JPH0213935B2 - - Google Patents

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JPH0213935B2
JPH0213935B2 JP58133302A JP13330283A JPH0213935B2 JP H0213935 B2 JPH0213935 B2 JP H0213935B2 JP 58133302 A JP58133302 A JP 58133302A JP 13330283 A JP13330283 A JP 13330283A JP H0213935 B2 JPH0213935 B2 JP H0213935B2
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JP
Japan
Prior art keywords
lead
bonding
hole
tape
semiconductor pellet
Prior art date
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Expired
Application number
JP58133302A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6025263A (en
Inventor
Kazufumi Terachi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
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Publication of JPS6025263A publication Critical patent/JPS6025263A/en
Publication of JPH0213935B2 publication Critical patent/JPH0213935B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/40—Leadframes
    • H10W70/453—Leadframes comprising flexible metallic tapes

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  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリードフレームに関し、特にテープ・
キヤリア方式によつて製造される集積回路に用い
るリードフレームに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to lead frames, and particularly to tape and lead frames.
The present invention relates to a lead frame used for integrated circuits manufactured by a carrier method.

テープ・キヤリヤ方式は、ポリイミド樹脂等で
できた長尺状のフレキシブルな絶縁性フイルム上
に密着して設けられたリードパターンに半導体ペ
レツトの電極を直接、熱圧着でインナーリード・
ボンデイングする組立方式である。
In the tape carrier method, an electrode of a semiconductor pellet is directly attached to a lead pattern closely attached to a long flexible insulating film made of polyimide resin, etc., and the inner lead is bonded by thermocompression.
This is an assembly method that involves bonding.

第1図は従来のリードフレームの一例の平面図
である。
FIG. 1 is a plan view of an example of a conventional lead frame.

ポリイミド・フイルムで作られたテープ1にテ
ープを順次送る為のスプロケツト・ホール2と半
導体ペレツト3を収納するデバイス・ホール4と
アウターリード・ボンデイングを行なうボンデイ
ング・ホール6とをあけ、このテープに密着して
リード5を形成する。デバイス・ホール4とボン
デイング・ホール6との間は支持枠が枠吊り7に
て吊られて設けられており、リード5の先端は半
導体ペレツト3の電極にボンデイングされてお
り、一方、その外方はセラミツク・ケース等にボ
ンデイングする為のボンデイング・ホール6につ
ながり、その外方端は半導体ペレツト3の電気的
な特性を測定する時に探針を接触する為のパツド
8につながつている。そのパツド8を利用して電
気テストし、その結果良品と判定された半導体ペ
レツト3は、ボンデイング・ホール6の破線に沿
つて切断され、セラミツク・ケースに搭載されケ
ースのピンに熱圧着により接着される。
A sprocket hole 2 for sequentially feeding the tape, a device hole 4 for storing the semiconductor pellet 3, and a bonding hole 6 for performing outer lead bonding are formed in a tape 1 made of polyimide film, and the tape is tightly attached to the tape. Then, the leads 5 are formed. A support frame is suspended between the device hole 4 and the bonding hole 6 by a frame hanger 7, and the tips of the leads 5 are bonded to the electrodes of the semiconductor pellet 3. is connected to a bonding hole 6 for bonding to a ceramic case or the like, and its outer end is connected to a pad 8 for contacting a probe when measuring the electrical characteristics of the semiconductor pellet 3. The semiconductor pellet 3 that was judged to be good after conducting an electrical test using the pad 8 was cut along the broken line of the bonding hole 6, mounted in a ceramic case, and bonded to the pin of the case by thermocompression. Ru.

近年のように半導体ペレツトの回路パターンが
高密度化し、電極数が100を超えるようになつて
くると、半導体ペレツト寸法が大きくなり、テー
プ上のデバイス・ホールも大きくなつてくる。そ
れに付随してボンデイング・ホールもパターン中
心より外側に設けなければならなくなつてくる。
しかし、テープ幅等に制限されボンデイング・ホ
ールも制限され電極数も制限されてくる。この問
題点を蚊決する方法として、ボンデイング・ホー
ル内のリードピツチ、リード幅等を狭めることが
考えられるが、搭載するセラミツク・ケースのリ
ード幅、リードピツチは現状ではこれ以上狭めら
れない等の問題がある。また、インナーリード・
ボンデイング部とアウターリード・ボンデイング
部間のリード長が、電極数が増えるほど半導体ペ
レツトの一辺の中心と端では大きな違いが生じて
くる。このため、熱圧着の歪が不均一にリードに
かかり変形、シヨート等の不良を発生しやすくな
るという欠点を生ずる。
In recent years, as semiconductor pellet circuit patterns have become denser and the number of electrodes has exceeded 100, the size of the semiconductor pellet has increased and the device holes on the tape have also become larger. Along with this, bonding holes must also be provided outside the center of the pattern.
However, the number of bonding holes is limited by the tape width, and the number of electrodes is also limited. One possible way to solve this problem is to narrow the lead pitch and lead width in the bonding hole, but there are problems such as the lead width and lead pitch of the ceramic case to be mounted cannot be narrowed any further at present. . In addition, the inner lead
As the number of electrodes increases, the lead length between the bonding part and the outer lead/bonding part becomes larger between the center and the edge of one side of the semiconductor pellet. For this reason, there is a drawback that the strain of thermocompression bonding is unevenly applied to the leads, making it easy to cause defects such as deformation and shorting.

本発明は、上記欠点を除去し、リードピツチは
従来と同一に取れて、しかも電極数を増すことが
でき、熱圧着の歪が不均一にリードにかかつて変
形やシヨート等の不良の発生を抑制することので
きるリードフレームを提供するものである。
The present invention eliminates the above-mentioned drawbacks, allows the lead pitch to be the same as before, and increases the number of electrodes, thereby suppressing the occurrence of defects such as deformation and shorts due to uneven distortion of the leads during thermocompression bonding. This provides a lead frame that can be used to

本発明は、長尺状のフレキシブルな絶縁性フイ
ルム上に密着したリードパターンが形成されてい
るリードフレームにおいて、前記絶縁性フイルム
のボンデイング・ホールが円弧帯状であることを
特徴とする。
The present invention is characterized in that in a lead frame in which a lead pattern is formed in close contact with a long flexible insulating film, a bonding hole in the insulating film has an arc band shape.

また、前記リードフレームパターンのアウター
リード・ボンデイング部が外に向つて放射状に形
成される。
Further, outer lead bonding portions of the lead frame pattern are formed radially outward.

次に、本発明の実施例について図面を用いて説
明する。
Next, embodiments of the present invention will be described using the drawings.

第2図は本発明の一実施例の平面図である。 FIG. 2 is a plan view of one embodiment of the present invention.

ポリイミド・フイルム等の絶縁性フイルムで作
られたテープ11に、テープを順次送る為のスプ
ロケツト・ホール12と半導体ペレツト13を収
納するデバイス・ホール14と半導体ペレツト1
3を中心とする円弧帯状のボンデイング・ホール
16とをあけ、このテープに密着させてリード1
5を形成する。このリードパターンは、半導体ペ
レツト13を中心に放射状に形成され、ほぼ均一
なリード長をなしている。デバイス・ホール14
とボンデイング・ホール16との間は支持枠が枠
吊り17にて吊られた状態で設けられており、リ
ード15の先端は半導体ペレツト13の電極にボ
ンデイングされており、一方、その外方はセラミ
ツク・ケース等にボンデイングする為のボンデイ
ング・ホール16につながり、その外方端は半導
体ペレツト13の電気的な特性を測定する時に探
針を接触する為のパツド18につながつている。
そのパツド18を利用して電気テストし、その結
果良品と判定された半導体ペレツト13はボンデ
イング・ホール16の破線に沿つて切断され、セ
ラミツク・ケース等に搭載されケースのピンに熱
圧着により接着して、半導体装置が得られる。
A tape 11 made of an insulating film such as polyimide film has a sprocket hole 12 for sequentially feeding the tape, a device hole 14 for storing semiconductor pellets 13, and a semiconductor pellet 1.
Open a bonding hole 16 in the shape of an arc band centered at lead 1, and attach it tightly to this tape.
form 5. This lead pattern is formed radially around the semiconductor pellet 13 and has a substantially uniform lead length. Device hole 14
A support frame is provided between the lead 15 and the bonding hole 16 by a frame hanger 17, and the tip of the lead 15 is bonded to the electrode of the semiconductor pellet 13. - It is connected to a bonding hole 16 for bonding to a case etc., and its outer end is connected to a pad 18 for contacting a probe when measuring the electrical characteristics of the semiconductor pellet 13.
The pad 18 was used for an electrical test, and the semiconductor pellet 13, which was determined to be a good product, was cut along the broken line of the bonding hole 16, mounted on a ceramic case, etc., and bonded to the pin of the case by thermocompression. Thus, a semiconductor device is obtained.

以上の様な構造にすることにより、従来技術で
は、テープ幅等の制限により使用できる電極数も
制限されていたが、ボンデイング・ホールが、円
弧帯を有し、リードパターンが外に向いて放射状
に形成されていることにより、ケースと接着する
リードピツチは従来と同一に取れた上、電極数を
増やすことができる。また、不均一だつたリード
長もほぼ均一になつた為異常変形がなくなりシヨ
ート不良もなくなつた。
With the above structure, the number of electrodes that can be used in the prior art was limited due to restrictions such as tape width, but the bonding hole has an arcuate band and the lead pattern faces outward in a radial pattern. This allows the lead pitch to be bonded to the case to be the same as before, and the number of electrodes can be increased. In addition, the lead length, which had been uneven, has become almost uniform, so there is no abnormal deformation and no shot defects.

以上詳細に説明したように、本発明によれば、
リードピツチは従来と同一に取れて、しかも電極
数を増すことができ、リードの変形やシヨート等
の不良の発生を抑制することのできるリードフレ
ームが得られるのでその効果は大きい。
As explained in detail above, according to the present invention,
The lead pitch can be kept the same as before, and the number of electrodes can be increased, and a lead frame can be obtained that can suppress lead deformation and defects such as shoots, so this is highly effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来のリードフレームの一例の平面
図、第2図は本発明の一実施例の平面図である。 1,11……テープ、2,12……スプロケツ
ト・ホール、3,13……半導体ペレツト、4,
14……デバイス・ホール、5,15……リー
ド、6,16……ボンデイング・ホール、7,1
7……枠吊り、8,18……パツド。
FIG. 1 is a plan view of an example of a conventional lead frame, and FIG. 2 is a plan view of an embodiment of the present invention. 1,11...Tape, 2,12...Sprocket hole, 3,13...Semiconductor pellet, 4,
14...Device hole, 5,15...Lead, 6,16...Bonding hole, 7,1
7... Frame hanging, 8,18... Padded.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 長尺状のフレキシブルな絶縁性フイルム上に
密着したリードパターンが形成されているリード
フレームにおいて、前記絶縁性フイルムのボンデ
イング・ホールが円弧帯状であることを特徴とす
るリードフレーム。 2 リードフレームパターンのアウターリード・
ボンデイング部が外に向つて放射状に形成されて
いる特許請求の範囲第1項記載のリードフレー
ム。
[Scope of Claims] 1. A lead frame in which a lead pattern is formed in close contact with a long flexible insulating film, characterized in that a bonding hole in the insulating film has an arc band shape. flame. 2 Outer lead of lead frame pattern
The lead frame according to claim 1, wherein the bonding portion is formed radially outward.
JP58133302A 1983-07-21 1983-07-21 Lead frame Granted JPS6025263A (en)

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JP58133302A JPS6025263A (en) 1983-07-21 1983-07-21 Lead frame

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JP58133302A JPS6025263A (en) 1983-07-21 1983-07-21 Lead frame

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JPS6025263A JPS6025263A (en) 1985-02-08
JPH0213935B2 true JPH0213935B2 (en) 1990-04-05

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US4899207A (en) * 1986-08-27 1990-02-06 Digital Equipment Corporation Outer lead tape automated bonding
JP2559902B2 (en) * 1990-11-14 1996-12-04 大江化学工業株式会社 Method for producing heat-sealable breathable packaging material

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JPS6025263A (en) 1985-02-08

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