JPH0214045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0214045U JPH0214045U JP9340888U JP9340888U JPH0214045U JP H0214045 U JPH0214045 U JP H0214045U JP 9340888 U JP9340888 U JP 9340888U JP 9340888 U JP9340888 U JP 9340888U JP H0214045 U JPH0214045 U JP H0214045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat sink
- thermopile
- junction
- metal substrate
- hot junction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
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Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、第２
図はその断面図である。 １―ａ……温接点、１―ｂ……冷接点、２……
中央支持部、３……ヒートシンク、４……外周支
持部、５……第一物質、６……第二物質、７……
中央橋架部、８……外周橋架部、９……電磁放射
エネルギー吸収膜、１０―ａ……外部リード引き
出し用パツド、１０―ｂ……外部リード引き出し
用パツド、１１……金属基板、１２―ａ……エツ
チング部、１２―ｂ……エツチング部、１３……
ヒートシンク巾の中心線と第一物質の交点、１４
……ヒートシング巾の中心線と第二物質の交点、
１５……フオトレジスト皮膜。
図はその断面図である。 １―ａ……温接点、１―ｂ……冷接点、２……
中央支持部、３……ヒートシンク、４……外周支
持部、５……第一物質、６……第二物質、７……
中央橋架部、８……外周橋架部、９……電磁放射
エネルギー吸収膜、１０―ａ……外部リード引き
出し用パツド、１０―ｂ……外部リード引き出し
用パツド、１１……金属基板、１２―ａ……エツ
チング部、１２―ｂ……エツチング部、１３……
ヒートシンク巾の中心線と第一物質の交点、１４
……ヒートシング巾の中心線と第二物質の交点、
１５……フオトレジスト皮膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 金属基板上に蒸着、又はスパツタにて形成
されたサーモパイルであり、その冷接点及び温接
点の各表面に電磁放射エネルギー吸収膜があり、
冷接点と温接点の中間位置にヒートシンクを形成
した構成であることを特徴とするサーモパイル検
出器。 (2) 前記サーモパイルを構成するエレメントの
冷接点と温接点とは、ヒートシンク中心から見て
受光特性及び放熱特性が対称となる形状並びに材
料でヒートシンクに熱的結合されたことを特徴と
する、実用新案登録請求の範囲第一項記載のサー
モパイル検出器。 (3) 金属基板は、冷接点を橋架を介して支持す
る外周部、ヒートシンク部、及び温接点を橋架を
介して支持する中央部以外の表面を等方性エツチ
ングされていることを特徴とする、実用新案登録
請求の範囲第一項記載のサーモパイル検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340888U JPH0539467Y2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9340888U JPH0539467Y2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214045U true JPH0214045U (ja) | 1990-01-29 |
| JPH0539467Y2 JPH0539467Y2 (ja) | 1993-10-06 |
Family
ID=31317864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9340888U Expired - Lifetime JPH0539467Y2 (ja) | 1988-07-13 | 1988-07-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539467Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-07-13 JP JP9340888U patent/JPH0539467Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0539467Y2 (ja) | 1993-10-06 |
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