JPH02135527U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02135527U JPH02135527U JP4365989U JP4365989U JPH02135527U JP H02135527 U JPH02135527 U JP H02135527U JP 4365989 U JP4365989 U JP 4365989U JP 4365989 U JP4365989 U JP 4365989U JP H02135527 U JPH02135527 U JP H02135527U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive mechanism
- casing
- slit
- housing
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示す平断面図、第
２図は、同斜視図、第３図は、従来例を示す平断
面図、第４図は、同斜視図である。 １……筐体、２……スリツト、６……駆動機構
、７……アーム、８……支持部、１０……排気ダ
クト。
２図は、同斜視図、第３図は、従来例を示す平断
面図、第４図は、同斜視図である。 １……筐体、２……スリツト、６……駆動機構
、７……アーム、８……支持部、１０……排気ダ
クト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 搬送方向に長いスリツトを形成した筐体内に駆
動機構を設けるとともに、その駆動機構に固定し
たアームを上記スリツトに挿通させて筐体外へ突
出させ、そのアームの先端に被搬送物を支持させ
る支持部を形成し、且つ上記筐体にエアー清浄機
構を付設して成り、上記駆動機構により支持部を
搬送方向へ移動させるとともに、上記エアー清浄
機構により筐体外への発塵を防止するクリーン搬
送装置において、 上記筐体に形成するスリツトは、上記駆動機構
に対する支持部の向きとずらせた向きに開口した
ことを特徴とするクリーン搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4365989U JPH02135527U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4365989U JPH02135527U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02135527U true JPH02135527U (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=31556260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4365989U Pending JPH02135527U (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02135527U (ja) |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP4365989U patent/JPH02135527U/ja active Pending
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