JPH02138428U - - Google Patents
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- JPH02138428U JPH02138428U JP4668389U JP4668389U JPH02138428U JP H02138428 U JPH02138428 U JP H02138428U JP 4668389 U JP4668389 U JP 4668389U JP 4668389 U JP4668389 U JP 4668389U JP H02138428 U JPH02138428 U JP H02138428U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drain port
- chemical
- nozzle
- chemical solution
- channel
- Prior art date
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- Pending
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- Weting (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるウエツトエ
ツチング装置の構成図で、ａはエツチング処理時
の状態、ｂは水洗い時の状態を示し、第２図は第
１図における流入口の部分を拡大して示す断面図
である。 ７……薬液ノズル、８……水洗ノズル、１０…
…ドレイン口、１６……廃棄路、１８……薬液槽
、２１……回収路、２８……ポンプ。
ツチング装置の構成図で、ａはエツチング処理時
の状態、ｂは水洗い時の状態を示し、第２図は第
１図における流入口の部分を拡大して示す断面図
である。 ７……薬液ノズル、８……水洗ノズル、１０…
…ドレイン口、１６……廃棄路、１８……薬液槽
、２１……回収路、２８……ポンプ。
Claims (1)
- 基板の搬入が可能な処理室と、この処理室内に
設けられた基板なエツチング用の薬液を吹き付け
る薬液ノズルおよび薬液の洗い流し用の水を吹き
付ける水洗ノズルと、前記処理室の底部に設けら
れたドレイン口と、このドレイン口の下方に設け
られた廃棄路および回収路と、前記ドレイン口を
前記廃棄路に連通させる状態と前記回収路に連通
させる状態とに選択的に切換える切換え機構と、
前記回収路に連通した薬液槽と、この薬液槽内の
薬液を前記薬液ノズルに供給するポンプとを具備
することを特徴とするウエツトエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4668389U JPH02138428U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4668389U JPH02138428U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02138428U true JPH02138428U (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=31561975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4668389U Pending JPH02138428U (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02138428U (ja) |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP4668389U patent/JPH02138428U/ja active Pending
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