らずにスライダのエツジの稜を必要量だけ
丸めることができ、エツジブレンド加工の効果を十分に
得ることができるという効果がある。
物質を選択的にエツチングして除去してからエツジブレ
ンド加工を行なうようにしたので、磁気ヘッド素子の先
端をあまり削らずにスライダのエツジの稜を必要量だけ
丸めることができ、エツジブレンド加工の効果を十分に
得ることができるという効果がある。
第１図（ａ）〜（ｄ）はこの発明の一実施例に係る製造
方法を説明するための磁気ヘッドの断面図、第２図（ａ
）は従来の製造方法による磁気ｌ＼ジッド断面を説明す
るだめの斜視図、第２図（ｂ）（Ｃ）は従来の磁気ヘッ
ドの断面図である。 １・・・・・・スライダ、２・・・・・・硬物質、３・
・・・・・磁気へラド索子、 ４・・・・・・浮上面。
方法を説明するための磁気ヘッドの断面図、第２図（ａ
）は従来の製造方法による磁気ｌ＼ジッド断面を説明す
るだめの斜視図、第２図（ｂ）（Ｃ）は従来の磁気ヘッ
ドの断面図である。 １・・・・・・スライダ、２・・・・・・硬物質、３・
・・・・・磁気へラド索子、 ４・・・・・・浮上面。
Claims (1)
- 硬物質を含み、かつ磁気記録媒体に対向して移動する
スライダと、上記磁気記録媒体に対する情報の書き込み
及び読み出しを行なう磁気ヘッド素子とを一体化し、上
記スライダ及び磁気ヘッド素子における浮上面側をエッ
ジブレンド加工するようにした磁気ヘッドの製造方法に
おいて、上記スライダの浮上面側の硬物質を選択的にエ
ッチングして除去してからエッジブレンド加工を行なう
ようにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28937288A JPH02134717A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28937288A JPH02134717A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02134717A true JPH02134717A (ja) | 1990-05-23 |
Family
ID=17742356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28937288A Pending JPH02134717A (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02134717A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872686A (en) * | 1997-09-30 | 1999-02-16 | International Business Machines Corporation | Magnetic storage system having an improved slider having rounded corners to minimize disk damage |
| US6069769A (en) * | 1997-09-30 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having rounded corners |
| US7114241B2 (en) | 1998-11-11 | 2006-10-03 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of manufacturing a magnetic head device |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP28937288A patent/JPH02134717A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5872686A (en) * | 1997-09-30 | 1999-02-16 | International Business Machines Corporation | Magnetic storage system having an improved slider having rounded corners to minimize disk damage |
| US6069769A (en) * | 1997-09-30 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Air bearing slider having rounded corners |
| US7114241B2 (en) | 1998-11-11 | 2006-10-03 | Western Digital (Fremont), Inc. | Method of manufacturing a magnetic head device |
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