JPH0213928Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0213928Y2 JPH0213928Y2 JP1983158668U JP15866883U JPH0213928Y2 JP H0213928 Y2 JPH0213928 Y2 JP H0213928Y2 JP 1983158668 U JP1983158668 U JP 1983158668U JP 15866883 U JP15866883 U JP 15866883U JP H0213928 Y2 JPH0213928 Y2 JP H0213928Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cam
- pressure
- fixed
- lever
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術分野〕
この考案は、ガス流量計で計測する流体の圧力
変化に応じて、その回転出力を自動的かつ連続的
に補正するガス流量計用圧力補正装置の改良に関
する。
変化に応じて、その回転出力を自動的かつ連続的
に補正するガス流量計用圧力補正装置の改良に関
する。
従来のこの種の装置としては、例えば第１図に
示すようなものがある。図中１はパイプライン２
内に設置した流量計の羽根車、３はこの羽根車１
と共に回転するマグネチツクカツプリングの一方
の主動磁石である。４は流量計の計数部で、シー
ル板５を介して前記主動磁石３と対向し同期回転
する他方の従動磁石６とデイスク７とを固着した
入力回転軸８と、そのデイスク７に接して回転す
るホイール９を固着した出力回転軸１０と、その
ホイール９をデイスク７のラジアル方向に位置決
めする後述のホイール位置決め手段１１とより構
成される圧力補正装置Ａを内蔵している。出力回
転軸１０の出力はギヤ機構１２を介して指針１３
に伝達される。
示すようなものがある。図中１はパイプライン２
内に設置した流量計の羽根車、３はこの羽根車１
と共に回転するマグネチツクカツプリングの一方
の主動磁石である。４は流量計の計数部で、シー
ル板５を介して前記主動磁石３と対向し同期回転
する他方の従動磁石６とデイスク７とを固着した
入力回転軸８と、そのデイスク７に接して回転す
るホイール９を固着した出力回転軸１０と、その
ホイール９をデイスク７のラジアル方向に位置決
めする後述のホイール位置決め手段１１とより構
成される圧力補正装置Ａを内蔵している。出力回
転軸１０の出力はギヤ機構１２を介して指針１３
に伝達される。
前記ホイール位置決め手段１１は、出力回転軸
１０の一端に当接するカム１４を支持しピボツト
１５で支承される揺動レバー１６と、このレバー
１６を押圧する圧力応答装置１７と、その押圧に
抗して揺動レバー１６を常時牽引する付勢装置１
８とを備えている。
１０の一端に当接するカム１４を支持しピボツト
１５で支承される揺動レバー１６と、このレバー
１６を押圧する圧力応答装置１７と、その押圧に
抗して揺動レバー１６を常時牽引する付勢装置１
８とを備えている。
一般にこのタイプのいわゆる翼車流量計は、羽
根車１の角速度が流体の流速にほぼ比例する。故
に回転数を計数すれば、流体の積算量を流量単位
で表示できる。ところで、例えば水蒸気の如きガ
ス流体にあつては、重量単位で取引されるから、
積算値も重量で表示する必要がある。その場合、
積算計の指示重量と羽根車１の回転数との間には
次の関係があるから、ギヤ機構のギヤ比を適宜選
択すれば重量単位での表示もできる。
根車１の角速度が流体の流速にほぼ比例する。故
に回転数を計数すれば、流体の積算量を流量単位
で表示できる。ところで、例えば水蒸気の如きガ
ス流体にあつては、重量単位で取引されるから、
積算値も重量で表示する必要がある。その場合、
積算計の指示重量と羽根車１の回転数との間には
次の関係があるから、ギヤ機構のギヤ比を適宜選
択すれば重量単位での表示もできる。
ここに
Ｉ：積算計の指示量（Kg）
ｋ：流量係数（Kg・m3）1/2
１／ｖ蒸気の比重量（Kg／m3）
λ：ギヤの減速比
ｎ：流量に比例した回転数
しかし、ガス流体の比容積ｖは、その圧力Ｐに
より第２図に曲線＃１で示すように変化するか
ら、この種の計測値は、計測時の流体圧が流量計
を予め較正する際の圧力P0と等しい場合にのみ、
正確な値を保証できるに過ぎない。
より第２図に曲線＃１で示すように変化するか
ら、この種の計測値は、計測時の流体圧が流量計
を予め較正する際の圧力P0と等しい場合にのみ、
正確な値を保証できるに過ぎない。
そこで圧力補正装置Ａにより、入力回転軸８と
出力回転軸１０との減速比を流体の圧力に応じて
変化させることで、常に(1)式の関係を満し得るよ
うにする。すなわち、ホイール位置決め手段１１
の圧力応答装置１７は、取出管２ａを介して受け
取つた流体圧に比例して揺動レバー１６に対する
押圧力を変える。これに応じてカム１４の傾斜角
が変わり、出力回転軸１０のカム当接点が変位す
る。この変位により、デイスク７とホイール９と
の接触位置が移動し、その結果入力軸−出力軸減
速比は、第２図の曲線＃２のように圧力に応じて
自動的に変化する。これにより、実質的に流体の
比容積ｖの値を、流体圧力Ｐにより求めることが
できる。
出力回転軸１０との減速比を流体の圧力に応じて
変化させることで、常に(1)式の関係を満し得るよ
うにする。すなわち、ホイール位置決め手段１１
の圧力応答装置１７は、取出管２ａを介して受け
取つた流体圧に比例して揺動レバー１６に対する
押圧力を変える。これに応じてカム１４の傾斜角
が変わり、出力回転軸１０のカム当接点が変位す
る。この変位により、デイスク７とホイール９と
の接触位置が移動し、その結果入力軸−出力軸減
速比は、第２図の曲線＃２のように圧力に応じて
自動的に変化する。これにより、実質的に流体の
比容積ｖの値を、流体圧力Ｐにより求めることが
できる。
しかしながら、従来の圧力補正装置にあつて
は、流体圧による揺動レバー１６の傾きをカム１
４を介して変換し、ホイール９の位置を所定の非
線形となる対数的変化に関係づけるために、カム
１４の表面形状が複雑な曲面形状となつていた。
そのため、カム１４の製作が極めて困難であり、
かつキヤリブレーシヨンに独自の技術を要すると
いう問題点があつた。
は、流体圧による揺動レバー１６の傾きをカム１
４を介して変換し、ホイール９の位置を所定の非
線形となる対数的変化に関係づけるために、カム
１４の表面形状が複雑な曲面形状となつていた。
そのため、カム１４の製作が極めて困難であり、
かつキヤリブレーシヨンに独自の技術を要すると
いう問題点があつた。
この考案は、このような従来の問題点に着目し
てなされたもので、カムの当接面の形状を真球面
とすることにより、設計、製作が極めて容易でか
つキヤリブレーシヨンも簡単にできるガス流量計
用圧力補正装置を提供することを目的としてい
る。
てなされたもので、カムの当接面の形状を真球面
とすることにより、設計、製作が極めて容易でか
つキヤリブレーシヨンも簡単にできるガス流量計
用圧力補正装置を提供することを目的としてい
る。
上記の目的を達成するこの考案は、流体の流速
に比例した速度で回転するデイスクを固着した入
力回転軸、そのデイスクに接して回転するホイー
ルを固着した出力回転軸、この出力回転軸の一端
に当接するカムを支持してピボツトで支承される
揺動レバーとこのレバーを押圧する圧力応答装置
とその押圧に抗して揺動レバーを常時牽引する付
勢装置とよりなりホイールをデイスクのラジアル
方向に位置決めするホイール位置決め手段より構
成されるガス流量計用圧力補正装置において、前
記カムは出力回転軸との当接面を真球面に形成し
たガス流量計用圧力補正装置である。
に比例した速度で回転するデイスクを固着した入
力回転軸、そのデイスクに接して回転するホイー
ルを固着した出力回転軸、この出力回転軸の一端
に当接するカムを支持してピボツトで支承される
揺動レバーとこのレバーを押圧する圧力応答装置
とその押圧に抗して揺動レバーを常時牽引する付
勢装置とよりなりホイールをデイスクのラジアル
方向に位置決めするホイール位置決め手段より構
成されるガス流量計用圧力補正装置において、前
記カムは出力回転軸との当接面を真球面に形成し
たガス流量計用圧力補正装置である。
第３図〜第７図はこの考案の実施例を示す図で
ある。なお、従来と同一又は相当部分には同一符
号を付しその説明は省略する。
ある。なお、従来と同一又は相当部分には同一符
号を付しその説明は省略する。
第３図は計数部４の断面図で、２０は入力回転
軸８の軸受装置、２１，２１はこの軸受装置２０
の下端にネジ止めした軸受プレートで出力回転軸
１０を図の左右に移動可能に支承している。９ａ
はホイール９のホルダ、９ｂはホイールスペー
サ、２２は出力回転軸１０に固着したギヤであ
る。ホイール９の回転はギヤ２２、ギヤ機構１
２、ギヤ２３を介して伝導され指針１３を回転さ
せ目盛板１３ａに表示する。
軸８の軸受装置、２１，２１はこの軸受装置２０
の下端にネジ止めした軸受プレートで出力回転軸
１０を図の左右に移動可能に支承している。９ａ
はホイール９のホルダ、９ｂはホイールスペー
サ、２２は出力回転軸１０に固着したギヤであ
る。ホイール９の回転はギヤ２２、ギヤ機構１
２、ギヤ２３を介して伝導され指針１３を回転さ
せ目盛板１３ａに表示する。
第４図は計数部４に内蔵されるホイール位置決
め手段１１の正面図、第５図はその−断面図
である。
め手段１１の正面図、第５図はその−断面図
である。
２４はこの考案に係るカムで、出力回転軸１０
の尖頭が当接する面２４ａは真球面となるように
形成してある。例えば、市販のボールベアリング
の鋼球を用いて製作してもよい。２５はこのカム
２４を挿通してねじ部２５ａの端部に保持する調
整軸で、揺動レバー１６のコ字状折り曲げ部１６
ａ，１６ｂにより支持されている。２６はカムス
ペーサ、２７はカム押えスプリング、２８はナツ
トである。揺動レバー１６は更に２叉に分岐した
脚１６ｃ，１６ｄを有し、その脚の裏面を取付板
２９に植設したピボツト１５で支えられる。３０
はＬ形のスプリングホルダで、２叉の脚３０ａ，
３０ｂの裏面を揺動レバーの脚１６ｃ，１６ｄの
表面に当接させてある。そして両サイドに折り曲
げた耳部３０ｃ，３０ｄに穿つた穴３０ｅ，３０
ｆには、揺動レバー１６の付勢装置１８を形成す
る引張ばね３１，３１を係止し、常時牽引付勢さ
れる。３２は上記引張ばね３１，３１の他端側を
係止させた丸棒状のレンジ圧力調整バー、３３は
このバー３２に螺合させた調整ねじ、３４はこの
ねじ３３を挿通させたレンジ圧力調整バー用ホル
ダ、３５はナツトである。揺動レバー１６の牽引
力の大きさはこの付勢装置１８で調整される。一
方その作用点は、調整軸２５を回動させて、その
ねじ部２５ａに螺合させたスプリングホルダ３０
を上下動させることにより調整される。取付板２
９の裏面には、圧力応答装置１７がねじ３６で固
定されている。３７は移動バーでその尖頭は揺動
レバー１６を押圧する。３８は一端をホルダ３９
に、他端を移動バー３７の尾部に係止させたレン
ジスプリング、４０は一端をベローズホルダ４１
に、他端を移動バー３７の尾部に係止させたベロ
ーズ、４２は圧力導入口、４３，４４はＯリング
である。この圧力導入口４２にはパイプライン２
の取出管２ａを接続する。
の尖頭が当接する面２４ａは真球面となるように
形成してある。例えば、市販のボールベアリング
の鋼球を用いて製作してもよい。２５はこのカム
２４を挿通してねじ部２５ａの端部に保持する調
整軸で、揺動レバー１６のコ字状折り曲げ部１６
ａ，１６ｂにより支持されている。２６はカムス
ペーサ、２７はカム押えスプリング、２８はナツ
トである。揺動レバー１６は更に２叉に分岐した
脚１６ｃ，１６ｄを有し、その脚の裏面を取付板
２９に植設したピボツト１５で支えられる。３０
はＬ形のスプリングホルダで、２叉の脚３０ａ，
３０ｂの裏面を揺動レバーの脚１６ｃ，１６ｄの
表面に当接させてある。そして両サイドに折り曲
げた耳部３０ｃ，３０ｄに穿つた穴３０ｅ，３０
ｆには、揺動レバー１６の付勢装置１８を形成す
る引張ばね３１，３１を係止し、常時牽引付勢さ
れる。３２は上記引張ばね３１，３１の他端側を
係止させた丸棒状のレンジ圧力調整バー、３３は
このバー３２に螺合させた調整ねじ、３４はこの
ねじ３３を挿通させたレンジ圧力調整バー用ホル
ダ、３５はナツトである。揺動レバー１６の牽引
力の大きさはこの付勢装置１８で調整される。一
方その作用点は、調整軸２５を回動させて、その
ねじ部２５ａに螺合させたスプリングホルダ３０
を上下動させることにより調整される。取付板２
９の裏面には、圧力応答装置１７がねじ３６で固
定されている。３７は移動バーでその尖頭は揺動
レバー１６を押圧する。３８は一端をホルダ３９
に、他端を移動バー３７の尾部に係止させたレン
ジスプリング、４０は一端をベローズホルダ４１
に、他端を移動バー３７の尾部に係止させたベロ
ーズ、４２は圧力導入口、４３，４４はＯリング
である。この圧力導入口４２にはパイプライン２
の取出管２ａを接続する。
次に作用を説明する。
流体の圧力Ｐは圧力導入口４２を経てベローズ
４０を加圧する。その圧力Ｐが例えば増大すると
ベローズ４０はレンジスプリング３８の弾性力に
抗して、移動バー３７を前進させる。このときの
移動バー３７のストロークＳは圧力の増加分ΔP
に比例する。移動バー３７の動きは揺動レバー１
６を介し調整軸２５に伝達され、これを傾斜させ
る。よつてカム２４も連動して傾斜させることと
なる。この関係は第６図に示される。今、図中の
各点Ｏ，O1、及びＡ〜Ｇを次のとおり定めるも
のとする。
４０を加圧する。その圧力Ｐが例えば増大すると
ベローズ４０はレンジスプリング３８の弾性力に
抗して、移動バー３７を前進させる。このときの
移動バー３７のストロークＳは圧力の増加分ΔP
に比例する。移動バー３７の動きは揺動レバー１
６を介し調整軸２５に伝達され、これを傾斜させ
る。よつてカム２４も連動して傾斜させることと
なる。この関係は第６図に示される。今、図中の
各点Ｏ，O1、及びＡ〜Ｇを次のとおり定めるも
のとする。
Ｏ：ピボツト１５の先端の揺動中心で、その座標
は（Ｏ，Ｏ） O1，O2：カム２４の真球面中心、但しO1は垂直
時、O2は傾斜時 Ａ：垂直時の揺動レバー１６上への点O1の投影 Ｂ，Ｃ：揺動レバー１６と移動バー３７との当接
点 Ｄ，Ｅ：カム２４の軸の上支点 Ｆ，Ｇ：カム２４と出力回転軸１０との当接点 OA＝ａ，OB＝ｂ，HI＝ｃ，OD＝ｄ，OO1＝
OO2＝ｌ及びBOO1＝θは既知であり、BC＝Ｓ
は流体圧Ｐの変化に基づくベローズ４０（ひいて
は移動レバー３７）のストローク長で、圧力Ｐに
比例するため容易に求め得る。このストロークＳ
により揺動レバー１６はBOC＝αだけ傾斜し、
カム２４の中心はO1からO2に移動する。これに
より点ＦはＦ→Ｇ＝Srだけ変位することとなる。
この変位量Srはデイスク７のラジアル方向に対
するホイール９の移動量Srとなる（第７図）。第
７図でR0：デイスク７とホイール９との最小接
触半径（圧力レンジの下限）、Rd：デイスク７と
ホイール９との接触半径、、Rr：ホイール半径と
すれば、デイスク７とホイール９間の減速比λ1
は、 λ＝Rd／Rr＝Sr＋R0／Rr …(2) となる。従つて入力回転軸８の回転数ｎはλ1・ｎ
となつて出力回転軸９に出力され、更に変換歯車
比λ2のギヤ機構１２を介して、λ1・λ2・ｎとなり
指示１３に出力される。よつて先に述べた式(1)は Ｉ＝ｋ・λ1・λ2・ｎ …(1)′ となり、指示量ＩKgはホイール９の移動量Srと
ベローズストロークＳとの関係を知ることで容易
に求められる。
は（Ｏ，Ｏ） O1，O2：カム２４の真球面中心、但しO1は垂直
時、O2は傾斜時 Ａ：垂直時の揺動レバー１６上への点O1の投影 Ｂ，Ｃ：揺動レバー１６と移動バー３７との当接
点 Ｄ，Ｅ：カム２４の軸の上支点 Ｆ，Ｇ：カム２４と出力回転軸１０との当接点 OA＝ａ，OB＝ｂ，HI＝ｃ，OD＝ｄ，OO1＝
OO2＝ｌ及びBOO1＝θは既知であり、BC＝Ｓ
は流体圧Ｐの変化に基づくベローズ４０（ひいて
は移動レバー３７）のストローク長で、圧力Ｐに
比例するため容易に求め得る。このストロークＳ
により揺動レバー１６はBOC＝αだけ傾斜し、
カム２４の中心はO1からO2に移動する。これに
より点ＦはＦ→Ｇ＝Srだけ変位することとなる。
この変位量Srはデイスク７のラジアル方向に対
するホイール９の移動量Srとなる（第７図）。第
７図でR0：デイスク７とホイール９との最小接
触半径（圧力レンジの下限）、Rd：デイスク７と
ホイール９との接触半径、、Rr：ホイール半径と
すれば、デイスク７とホイール９間の減速比λ1
は、 λ＝Rd／Rr＝Sr＋R0／Rr …(2) となる。従つて入力回転軸８の回転数ｎはλ1・ｎ
となつて出力回転軸９に出力され、更に変換歯車
比λ2のギヤ機構１２を介して、λ1・λ2・ｎとなり
指示１３に出力される。よつて先に述べた式(1)は Ｉ＝ｋ・λ1・λ2・ｎ …(1)′ となり、指示量ＩKgはホイール９の移動量Srと
ベローズストロークＳとの関係を知ることで容易
に求められる。
このＳとSrとの関係は本考案の真球状カム２
４にあつては次のとおり第６図から簡単に求めら
れる。
４にあつては次のとおり第６図から簡単に求めら
れる。
点O1の座標（−ｄ，−ａ），点Ｆの座標（−XF，
−Ｃ） XF＝ｄ＋√2−（−）2 …(3) 点O2の座標（−X2，−Y2），ｌ＝√2＋2，θ
＝tan1d／ａ，α＝tan-1S／ｂ ∴X2＝lsin（θ＋
α）， Y2＝lcos（θ＋α） …(4) 点Ｇの座標（−XG，−Ｃ） XG＝X2＋√2−（2−）2 …(5) 故にホイール移動量GF＝Srは 本考案にあつては、(6)式中のｒの値はカム２４
が真球のためその半径であり一定である。またＳ
の値は流体圧に比例する。よつて(1)′，(2)，(6)の
関係を用いて、計数指示量Ｉの圧力補正値を極め
て簡単に求められるのである。
−Ｃ） XF＝ｄ＋√2−（−）2 …(3) 点O2の座標（−X2，−Y2），ｌ＝√2＋2，θ
＝tan1d／ａ，α＝tan-1S／ｂ ∴X2＝lsin（θ＋
α）， Y2＝lcos（θ＋α） …(4) 点Ｇの座標（−XG，−Ｃ） XG＝X2＋√2−（2−）2 …(5) 故にホイール移動量GF＝Srは 本考案にあつては、(6)式中のｒの値はカム２４
が真球のためその半径であり一定である。またＳ
の値は流体圧に比例する。よつて(1)′，(2)，(6)の
関係を用いて、計数指示量Ｉの圧力補正値を極め
て簡単に求められるのである。
以上説明したように、この考案によれば、カム
の形状を真球状とするものとしたため、市販のボ
ールベアリング用鋼球が利用できるので加工工数
が極めて少なく、かつキヤリブレーシヨンも簡単
となり、検査能率が向上するので本装置を廉価に
市場に供給できるという効果が得られる。
の形状を真球状とするものとしたため、市販のボ
ールベアリング用鋼球が利用できるので加工工数
が極めて少なく、かつキヤリブレーシヨンも簡単
となり、検査能率が向上するので本装置を廉価に
市場に供給できるという効果が得られる。
第１図は従来の圧力補正装置の要部構成図、第
２図は、第１図に示すものの圧力−減速比特性、
及び圧力−比容積特性線図、第３図はこの考案に
係る一実施例の計数部の側断面図、第４図は同じ
くホイール位置決め手段の正面図、第５図は第４
図の−断面図、第６図は同じくカム動作説明
図、第７図は同じくホイール動作説明図である。 Ａ……圧力補正装置、７……デイスク、８……
入力回転軸、９……ホイール、１０……出力回転
軸、１１……ホイール位置決め手段、１４，２４
……カム、１５……ピボツト、１６……揺動レバ
ー、１７……圧力応答装置、１８……付勢装置。
２図は、第１図に示すものの圧力−減速比特性、
及び圧力−比容積特性線図、第３図はこの考案に
係る一実施例の計数部の側断面図、第４図は同じ
くホイール位置決め手段の正面図、第５図は第４
図の−断面図、第６図は同じくカム動作説明
図、第７図は同じくホイール動作説明図である。 Ａ……圧力補正装置、７……デイスク、８……
入力回転軸、９……ホイール、１０……出力回転
軸、１１……ホイール位置決め手段、１４，２４
……カム、１５……ピボツト、１６……揺動レバ
ー、１７……圧力応答装置、１８……付勢装置。
Claims (1)
- 流体の流速にほぼ比例して回転する回転軸に固
着したデイスクと、該デイスクに直角に接し、摩
擦回転するホイールと、該ホイールを固着した出
力回転軸と、前記流体の圧力を位置変化に変換す
るベローズと、該ベローズの一端に固着され、他
端にピボツトを固定した取付板と、前記ピボツト
に一端を接し、他端をねじ部を有する調整軸に固
定支持された揺動レバーと、該揺動レバーの固定
端近傍に先端を接し、他端を前記ベローズと連動
するように固定された移動レバーと、前記揺動レ
バーを前記ベローズの押圧力に抗して常時牽引す
る引張ばねと、前記調整軸のねじ部に回動可能に
取り付けられたカムと、該カムの調整軸上での位
置を固定する固定手段とからなり、前記カムに前
記出力回転軸の先端が当接するようにしたガス流
量計用圧力補正装置において、前記カムが真球で
あり、該真球の面上で前記出力回転軸の先端が当
接する位置を前記移動レバーと揺動レバーの関係
から決まる真球カムの移動範囲を補正範囲として
使用するようにしたことを特徴とするガス流量計
用圧力補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15866883U JPS6068432U (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | ガス流量計用圧力補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15866883U JPS6068432U (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | ガス流量計用圧力補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068432U JPS6068432U (ja) | 1985-05-15 |
| JPH0213928Y2 true JPH0213928Y2 (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=30349481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15866883U Granted JPS6068432U (ja) | 1983-10-15 | 1983-10-15 | ガス流量計用圧力補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068432U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8878175B2 (en) | 2008-12-25 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3710624A (en) * | 1971-12-09 | 1973-01-16 | Singer Co | Meter volume compensating mechanism |
| US3982436A (en) * | 1974-06-28 | 1976-09-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Fluid-volume measuring apparatus |
-
1983
- 1983-10-15 JP JP15866883U patent/JPS6068432U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8878175B2 (en) | 2008-12-25 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6068432U (ja) | 1985-05-15 |
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