JPH0213833A - Ｉｃｐ発光分析装置 - Google Patents
Ｉｃｐ発光分析装置Info
- Publication number
- JPH0213833A JPH0213833A JP63164471A JP16447188A JPH0213833A JP H0213833 A JPH0213833 A JP H0213833A JP 63164471 A JP63164471 A JP 63164471A JP 16447188 A JP16447188 A JP 16447188A JP H0213833 A JPH0213833 A JP H0213833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- wavelength
- icp emission
- laser
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、Ｉ ＣＰ（誘導結合プラズマ）発光分析装置
に関する。
に関する。
（ロ）従来の技術
従来のＩＣＰ発光分析装置では、高周波電源からプラズ
マトーチに高周波電力を供給する一方、分析対象となる
試料をネプライザで霧化してプラズマトーチに導入する
。そして、霧化された試料をプラズマトーチ内で励起し
て発光させ、この光を分光器で元素特有のスペクトル線
に分光し、各スペクトル線の有無と強度を光検出器で検
出することにより、試料に含まれる各元素の定性、定量
分析を行う。
マトーチに高周波電力を供給する一方、分析対象となる
試料をネプライザで霧化してプラズマトーチに導入する
。そして、霧化された試料をプラズマトーチ内で励起し
て発光させ、この光を分光器で元素特有のスペクトル線
に分光し、各スペクトル線の有無と強度を光検出器で検
出することにより、試料に含まれる各元素の定性、定量
分析を行う。
（ハ）発明が解決しようとする課題
このように、従来のこの種の装置では１．プラズマ光を
各スペクトル線の情報に変換するために、分光器ならび
に光検出器が必要不可欠とされる。
各スペクトル線の情報に変換するために、分光器ならび
に光検出器が必要不可欠とされる。
そのため、装置が大型化するとともに、高価とな。
る。さらに、分光器は精密機器であり、その使用に際し
ては温度、振動等に起因するドリフト等の影響を除くた
めに一定の環境に保持する必要があり、メインテナンス
にも手間がかかる。
る。さらに、分光器は精密機器であり、その使用に際し
ては温度、振動等に起因するドリフト等の影響を除くた
めに一定の環境に保持する必要があり、メインテナンス
にも手間がかかる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、分光器や光検出器を使用せずに、高分解能のスペク
トルデータが得られるようにして、従来に比較して装置
全体を小型化し、しかも、メインテナンスが簡単になる
ようにすることを目的とする。
て、分光器や光検出器を使用せずに、高分解能のスペク
トルデータが得られるようにして、従来に比較して装置
全体を小型化し、しかも、メインテナンスが簡単になる
ようにすることを目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。
る。
すなわち、本発明のＩＣＰ発光分析装置では、プラズマ
トーチで発生されるプラズマ炎に対してレーザ光を照射
する波長可変レーザと、前記プラズマ炎を挟んで対向配
置された一対の電極と、前記両電極間に流れるイオン電
流を検出する検出器とを備えていることを特徴とする。
トーチで発生されるプラズマ炎に対してレーザ光を照射
する波長可変レーザと、前記プラズマ炎を挟んで対向配
置された一対の電極と、前記両電極間に流れるイオン電
流を検出する検出器とを備えていることを特徴とする。
（ホ）作用
上記構成によれば、プラズマトーチで発生されるプラズ
マ炎に対して波長可変レーザからのレーザ光を照射する
。その際、光ガルバノ効果により、そのレーザ光を吸収
する原子が存在すると、イオン数が変化して電極間に流
れるイオン電流が変化する。このイオン電流の変化が検
出器で検出される。したがって、レーザ光の波長を掃引
しつつイオン電流変化を測定することにより、所要のス
ペクトルデータが得られる。
マ炎に対して波長可変レーザからのレーザ光を照射する
。その際、光ガルバノ効果により、そのレーザ光を吸収
する原子が存在すると、イオン数が変化して電極間に流
れるイオン電流が変化する。このイオン電流の変化が検
出器で検出される。したがって、レーザ光の波長を掃引
しつつイオン電流変化を測定することにより、所要のス
ペクトルデータが得られる。
（へ）実施例
第１図は本発明の実施例に係るＩＣＰ発光分析装置の構
成図である。同図において、符号ｌは■ＣＰ発光分析装
置の全体を示し、２はプラズマトーチ、４は試料、６は
試料４を霧化するネプライザ、８はプラズマトーチ２に
Ａｒ等のガスを供給するガス制御装置、ｌＯは高周波プ
ラズマ発生用の誘導コイル、１２は誘導コイルＩＯに高
周波電力を供給する高周波電源、１４はプラズマトーチ
２で発生されたプラズマ炎である。
成図である。同図において、符号ｌは■ＣＰ発光分析装
置の全体を示し、２はプラズマトーチ、４は試料、６は
試料４を霧化するネプライザ、８はプラズマトーチ２に
Ａｒ等のガスを供給するガス制御装置、ｌＯは高周波プ
ラズマ発生用の誘導コイル、１２は誘導コイルＩＯに高
周波電力を供給する高周波電源、１４はプラズマトーチ
２で発生されたプラズマ炎である。
この実施例では、上記のプラズマ炎１４に対してレーザ
光を照射する波長可変レーザ１６を備える。波長可変レ
ーザ１６としては、各種の色素レーザを使用できるが、
特には広い波長域で高効率の発振が得られるパルス、レ
ーザ励起色素レーザ（−例としてＮ、レーザ励起色素レ
ーザ）が適用される。また、１８は波長可変レーザ１６
の波長を掃引するための波長掃引制御部である。２０は
レーザ光の光路上に配置されたハーフミラ−１２２はプ
ラズマ炎！４を挟んで対向配置された一対の電極である
。これらの各電極２２は水冷等により常時冷却されてお
り、また、画電極２２間には高圧電源２４により高圧が
印加される。２６はノ＼−フミラー２０で反射されたレ
ーザ光を検出する光電変換素子（本例ではフォトダイオ
ード）、２８は上記の画電極２２間に流れるイオン電流
を検出する検出器であり、本例では同調増幅器３０とボ
ックスカー積分器３２とからなる。３４は検出器２８で
検出されたイオン電流とレーザ光の掃引波長との関係に
基づいてスペクトルデータを求めて試料中の元素の定性
、定量分析を行うデータ処理部である。
光を照射する波長可変レーザ１６を備える。波長可変レ
ーザ１６としては、各種の色素レーザを使用できるが、
特には広い波長域で高効率の発振が得られるパルス、レ
ーザ励起色素レーザ（−例としてＮ、レーザ励起色素レ
ーザ）が適用される。また、１８は波長可変レーザ１６
の波長を掃引するための波長掃引制御部である。２０は
レーザ光の光路上に配置されたハーフミラ−１２２はプ
ラズマ炎！４を挟んで対向配置された一対の電極である
。これらの各電極２２は水冷等により常時冷却されてお
り、また、画電極２２間には高圧電源２４により高圧が
印加される。２６はノ＼−フミラー２０で反射されたレ
ーザ光を検出する光電変換素子（本例ではフォトダイオ
ード）、２８は上記の画電極２２間に流れるイオン電流
を検出する検出器であり、本例では同調増幅器３０とボ
ックスカー積分器３２とからなる。３４は検出器２８で
検出されたイオン電流とレーザ光の掃引波長との関係に
基づいてスペクトルデータを求めて試料中の元素の定性
、定量分析を行うデータ処理部である。
次に、上記構成のＩＣＰ発光分析装置１の作用について
説明する。
説明する。
高周波電源１２から誘導コイル１０に高周波電流が供給
されると、その電磁誘導作用によりプラズマトーチ２に
はプラズマ炎１４が生成する。このプラズマ炎１４に対
して試料４をネプライザ６で霧化して導入する。これに
より、試料が励起されて発光する。また、予め、高圧電
源２４により画電極２２間に高電圧を印加しておく。
されると、その電磁誘導作用によりプラズマトーチ２に
はプラズマ炎１４が生成する。このプラズマ炎１４に対
して試料４をネプライザ６で霧化して導入する。これに
より、試料が励起されて発光する。また、予め、高圧電
源２４により画電極２２間に高電圧を印加しておく。
そして、試料が励起されたプラズマ炎１４に対して波長
可変レーザ１６からパルスレーザ光を照射しつつ、この
パルスレーザ光を波長掃引制御部１８により波長掃引す
る。このときの波長のレーザ光を吸収するのに適合した
試料元素が存在すると、光ガルバノ効果によりプラズマ
炎１４中のイオン数が変化し、これに伴って画電極２２
間に流れるイオン電流が変化する。このイオン電流の変
化は、同調増幅器３０で増幅された後、ボックスカー積
分器３２に入力される。一方、波長可変レーザ１６から
のレーザ光の一部はハーフミラ−２０を介してフォトダ
イオード２６で検出され、この検出出力がボックスカー
積分器３２にサンプリングトリガ信号として入力される
。これにより、レーザ光のパルス出力のタイミングに同
期してイオン電流がサンプリングされて順次積分される
。
可変レーザ１６からパルスレーザ光を照射しつつ、この
パルスレーザ光を波長掃引制御部１８により波長掃引す
る。このときの波長のレーザ光を吸収するのに適合した
試料元素が存在すると、光ガルバノ効果によりプラズマ
炎１４中のイオン数が変化し、これに伴って画電極２２
間に流れるイオン電流が変化する。このイオン電流の変
化は、同調増幅器３０で増幅された後、ボックスカー積
分器３２に入力される。一方、波長可変レーザ１６から
のレーザ光の一部はハーフミラ−２０を介してフォトダ
イオード２６で検出され、この検出出力がボックスカー
積分器３２にサンプリングトリガ信号として入力される
。これにより、レーザ光のパルス出力のタイミングに同
期してイオン電流がサンプリングされて順次積分される
。
そして、波長可変レーザ１６の掃引波長に対応するボッ
クスカー積分器３２の積分強度値に基づいて、データ処
理部３４は、第２図に示すような所要のスペクトルデー
タを得る。さらに、データ処皿部３４は、得られたスペ
クトルを各元素のデータベースと照合して試料中の元素
の定性、定量分析を行う。
クスカー積分器３２の積分強度値に基づいて、データ処
理部３４は、第２図に示すような所要のスペクトルデー
タを得る。さらに、データ処皿部３４は、得られたスペ
クトルを各元素のデータベースと照合して試料中の元素
の定性、定量分析を行う。
なお、この実施例ではプラズマ中のイオン数の変化を電
極２２間に流れるイオン電流の変化として検出している
が、その他、プラズマ負荷のインピーダンス変化をたと
えばプラズマ生成用の高周波の反射波の変化として検出
することも可能である。
極２２間に流れるイオン電流の変化として検出している
が、その他、プラズマ負荷のインピーダンス変化をたと
えばプラズマ生成用の高周波の反射波の変化として検出
することも可能である。
（ト）効果
本発明によれば、光ガルバノ効果を利用して分光測定を
行うため、分光器や光検出器を使用せずに高分解能のス
ペクトルデータが得られるようになる。その結果、従来
に比較して装置全体を小型化でき、しかも、メインテナ
ンスが簡単になる等の優れた効果が発揮される。
行うため、分光器や光検出器を使用せずに高分解能のス
ペクトルデータが得られるようになる。その結果、従来
に比較して装置全体を小型化でき、しかも、メインテナ
ンスが簡単になる等の優れた効果が発揮される。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図はＩＣＰ発
光分析装置の構成図、第２図はレーザ光の波長と検出し
たイオン電流との関係を示す特性図である。 １・・・ＩＣＰ発光分析装置、１６・・・波長可変レー
ザ、２２・・・電極、２８・・・検出器。
光分析装置の構成図、第２図はレーザ光の波長と検出し
たイオン電流との関係を示す特性図である。 １・・・ＩＣＰ発光分析装置、１６・・・波長可変レー
ザ、２２・・・電極、２８・・・検出器。
Claims (1)
- （１）プラズマトーチで発生されるプラズマ炎に対して
レーザ光を照射する波長可変レーザと、前記プラズマ炎
を挟んで対向配置された一対の電極と、 前記両電極間に流れるイオン電流を検出する検出器と、 を備えることを特徴とするＩＣＰ発光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164471A JPH0213833A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164471A JPH0213833A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213833A true JPH0213833A (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15793809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164471A Pending JPH0213833A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | Ｉｃｐ発光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0213833A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003526875A (ja) * | 1999-02-25 | 2003-09-09 | ブリティッシュ ニュークリアー フュエルズ パブリック リミテッド カンパニー | 分析装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102140A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-12 | Hitachi Ltd | レ−ザ励起プラズマ分光分析用定量補正方法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63164471A patent/JPH0213833A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102140A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-12 | Hitachi Ltd | レ−ザ励起プラズマ分光分析用定量補正方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003526875A (ja) * | 1999-02-25 | 2003-09-09 | ブリティッシュ ニュークリアー フュエルズ パブリック リミテッド カンパニー | 分析装置 |
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