JPH04274743A - レーザー発光分析方法 - Google Patents
レーザー発光分析方法Info
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- JPH04274743A JPH04274743A JP6117091A JP6117091A JPH04274743A JP H04274743 A JPH04274743 A JP H04274743A JP 6117091 A JP6117091 A JP 6117091A JP 6117091 A JP6117091 A JP 6117091A JP H04274743 A JPH04274743 A JP H04274743A
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- JP
- Japan
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- laser
- measured
- light
- laser beam
- spectrum
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、溶融金属又は高温金属
等の金属の元素を直接分析するレーザー発光分析方法に
関する。
等の金属の元素を直接分析するレーザー発光分析方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザー光を照射して溶鋼等の元素を分
析する方法として、特開昭５７−１００３２３号公報、
特開昭６１−８６６３６号公報及び特開昭６２−１８８
９１９号公報に開示されている発明の方法がある。特開
昭５７−１００３２３号公報の発明及び特開昭６１−８
６６３６号公報の発明に係る分析方法は、高エネルギー
密度のレーザー光を数十ｎ秒の間にサンプルに照射し、
サンプルの一部をプラズマ化してプラズマからの発光を
分光し、測定対象成分及び鉄のスペクトル線並びにバッ
クグラウンドの強度を測定して測定対象成分の濃度を求
める方法である。これらの方法は、測定対象成分の発光
強度が強いスペクトル線を分析線として選び、またスペ
クトルの測定はレーザー光を照射してプラズマからの熱
放射光が十分減衰した後、即ちレーザー光を照射して略
１μ秒経過した後から開始することにしてスペクトル線
のシグナルとバックグラウンドとの比を高めることを特
徴としている。
析する方法として、特開昭５７−１００３２３号公報、
特開昭６１−８６６３６号公報及び特開昭６２−１８８
９１９号公報に開示されている発明の方法がある。特開
昭５７−１００３２３号公報の発明及び特開昭６１−８
６６３６号公報の発明に係る分析方法は、高エネルギー
密度のレーザー光を数十ｎ秒の間にサンプルに照射し、
サンプルの一部をプラズマ化してプラズマからの発光を
分光し、測定対象成分及び鉄のスペクトル線並びにバッ
クグラウンドの強度を測定して測定対象成分の濃度を求
める方法である。これらの方法は、測定対象成分の発光
強度が強いスペクトル線を分析線として選び、またスペ
クトルの測定はレーザー光を照射してプラズマからの熱
放射光が十分減衰した後、即ちレーザー光を照射して略
１μ秒経過した後から開始することにしてスペクトル線
のシグナルとバックグラウンドとの比を高めることを特
徴としている。
【０００３】特開昭６２−１８８９１９号公報の発明は
、ＹＡＧレーザー装置等から高エネルギー密度のレーザ
ー光をサンプルに照射してサンプルをプラズマ化させ、
次いで０．１ｎ秒〜１０μ秒の間に最初のレーザーと同
様のレーザーからレーザー光を発振させ、プラズマに照
射して励起させ、その発光スペクトルを分析するもので
ある。２段階でサンプルを励起することにより、発光ス
ペクトルの光強度を従来より強め、検出感度及び精度の
向上を図っている。
、ＹＡＧレーザー装置等から高エネルギー密度のレーザ
ー光をサンプルに照射してサンプルをプラズマ化させ、
次いで０．１ｎ秒〜１０μ秒の間に最初のレーザーと同
様のレーザーからレーザー光を発振させ、プラズマに照
射して励起させ、その発光スペクトルを分析するもので
ある。２段階でサンプルを励起することにより、発光ス
ペクトルの光強度を従来より強め、検出感度及び精度の
向上を図っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の分析方
法においてはプラズマから発光したスペクトルは分光装
置まで伝送されて分析されるが、分光装置は溶鋼から熱
的に隔離し、防塵及び除振を施して分析精度を維持する
ために、溶鋼位置から少なくとも数十ｍ以上は離さなけ
ればならない。スペクトル光を数十ｍ以上の距離におい
て安定して伝送するためには光ファイバーを使用するこ
とが不可欠である。表１は市販の合成石英をコアとした
光ファイバーの透過率を示した表である。
法においてはプラズマから発光したスペクトルは分光装
置まで伝送されて分析されるが、分光装置は溶鋼から熱
的に隔離し、防塵及び除振を施して分析精度を維持する
ために、溶鋼位置から少なくとも数十ｍ以上は離さなけ
ればならない。スペクトル光を数十ｍ以上の距離におい
て安定して伝送するためには光ファイバーを使用するこ
とが不可欠である。表１は市販の合成石英をコアとした
光ファイバーの透過率を示した表である。
【０００５】
【０００６】表１より数十ｍの距離を伝送するときは波
長が２４５ｎｍ以下であると光ファイバーによる損失が
非常に大きく、十分な光量が得られないことが判る。従
って分析装置により分析すべきスペクトルの波長は２４
５ｎｍ以上の長波長に限定されることになる。
長が２４５ｎｍ以下であると光ファイバーによる損失が
非常に大きく、十分な光量が得られないことが判る。従
って分析装置により分析すべきスペクトルの波長は２４
５ｎｍ以上の長波長に限定されることになる。
【０００７】上述したように従来技術では分析すべきス
ペクトルの波長は２４５ｎｍ以上の長波長に限定されて
おり、溶鋼中の例えばＰ、Ｃ等の成分を分析するときに
は以下の問題があった。即ち従来技術においては照射し
たレーザー光のエネルギーがサンプル面において熱エネ
ルギーに変換され、サンプルの一部を原子化するととも
に原子を熱的に励起する。Ｐ、Ｃの励起準位は略６００
００ｃｍ−１であり、鉄のイオン化エネルギーが同程度
であるため、熱的にサンプルを励起して発光スペクトル
を分析するときに鉄イオンのスペクトルにより干渉され
る場合及び吸収される場合があってＰ、Ｃのスペクトル
を正確に観測できないという問題があった。２４５ｎｍ
以上の波長のスペクトルを分析する場合、Ｐは２５３．
６ｎｍ若しくは２５５．３ｎｍの波長又はそれ以上の波
長、Ｃは２４７．８ｎｍ又はそれ以上の波長のスペクト
ルを観測することになるが、鉄イオンのスペクトルもこ
れらと同程度の波長で観測されるのでその影響によりこ
れらの観測ができない、またできた場合でも十分な分析
精度が得られないという問題があった。
ペクトルの波長は２４５ｎｍ以上の長波長に限定されて
おり、溶鋼中の例えばＰ、Ｃ等の成分を分析するときに
は以下の問題があった。即ち従来技術においては照射し
たレーザー光のエネルギーがサンプル面において熱エネ
ルギーに変換され、サンプルの一部を原子化するととも
に原子を熱的に励起する。Ｐ、Ｃの励起準位は略６００
００ｃｍ−１であり、鉄のイオン化エネルギーが同程度
であるため、熱的にサンプルを励起して発光スペクトル
を分析するときに鉄イオンのスペクトルにより干渉され
る場合及び吸収される場合があってＰ、Ｃのスペクトル
を正確に観測できないという問題があった。２４５ｎｍ
以上の波長のスペクトルを分析する場合、Ｐは２５３．
６ｎｍ若しくは２５５．３ｎｍの波長又はそれ以上の波
長、Ｃは２４７．８ｎｍ又はそれ以上の波長のスペクト
ルを観測することになるが、鉄イオンのスペクトルもこ
れらと同程度の波長で観測されるのでその影響によりこ
れらの観測ができない、またできた場合でも十分な分析
精度が得られないという問題があった。
【０００８】本発明は斯かる事情に鑑みなされたもので
あり、金属にレーザー光を照射して被測定元素を原子化
させ、被測定元素の発光スペクトルを励起するために必
要な周波数と同一の周波数又は半分の周波数の第２のレ
ーザー光を原子化した被測定元素に照射してスペクトル
光を発生させ、発生したスペクトル光を光ファイバ−に
より分光装置まで伝送して分析することにより、鉄イオ
ンのスペクトル光による干渉又は吸収を受けることがな
く、金属中の微量成分についても高精度に分析すること
ができる分析方法を提供することを目的とする。
あり、金属にレーザー光を照射して被測定元素を原子化
させ、被測定元素の発光スペクトルを励起するために必
要な周波数と同一の周波数又は半分の周波数の第２のレ
ーザー光を原子化した被測定元素に照射してスペクトル
光を発生させ、発生したスペクトル光を光ファイバ−に
より分光装置まで伝送して分析することにより、鉄イオ
ンのスペクトル光による干渉又は吸収を受けることがな
く、金属中の微量成分についても高精度に分析すること
ができる分析方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１発明のレーザー発光
分析方法は、金属にレーザー光を照射して被測定元素を
原子化させ、原子化した被測定元素に第２のレーザー光
を照射してこれを励起し、スペクトル光を発生させ、該
スペクトル光を光ファイバーにより分光装置まで伝送し
て該分光装置により分析することを特徴とする。第２発
明のレーザー発光分析方法は、原子化した被測定元素に
照射する第２のレーザー光の周波数を、該被測定元素の
発光スペクトルを励起するために必要な周波数と同一の
周波数にすることを特徴とする。第３発明のレーザー発
光分析方法は、原子化した被測定元素に照射する第２の
レーザー光の周波数を、該被測定元素の発光スペクトル
を励起するために必要な周波数の半分の周波数にするこ
とを特徴とする。
分析方法は、金属にレーザー光を照射して被測定元素を
原子化させ、原子化した被測定元素に第２のレーザー光
を照射してこれを励起し、スペクトル光を発生させ、該
スペクトル光を光ファイバーにより分光装置まで伝送し
て該分光装置により分析することを特徴とする。第２発
明のレーザー発光分析方法は、原子化した被測定元素に
照射する第２のレーザー光の周波数を、該被測定元素の
発光スペクトルを励起するために必要な周波数と同一の
周波数にすることを特徴とする。第３発明のレーザー発
光分析方法は、原子化した被測定元素に照射する第２の
レーザー光の周波数を、該被測定元素の発光スペクトル
を励起するために必要な周波数の半分の周波数にするこ
とを特徴とする。
【００１０】
【作用】レーザーとして出力数十ｋＷ以上、パルス幅数
百μｓのパルス発振のＹＡＧレーザー又は出力数ｋＷ若
しくはそれ以上の連続発振のＹＡＧレーザーを使用し、
レーザー光を発振させてサンプル面に照射し、サンプル
を原子化する。このとき原子化サンプルの温度が出来る
限り低温、例えば略３０００Ｋになる様に、照射するレ
ーザーのエネルギー密度を調整する。この原子化したサ
ンプルに、被測定元素の発光スペクトルを励起するため
に必要な周波数と同一又は半分の周波数の第２のレーザ
ー光を照射すると、被測定元素の原子が共鳴的に励起さ
れ、レーザー光の進行方向とは異なる方向にスペクトル
光が自然放出される。このスペクトル光の強度はレーザ
ー光の強度、被測定元素の濃度及び原子化されたサンプ
ルの温度に依存する。原子化されたサンプルの温度が３
０００Ｋのように低温の場合、励起直前のＰの原子数は
鉄イオンの数の１０４ 〜１０８ 倍であり、Ｐの測定
波長である２５５．３ｎｍのレーザー光を照射するとＰ
原子が励起され、このとき鉄イオンは存在しないので鉄
イオンのスペクトルによる干渉又は吸収を受けずに、Ｐ
の発光スペクトルを観測することができる。Ｃの場合も
同様であり、Ｃの測定波長である２４７．９ｎｍのレー
ザー光を照射すると鉄イオンのスペクトルの影響を受け
ずに、Ｃの発光スペクトルを観測することができる。な
お、発光スペクトルは、市販の光ファイバーを用いるこ
とにより容易に数十ｍ離れた分析装置に伝送することが
できる。
百μｓのパルス発振のＹＡＧレーザー又は出力数ｋＷ若
しくはそれ以上の連続発振のＹＡＧレーザーを使用し、
レーザー光を発振させてサンプル面に照射し、サンプル
を原子化する。このとき原子化サンプルの温度が出来る
限り低温、例えば略３０００Ｋになる様に、照射するレ
ーザーのエネルギー密度を調整する。この原子化したサ
ンプルに、被測定元素の発光スペクトルを励起するため
に必要な周波数と同一又は半分の周波数の第２のレーザ
ー光を照射すると、被測定元素の原子が共鳴的に励起さ
れ、レーザー光の進行方向とは異なる方向にスペクトル
光が自然放出される。このスペクトル光の強度はレーザ
ー光の強度、被測定元素の濃度及び原子化されたサンプ
ルの温度に依存する。原子化されたサンプルの温度が３
０００Ｋのように低温の場合、励起直前のＰの原子数は
鉄イオンの数の１０４ 〜１０８ 倍であり、Ｐの測定
波長である２５５．３ｎｍのレーザー光を照射するとＰ
原子が励起され、このとき鉄イオンは存在しないので鉄
イオンのスペクトルによる干渉又は吸収を受けずに、Ｐ
の発光スペクトルを観測することができる。Ｃの場合も
同様であり、Ｃの測定波長である２４７．９ｎｍのレー
ザー光を照射すると鉄イオンのスペクトルの影響を受け
ずに、Ｃの発光スペクトルを観測することができる。な
お、発光スペクトルは、市販の光ファイバーを用いるこ
とにより容易に数十ｍ離れた分析装置に伝送することが
できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
き具体的に説明する。図１は本発明に係るレーザー発光
分析装置を示す模式図であり、図中１６は溶鋼である。 溶鋼１６の上側には耐熱材からなる２重管構造のＡｒパ
ージフード１１及びこの上側に連設させた逆Ｌ字型の水
冷フード１０が配置されている。Ａｒパージフード１１
の外管の下端部は溶鋼１６に浸漬させてあり、内管の端
部は溶鋼１６表面の少し上側に位置するようになってい
る。Ａｒパージフード１１の底蓋１１ａは外れた状態に
なっている。水冷フード１０は管壁の内部に冷却水を通
流できるようになっている。水冷フード１０の水平部の
上面にはＡｒ導入管１７が連結されており、Ａｒ導入管
１７より導入されるＡｒガスは水冷フード１０内及びＡ
ｒパージフード１１内を満たし、Ａｒパージフード１１
の内管下端部と溶鋼１６表面との間を通って外管と内管
との間隙を上昇し、外管上部に設けられた孔から外部に
放出されるようになっている。
き具体的に説明する。図１は本発明に係るレーザー発光
分析装置を示す模式図であり、図中１６は溶鋼である。 溶鋼１６の上側には耐熱材からなる２重管構造のＡｒパ
ージフード１１及びこの上側に連設させた逆Ｌ字型の水
冷フード１０が配置されている。Ａｒパージフード１１
の外管の下端部は溶鋼１６に浸漬させてあり、内管の端
部は溶鋼１６表面の少し上側に位置するようになってい
る。Ａｒパージフード１１の底蓋１１ａは外れた状態に
なっている。水冷フード１０は管壁の内部に冷却水を通
流できるようになっている。水冷フード１０の水平部の
上面にはＡｒ導入管１７が連結されており、Ａｒ導入管
１７より導入されるＡｒガスは水冷フード１０内及びＡ
ｒパージフード１１内を満たし、Ａｒパージフード１１
の内管下端部と溶鋼１６表面との間を通って外管と内管
との間隙を上昇し、外管上部に設けられた孔から外部に
放出されるようになっている。
【００１２】そして、水冷フード１０上部の端面にはレ
ーザー窓１５が設けられており、該端面の外側に前記レ
ーザー窓１５と対向させて偏光ビームスプリッタ１２、
連続発振のＹＡＧレーザー１が順次配置されている。Ｙ
ＡＧレーザー１は出力１．２ｋＷでレーザー光を連続発
振する。発振されたレーザー光は偏光ビームスプリッタ
１２により偏光され、レーザー窓１５を通過して水冷フ
ード１０内に入り、水冷フード１０のＬ字型角部に設置
された反射鏡１３にて反射し、レーザー光集光レンズ９
により集光されて溶鋼１６の表面を照射し、溶鋼１６を
原子化させるようになっている。
ーザー窓１５が設けられており、該端面の外側に前記レ
ーザー窓１５と対向させて偏光ビームスプリッタ１２、
連続発振のＹＡＧレーザー１が順次配置されている。Ｙ
ＡＧレーザー１は出力１．２ｋＷでレーザー光を連続発
振する。発振されたレーザー光は偏光ビームスプリッタ
１２により偏光され、レーザー窓１５を通過して水冷フ
ード１０内に入り、水冷フード１０のＬ字型角部に設置
された反射鏡１３にて反射し、レーザー光集光レンズ９
により集光されて溶鋼１６の表面を照射し、溶鋼１６を
原子化させるようになっている。
【００１３】ＹＡＧレーザー１の下側には出力が１μＪ
／パルスであり、波長可変の第２のレーザーとしての色
素レーザー２が配置されている。色素レーザー２の発振
器から発振されたレーザー光は、非線型光学素子７によ
り波長変換され、プリズム８により偏光され、反射鏡１
４にて反射し、偏光ビームスプリッタ１２に入る。その
後は、ＹＡＧレーザー１のレーザー光と同一の経路を辿
り、ＹＡＧレーザー１のレーザー光により原子化された
サンプルを励起するようになっている。
／パルスであり、波長可変の第２のレーザーとしての色
素レーザー２が配置されている。色素レーザー２の発振
器から発振されたレーザー光は、非線型光学素子７によ
り波長変換され、プリズム８により偏光され、反射鏡１
４にて反射し、偏光ビームスプリッタ１２に入る。その
後は、ＹＡＧレーザー１のレーザー光と同一の経路を辿
り、ＹＡＧレーザー１のレーザー光により原子化された
サンプルを励起するようになっている。
【００１４】色素レーザー２のレーザー光により励起さ
れた原子の発光スペクトルは、水冷フード１０内のスペ
クトル集光レンズ３により集光され、光ファイバー４に
より分光器５に伝送され、分光されたのち、データ処理
装置６によってデータ処理されるようになっている。こ
の分光器５としては多元素同時分析が可能な分光器が使
用されており、分光器５及びデータ処理装置６は防塵、
防振処置が施され、雰囲気温度及び湿度を一定に保持さ
れた室内に設置されている。
れた原子の発光スペクトルは、水冷フード１０内のスペ
クトル集光レンズ３により集光され、光ファイバー４に
より分光器５に伝送され、分光されたのち、データ処理
装置６によってデータ処理されるようになっている。こ
の分光器５としては多元素同時分析が可能な分光器が使
用されており、分光器５及びデータ処理装置６は防塵、
防振処置が施され、雰囲気温度及び湿度を一定に保持さ
れた室内に設置されている。
【００１５】以上の如く構成されたレーザー発光分析装
置を使用して分析する場合、まずＡｒパージフード１１
をその外管下端部を溶鋼１６に浸漬させて配置する。こ
のとき底蓋１１ａが外れる。次にＡｒ導入管１７よりＡ
ｒガスを導入し、水冷フード１０及びＡｒパージフード
１１内をＡｒガスで満たし、溶鋼１６に酸化物が生じな
いようにし、水冷フード１０の管壁内に冷却水を通流さ
せて溶鋼１６からの熱輻射による温度上昇を防止する。 そしてＹＡＧレーザー１よりレーザー光を連続発振する
。発振されたレーザー光は偏光ビームスプリッタ１２に
より偏光され、反射鏡１３にて反射し、レーザー光集光
レンズ９により集光されて溶鋼１６の表面を照射する。 このとき溶鋼１６の一部が原子化される。
置を使用して分析する場合、まずＡｒパージフード１１
をその外管下端部を溶鋼１６に浸漬させて配置する。こ
のとき底蓋１１ａが外れる。次にＡｒ導入管１７よりＡ
ｒガスを導入し、水冷フード１０及びＡｒパージフード
１１内をＡｒガスで満たし、溶鋼１６に酸化物が生じな
いようにし、水冷フード１０の管壁内に冷却水を通流さ
せて溶鋼１６からの熱輻射による温度上昇を防止する。 そしてＹＡＧレーザー１よりレーザー光を連続発振する
。発振されたレーザー光は偏光ビームスプリッタ１２に
より偏光され、反射鏡１３にて反射し、レーザー光集光
レンズ９により集光されて溶鋼１６の表面を照射する。 このとき溶鋼１６の一部が原子化される。
【００１６】さらに色素レーザー２より第２のレーザー
光を発振し、非線型光学素子７により波長変換する。こ
のとき被測定元素の発光スペクトルを励起するために必
要な周波数と同一又は半分の周波数になるように波長を
変換する。例えばＰの測定を行う場合は２５５．３２８
ｎｍの波長に変換し、Ｃの測定を行う場合は２４７．８
ｎｍの波長に変換する。波長変換されたレーザー光はプ
リズム８により偏光され、反射鏡１４にて反射し、偏光
ビームスプリッタ１２に入る。そして反射鏡１３にて反
射し、レーザー光集光レンズ９により集光されてＹＡＧ
レーザー１のレーザー光により原子化されたサンプルを
励起する。励起された原子の発光スペクトルはスペクト
ル集光レンズ３により集光され、光ファイバー４により
分光器５に伝送され、分光される。そして被測定元素の
検量線に基づき、データ処理装置６により被測定元素の
濃度が求められる。このとき、２種類以上の鉄の発光線
の強度を測定するか又は光ファイバーからなる放射温度
計を用いることにより、原子化したサンプルの温度を推
定し、この温度に対応させて検量線の補正を行う。
光を発振し、非線型光学素子７により波長変換する。こ
のとき被測定元素の発光スペクトルを励起するために必
要な周波数と同一又は半分の周波数になるように波長を
変換する。例えばＰの測定を行う場合は２５５．３２８
ｎｍの波長に変換し、Ｃの測定を行う場合は２４７．８
ｎｍの波長に変換する。波長変換されたレーザー光はプ
リズム８により偏光され、反射鏡１４にて反射し、偏光
ビームスプリッタ１２に入る。そして反射鏡１３にて反
射し、レーザー光集光レンズ９により集光されてＹＡＧ
レーザー１のレーザー光により原子化されたサンプルを
励起する。励起された原子の発光スペクトルはスペクト
ル集光レンズ３により集光され、光ファイバー４により
分光器５に伝送され、分光される。そして被測定元素の
検量線に基づき、データ処理装置６により被測定元素の
濃度が求められる。このとき、２種類以上の鉄の発光線
の強度を測定するか又は光ファイバーからなる放射温度
計を用いることにより、原子化したサンプルの温度を推
定し、この温度に対応させて検量線の補正を行う。
【００１７】なお、本発明の実施例においては、連続発
振のレーザーを使用する場合につき説明しているが何ら
これに限定されるものではなく、例えば出力１Ｊ／パル
ス、パルス幅十数ｎｓのパルスレーザーを使用し、照射
面積を広げることによって温度略３０００Ｋのサンプル
の原子化状態を実現することにしてもよい。
振のレーザーを使用する場合につき説明しているが何ら
これに限定されるものではなく、例えば出力１Ｊ／パル
ス、パルス幅十数ｎｓのパルスレーザーを使用し、照射
面積を広げることによって温度略３０００Ｋのサンプル
の原子化状態を実現することにしてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上の如く本発明においては、金属にレ
ーザー光を照射して生成させた被測定元素の原子に、被
測定元素の発光スペクトルを励起するために必要な周波
数と同一の周波数又は半分の周波数の第２のレーザー光
をレーザーから照射してスペクトル光を発生させ、発生
したスペクトル光を光ファイバーにより分光装置まで伝
送して分析するので、鉄イオンのスペクトル光による干
渉又は吸収を受けることがなく、金属中の微量成分につ
いても高精度に分析することができる等、本発明は優れ
た効果を奏するものである。
ーザー光を照射して生成させた被測定元素の原子に、被
測定元素の発光スペクトルを励起するために必要な周波
数と同一の周波数又は半分の周波数の第２のレーザー光
をレーザーから照射してスペクトル光を発生させ、発生
したスペクトル光を光ファイバーにより分光装置まで伝
送して分析するので、鉄イオンのスペクトル光による干
渉又は吸収を受けることがなく、金属中の微量成分につ
いても高精度に分析することができる等、本発明は優れ
た効果を奏するものである。
【図１】本発明に係るレーザー発光分析装置を示す模式
図である。
図である。
１ ＹＡＧレーザー
２ 色素レーザー
３ スペクトル集光レンズ
４ 光ファイバー
５ 分光器
６ データ処理装置
７ 非線型光学素子
８ プリズム
９ レーザー集光レンズ
１０ 水冷フード
１１ Ａｒパージフード
１２ 偏向ビームスプリッタ
１３ 反射鏡
１４ 反射鏡
１５ レーザー窓
Claims (3)
- 【請求項１】 金属にレーザー光を照射して被測定元
素を原子化させ、原子化した被測定元素に第２のレーザ
ー光を照射してこれを励起し、スペクトル光を発生させ
、該スペクトル光を光ファイバーにより分光装置まで伝
送して分析することを特徴とするレーザー発光分析方法
。 - 【請求項２】 原子化した被測定元素に照射する第２
のレーザー光の周波数を、該被測定元素の発光スペクト
ルを励起するために必要な周波数と同一の周波数にする
ことを特徴とする請求項１記載のレーザー発光分析方法
。 - 【請求項３】 原子化した被測定元素に照射する第２
のレーザー光の周波数を、該被測定元素の発光スペクト
ルを励起するために必要な周波数の半分の周波数にする
ことを特徴とする請求項１記載のレーザー発光分析方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117091A JPH04274743A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | レーザー発光分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6117091A JPH04274743A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | レーザー発光分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04274743A true JPH04274743A (ja) | 1992-09-30 |
Family
ID=13163403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6117091A Pending JPH04274743A (ja) | 1991-03-01 | 1991-03-01 | レーザー発光分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04274743A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266792A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Jfe Steel Kk | 溶融金属の発光分光分析装置 |
| JP2008215851A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Nippon Steel Corp | レーザ誘起蛍光分析用プローブ及びレーザ誘起蛍光分析装置 |
| JP2009287965A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Nippon Steel Corp | 溶融金属用測定装置 |
| JP2011080768A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス分析装置 |
| JP2015038493A (ja) * | 2014-10-01 | 2015-02-26 | 三菱重工業株式会社 | ガス分析装置 |
-
1991
- 1991-03-01 JP JP6117091A patent/JPH04274743A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266792A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Jfe Steel Kk | 溶融金属の発光分光分析装置 |
| JP2008215851A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Nippon Steel Corp | レーザ誘起蛍光分析用プローブ及びレーザ誘起蛍光分析装置 |
| JP2009287965A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Nippon Steel Corp | 溶融金属用測定装置 |
| JP2011080768A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス分析装置 |
| JP2015038493A (ja) * | 2014-10-01 | 2015-02-26 | 三菱重工業株式会社 | ガス分析装置 |
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