JPH0392033U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0392033U JPH0392033U JP15101089U JP15101089U JPH0392033U JP H0392033 U JPH0392033 U JP H0392033U JP 15101089 U JP15101089 U JP 15101089U JP 15101089 U JP15101089 U JP 15101089U JP H0392033 U JPH0392033 U JP H0392033U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- tank
- closing
- washing
- closing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案一実施例の半導体ウエーハの水
洗装置の斜視図、第２図ａ〜ｃは第１図の装置の
動作容量を説明する縦断面図である。第３図ａ〜
ｃは従来の水洗装置の動作要領を説明する縦断面
図である。 １……水洗槽、２……給水口、３……開口部、
４……開閉板（ゲート）、５……キヤリア、６…
…ウエーハ、７……純水、８……オーバーフロー
。
洗装置の斜視図、第２図ａ〜ｃは第１図の装置の
動作容量を説明する縦断面図である。第３図ａ〜
ｃは従来の水洗装置の動作要領を説明する縦断面
図である。 １……水洗槽、２……給水口、３……開口部、
４……開閉板（ゲート）、５……キヤリア、６…
…ウエーハ、７……純水、８……オーバーフロー
。
Claims (1)
- 水洗槽上部壁面に排水口となる開口部と、この
開口部を開閉する開閉板を設けるとともに、槽底
部に給水口を設けたことを特徴とする半導体ウエ
ーハの水洗装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15101089U JPH0392033U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15101089U JPH0392033U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392033U true JPH0392033U (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=31697328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15101089U Pending JPH0392033U (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0392033U (ja) |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP15101089U patent/JPH0392033U/ja active Pending