JPH0214362U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0214362U JPH0214362U JP9086688U JP9086688U JPH0214362U JP H0214362 U JPH0214362 U JP H0214362U JP 9086688 U JP9086688 U JP 9086688U JP 9086688 U JP9086688 U JP 9086688U JP H0214362 U JPH0214362 U JP H0214362U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- support part
- outer tube
- inner tube
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の基板ホルダの一実施例を示す
断面構成図、第２図は従来の基板ホルダの一例を
示す断面構成図である。 １……基板ホルダ、２……加熱室、３……ヒー
タ、４……冷却室、５……導入管、６……排出管
、７……真空容器、８……Ｏリング、９……支持
部（内管）、１０……外管、１１……空間、１５
……冷却手段。
断面構成図、第２図は従来の基板ホルダの一例を
示す断面構成図である。 １……基板ホルダ、２……加熱室、３……ヒー
タ、４……冷却室、５……導入管、６……排出管
、７……真空容器、８……Ｏリング、９……支持
部（内管）、１０……外管、１１……空間、１５
……冷却手段。
Claims (1)
- 真空容器内で薄膜を形成する装置に用いられ、
支持部が前記真空容器の壁にＯリングにより気密
にシールされた基板ホルダにおいて、前記支持部
は内管と外管が空間部を有する２重構造とされ、
前記内管と外管は前記真空容器の外部のみで固定
したことを特徴とする基板ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9086688U JPH0214362U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9086688U JPH0214362U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214362U true JPH0214362U (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=31315375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9086688U Pending JPH0214362U (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214362U (ja) |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP9086688U patent/JPH0214362U/ja active Pending