JPH02143577A - レーザ発振器の監視装置 - Google Patents
レーザ発振器の監視装置Info
- Publication number
- JPH02143577A JPH02143577A JP29752488A JP29752488A JPH02143577A JP H02143577 A JPH02143577 A JP H02143577A JP 29752488 A JP29752488 A JP 29752488A JP 29752488 A JP29752488 A JP 29752488A JP H02143577 A JPH02143577 A JP H02143577A
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- JP
- Japan
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- signal
- laser
- divider
- inputted
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、レーザ発振器の動作状態を監視する監視装
置に関するものである。
置に関するものである。
［従来の技術］
第２図は、従来の例えばＣｏ２レーザ発振装置を監視す
る監視装置を示す構成図であり、図において、１は箱体
、２は放電電極、３は放電空間、４は全反射鏡、５は部
分反射鏡、６はレーザ光。
る監視装置を示す構成図であり、図において、１は箱体
、２は放電電極、３は放電空間、４は全反射鏡、５は部
分反射鏡、６はレーザ光。
７はビームスプリッタ、８はモニタ光、９はパワーモニ
タ、９１はパワーモニタセンサ部、９２はパワーモニタ
アンプ表示部、１０は電源、１１は放電電流指示計、１
２はレーザビームである。
タ、９１はパワーモニタセンサ部、９２はパワーモニタ
アンプ表示部、１０は電源、１１は放電電流指示計、１
２はレーザビームである。
次に、構成とともに動作について説明する。箱体１の内
部には、ＣＯ□、Ｎ２ 、Ｈｅ等のレーザ媒質ガスが約
１００Ｔｏｒｒの圧力で封じ込められており、両放電電
極２，２間に放電空間３が形成される。電源１０から放
電電極２に電気エネルギーが送られると、放電空間３で
はグロー状の放電が生じ、この放電により放電空間３内
のレーザ媒質ガスが励起されてレーザ発振する。箱体１
の放電空間３の長手方向には全反射鏡４と部分反射鏡５
とで構成される光共振器が設けられており、放電空間３
内で誘導放出されたレーザ光は、この光共振器により増
幅され、部分反射鏡５からレーザ光６として発射される
。このレーザ光６は、ビ−ムスプリッタ７によって、レ
ーザ加工等に使用されるレーザビーム１２と、モニタ光
８とに分割される。パワーモニタ９はモニタ光８によっ
てレーザ光６のエネルギー量を測定する。パワーモニタ
９はパワーモニタセンサ部９１とパワーモニタアンプ表
示部９１とで構成される。また、放電電流指示計１１は
レーザ発振器に投入される電気エネルギーの量を検出し
表示する。このレーザ装置の運転にあたっては、パワー
モニタアンプ表示部９１に表示されるレーザ出力の状態
を見て、レーザ発振装置の動作状態を判断し監視して行
う。
部には、ＣＯ□、Ｎ２ 、Ｈｅ等のレーザ媒質ガスが約
１００Ｔｏｒｒの圧力で封じ込められており、両放電電
極２，２間に放電空間３が形成される。電源１０から放
電電極２に電気エネルギーが送られると、放電空間３で
はグロー状の放電が生じ、この放電により放電空間３内
のレーザ媒質ガスが励起されてレーザ発振する。箱体１
の放電空間３の長手方向には全反射鏡４と部分反射鏡５
とで構成される光共振器が設けられており、放電空間３
内で誘導放出されたレーザ光は、この光共振器により増
幅され、部分反射鏡５からレーザ光６として発射される
。このレーザ光６は、ビ−ムスプリッタ７によって、レ
ーザ加工等に使用されるレーザビーム１２と、モニタ光
８とに分割される。パワーモニタ９はモニタ光８によっ
てレーザ光６のエネルギー量を測定する。パワーモニタ
９はパワーモニタセンサ部９１とパワーモニタアンプ表
示部９１とで構成される。また、放電電流指示計１１は
レーザ発振器に投入される電気エネルギーの量を検出し
表示する。このレーザ装置の運転にあたっては、パワー
モニタアンプ表示部９１に表示されるレーザ出力の状態
を見て、レーザ発振装置の動作状態を判断し監視して行
う。
また、従来例として、特開昭６１−２５１０８８号公報
には、レーザ発振器から発射される光を半導体受光素子
または光ファイバによって検出し、これを電気信号に変
換し、これを基準値と比較する手段に入力して、異常放
電等の有無を判定し、放電回路等を制御するという技術
思想が開示されている。
には、レーザ発振器から発射される光を半導体受光素子
または光ファイバによって検出し、これを電気信号に変
換し、これを基準値と比較する手段に入力して、異常放
電等の有無を判定し、放電回路等を制御するという技術
思想が開示されている。
［発明が解決しようとする課題］
従来のレーザ発振器の監視装置は以上のような構成であ
り、レーザ発振器から発射されるレーザビームまたはレ
ーザ光の状態を検出して、これを基準値と比較するもの
であるので、異常が検出された場合は、この検出手段以
前の全システムのうちどこかに不具合箇所が発生しただ
ろうということは判るが、例えば、給電系統の異常に起
因するものかもしれず、共振器の角度ずれ、レーザガス
圧の変化、共振器の汚れ等によってパワーが低下して異
常となったのか否かは判定できない。すなわち、レーザ
発振器自体の動作状態を監視する手段としては的確でな
いという課題があった。
り、レーザ発振器から発射されるレーザビームまたはレ
ーザ光の状態を検出して、これを基準値と比較するもの
であるので、異常が検出された場合は、この検出手段以
前の全システムのうちどこかに不具合箇所が発生しただ
ろうということは判るが、例えば、給電系統の異常に起
因するものかもしれず、共振器の角度ずれ、レーザガス
圧の変化、共振器の汚れ等によってパワーが低下して異
常となったのか否かは判定できない。すなわち、レーザ
発振器自体の動作状態を監視する手段としては的確でな
いという課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、レーザ発振器の動作状態を自動的に検出し的確
に監視できるレーザ発振器の監視装置を得ることを目的
とする。
もので、レーザ発振器の動作状態を自動的に検出し的確
に監視できるレーザ発振器の監視装置を得ることを目的
とする。
「課題を解決するための手段］
この発明に係るレーザ発振器の監視装置は、レーザ発振
器から発射される光エネルギーの量を検出して電気信号
として出力する光エネルギー検出手段と、レーザ発振器
に投入される電気エネルギーの量を検出して電気信号と
して出力する電気エネルギー検出手段と、前記光エネル
ギー検出手段及び電気エネルギー検出手段から出力され
る前記両電気信号を演算処理し出力する演算処理手段と
を備えたものである。
器から発射される光エネルギーの量を検出して電気信号
として出力する光エネルギー検出手段と、レーザ発振器
に投入される電気エネルギーの量を検出して電気信号と
して出力する電気エネルギー検出手段と、前記光エネル
ギー検出手段及び電気エネルギー検出手段から出力され
る前記両電気信号を演算処理し出力する演算処理手段と
を備えたものである。
［作用］
この発明における光エネルギー検出手段は、レーザ発振
器から発射される光エネルギーの量を検出し、その出力
電気信号を演算処理手段に送る。
器から発射される光エネルギーの量を検出し、その出力
電気信号を演算処理手段に送る。
また、電気エネルギー検出手段は、レーザ発振器に投入
される電気エネルギーの量を検出し、その出力電気信号
を演算処理手段に送る。演算処理手段は、前記再検出手
段から送られた両電気信号を演算処理することにより、
レーザ発振器から発射される光エネルギーの量とレーザ
発振器に投入される電気エネルギーの量との関係を算出
し１、これを処理し出力することにより、このレーザ発
振器の動作状態を判断し監視する。
される電気エネルギーの量を検出し、その出力電気信号
を演算処理手段に送る。演算処理手段は、前記再検出手
段から送られた両電気信号を演算処理することにより、
レーザ発振器から発射される光エネルギーの量とレーザ
発振器に投入される電気エネルギーの量との関係を算出
し１、これを処理し出力することにより、このレーザ発
振器の動作状態を判断し監視する。
［実施例］
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、２１は放電電流計、２２は放電電流信号、
２３はレーザ出力信号、２４は除算器、２５は除算結果
信号、２６は設定値、２７は比較器、２８は比較結果信
号、２９は表示装置である。なお、符号１乃至１０及び
１２は第２図に示す従来例について説明したところと同
様であるので省略する。
図において、２１は放電電流計、２２は放電電流信号、
２３はレーザ出力信号、２４は除算器、２５は除算結果
信号、２６は設定値、２７は比較器、２８は比較結果信
号、２９は表示装置である。なお、符号１乃至１０及び
１２は第２図に示す従来例について説明したところと同
様であるので省略する。
この実施例では、第１図に示すように、レーザ発振器の
部分反射鏡５を通して発射されるレーザ光６をビームス
プリッタフにかけてモニタ光８を取り出し、このモニタ
光８を受けて、レーザ発振器から発射される光エネルギ
ーの量、すなわち、レーザ出力を検出する光エネルギー
検出手段であるパワーモニタ９が設けられ、このパワー
モニタ９から、レーザ出力を示す電気信号であるレーザ
出力信号２３を、除算器２４に送るように接続されてい
る。また、電源１０からレーザ発振器に投入される電気
エネルギーの量を検出する電気エネルギー検出手段であ
る放電電流計２１が設けられ、この放電電流計２１から
、レーザ発振器に投入される電気エネルギーの量を示す
電気信号である放電電流信号２２を、除算器２４に送る
ように接続されている。除算器２４は放電電流信号２２
をレーザ出力信号２３で割り算するものであり、除算器
２４の出力である除算結果信号２５は比較器２７に送る
ように接続されている。比較器２７には除算結果信号２
５が入力されるとともに、設定値２６も入力される。比
較器２７の出力である比較結果信号２８は表示装置２つ
に入力するように接続されている。
部分反射鏡５を通して発射されるレーザ光６をビームス
プリッタフにかけてモニタ光８を取り出し、このモニタ
光８を受けて、レーザ発振器から発射される光エネルギ
ーの量、すなわち、レーザ出力を検出する光エネルギー
検出手段であるパワーモニタ９が設けられ、このパワー
モニタ９から、レーザ出力を示す電気信号であるレーザ
出力信号２３を、除算器２４に送るように接続されてい
る。また、電源１０からレーザ発振器に投入される電気
エネルギーの量を検出する電気エネルギー検出手段であ
る放電電流計２１が設けられ、この放電電流計２１から
、レーザ発振器に投入される電気エネルギーの量を示す
電気信号である放電電流信号２２を、除算器２４に送る
ように接続されている。除算器２４は放電電流信号２２
をレーザ出力信号２３で割り算するものであり、除算器
２４の出力である除算結果信号２５は比較器２７に送る
ように接続されている。比較器２７には除算結果信号２
５が入力されるとともに、設定値２６も入力される。比
較器２７の出力である比較結果信号２８は表示装置２つ
に入力するように接続されている。
以下、動作について説明する。なお、レーザ発振の原理
は従来と同様であるので省略する。
は従来と同様であるので省略する。
レーザ発振器に投入される電気エネルギーの量を検出す
る放電電流計２１から出力された放電電流信号２２と、
レーザ発振器から発射される光エネルギーの量を検出す
るパワーモニタ９から出力されたレーザ出力信号２３は
除算器２４に入る。
る放電電流計２１から出力された放電電流信号２２と、
レーザ発振器から発射される光エネルギーの量を検出す
るパワーモニタ９から出力されたレーザ出力信号２３は
除算器２４に入る。
除算器２４では、この再出力電気信号を入力して光エネ
ルギーの量（レーザ出力）を投入電気エネルギーの量で
割り算をして割合を算出する演算が行われる。すなわち
、発射光エネルギー量と投入電気エネルギー量との関係
が算出され、その演算結果値である除算結果信号２５が
出力され、その除算結果信号２５は比較器２７へ送られ
る。比較器２７では送られてきた除算結果信号２５と、
予め設定されている正常状態におけるレーザ出力の投入
電気エネルギーに対する割合の設定値２６との比較が行
われる。この結果は比較結果信号２８として表示装置２
９へ送られる。例えば、除算結果信号２５を設定値２６
と比較して、同等であるとか、ある程度小さいとかの比
較結果信号２８が出力されるが、この比較結果が期待値
と同等であればレーザ発振器の動作は正常であり、期待
値よりある程度小さい場合は何らかの異常があると推定
されるので、表示装置２つではこの比較結果信号２８に
よって、正常、異常等の表示等が出力され監視される。
ルギーの量（レーザ出力）を投入電気エネルギーの量で
割り算をして割合を算出する演算が行われる。すなわち
、発射光エネルギー量と投入電気エネルギー量との関係
が算出され、その演算結果値である除算結果信号２５が
出力され、その除算結果信号２５は比較器２７へ送られ
る。比較器２７では送られてきた除算結果信号２５と、
予め設定されている正常状態におけるレーザ出力の投入
電気エネルギーに対する割合の設定値２６との比較が行
われる。この結果は比較結果信号２８として表示装置２
９へ送られる。例えば、除算結果信号２５を設定値２６
と比較して、同等であるとか、ある程度小さいとかの比
較結果信号２８が出力されるが、この比較結果が期待値
と同等であればレーザ発振器の動作は正常であり、期待
値よりある程度小さい場合は何らかの異常があると推定
されるので、表示装置２つではこの比較結果信号２８に
よって、正常、異常等の表示等が出力され監視される。
以上のように、この実施例では、レーザ発振器から発射
されるレーザ光のエネルギー量をレーザ発振器に投入さ
れる電気エネルギー量と比較して判断するので、レーザ
発振器自体の作動状態を判定し的確な監視を行うことが
できる。
されるレーザ光のエネルギー量をレーザ発振器に投入さ
れる電気エネルギー量と比較して判断するので、レーザ
発振器自体の作動状態を判定し的確な監視を行うことが
できる。
なお、上記実施例ではレーザ発振器に投入されるエネル
ギー値として放電電流信号２２を用いたが、レーザ発振
器に投入されるエネルギー値が判る他の手段による電気
信号を用いてもよい。
ギー値として放電電流信号２２を用いたが、レーザ発振
器に投入されるエネルギー値が判る他の手段による電気
信号を用いてもよい。
また、上記実施例では比較結果信号２８を表示装置２９
に送り、表示をさせて判定し監視をするようにしたが、
比較結果信号２８によって、例えば、レーザ発振器を自
動制御する自動制御装置を動作させるような構成として
もよい。
に送り、表示をさせて判定し監視をするようにしたが、
比較結果信号２８によって、例えば、レーザ発振器を自
動制御する自動制御装置を動作させるような構成として
もよい。
なお、以上の説明ではＣｏ２レーザ発振器の場合につい
て説明したが、他のレーザ発振器においても、同様の構
成によって同様の作用効果が得られる。
て説明したが、他のレーザ発振器においても、同様の構
成によって同様の作用効果が得られる。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、レーザ発振器から発
射される光エネルギー量とレーザ発振器に投入される電
気エネルギー量とを検出して電気信号を出力させ、これ
を演算し処理し出力するようにしたので、レーザ発振器
自体の動作状態を的確に監視することができる効果があ
る。
射される光エネルギー量とレーザ発振器に投入される電
気エネルギー量とを検出して電気信号を出力させ、これ
を演算し処理し出力するようにしたので、レーザ発振器
自体の動作状態を的確に監視することができる効果があ
る。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器の監視
装置の構成図、第２図は従来例によるレーザ発振器の監
視装置のｉ成因である。 図において、６はレーザ光、７はビームスプリッタ、８
はモニタ光、９はパワーモニタ、９１はパワーモニタセ
ンサ部、９２はパワーモニタアンプ表示部、１０は電源
、１２はレーザビーム、２１は放電電流計、２４は除算
器、２６は設定値、２７は比較器、２９は表示装置であ
る。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
装置の構成図、第２図は従来例によるレーザ発振器の監
視装置のｉ成因である。 図において、６はレーザ光、７はビームスプリッタ、８
はモニタ光、９はパワーモニタ、９１はパワーモニタセ
ンサ部、９２はパワーモニタアンプ表示部、１０は電源
、１２はレーザビーム、２１は放電電流計、２４は除算
器、２６は設定値、２７は比較器、２９は表示装置であ
る。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 電気エネルギーを光エネルギーに変換するレーザ発振
器から発射される光エネルギーの量を検出して電気信号
として出力する光エネルギー検出手段と、前記レーザ発
振器に投入される電気エネルギーの量を検出して電気信
号として出力する電気エネルギー検出手段と、前記光エ
ネルギー検出手段及び電気エネルギー検出手段から出力
される前記両電気信号を演算処理し出力する演算処理手
段とを備えたことを特徴とするレーザ発振器の監視装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29752488A JPH02143577A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振器の監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29752488A JPH02143577A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振器の監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02143577A true JPH02143577A (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=17847641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29752488A Pending JPH02143577A (ja) | 1988-11-25 | 1988-11-25 | レーザ発振器の監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02143577A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02241071A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-25 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH02241070A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-25 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| CN108746999A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-11-06 | 广汽本田汽车有限公司 | 一种激光头聚焦透镜保护镜片表面洁净度的监测方法 |
-
1988
- 1988-11-25 JP JP29752488A patent/JPH02143577A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02241071A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-25 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| JPH02241070A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-25 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
| CN108746999A (zh) * | 2018-05-21 | 2018-11-06 | 广汽本田汽车有限公司 | 一种激光头聚焦透镜保护镜片表面洁净度的监测方法 |
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