JPH02145936A - 極低温冷凍機を用いた試料冷却装置 - Google Patents
極低温冷凍機を用いた試料冷却装置Info
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- JPH02145936A JPH02145936A JP63298322A JP29832288A JPH02145936A JP H02145936 A JPH02145936 A JP H02145936A JP 63298322 A JP63298322 A JP 63298322A JP 29832288 A JP29832288 A JP 29832288A JP H02145936 A JPH02145936 A JP H02145936A
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- 238000001073 sample cooling Methods 0.000 title 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000001307 helium Substances 0.000 abstract description 17
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 16
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- -1 bulk porous bodies Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 2
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002371 helium Chemical class 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
極低温冷凍機を用いて、研究及び開発用の試料の極低温
下の物性測定を行う場合、その試料を均一に冷却し、計
測する方法を必要としている。
下の物性測定を行う場合、その試料を均一に冷却し、計
測する方法を必要としている。
技術の背景
成型固体、塊状多孔体、薄膜、粉体及び流体などの形状
をしている試料を、極低温冷凍機を用いて均一な温度分
布に容易に冷却し、それらの物質を計測する方法が望ま
れていた。
をしている試料を、極低温冷凍機を用いて均一な温度分
布に容易に冷却し、それらの物質を計測する方法が望ま
れていた。
従来技術と問題点
前述の問題解決点を明確にするため、従来の試料の冷却
方法について図１、図２にしだがって説明する。冷却方
法には、熱伝導冷却とヘリウムガス熱交換冷却がある。
方法について図１、図２にしだがって説明する。冷却方
法には、熱伝導冷却とヘリウムガス熱交換冷却がある。
先づ、熱伝導冷却について説明する。（図１参照）
１、 極低温冷凍機（１）の先端に、試料を直接付けた
試料ホルダー（２）を付ける。物性測定するための計測
リード（３）を試料に付けて、極低温冷凍機（１）の外
部へ取出し、計測器へ連絡する。
試料ホルダー（２）を付ける。物性測定するための計測
リード（３）を試料に付けて、極低温冷凍機（１）の外
部へ取出し、計測器へ連絡する。
２、 極低温冷凍機（１）の内部を真空排気装置（４）
によって、真空排気する。その後、極低温冷凍機（１）
と圧縮機ユニット（５）で構成されている極低温冷凍装
置を起動させる。この時、試料は熱伝導によって冷却さ
れ、極低温下の物性測定を行う。
によって、真空排気する。その後、極低温冷凍機（１）
と圧縮機ユニット（５）で構成されている極低温冷凍装
置を起動させる。この時、試料は熱伝導によって冷却さ
れ、極低温下の物性測定を行う。
この熱伝導冷却方法は、試料の形状が成型固体のみに限
定される。しかも、その大きさも均一な温度分布にする
という観点から制限されてしまう。
定される。しかも、その大きさも均一な温度分布にする
という観点から制限されてしまう。
次に、ヘリウムガスによる熱交換冷却について説明する
。（図２参照） ３、極低温冷凍機（１）の先端に、試料を小型容器（６
）の中の試料ホルダー（２）に付ける。小型容器（６）
を真空密閉にする為に、通常そのフランジ面ニインジウ
ム線（７〕を用いてシールする。インジウム線は、フラ
ンジ面の円周長に合せて、その長さを切り、リング状に
してシール・リングとして使う。インジウム線のシール
・リングの接合部は互いに斜めに合せるようにする。こ
の小型真空密閉容器にする作業は、高度の熟練を要する
。試料に付けた計測リード（３）は、極低温冷凍機（１
）の外部へ取出し、計測器へ連絡する。
。（図２参照） ３、極低温冷凍機（１）の先端に、試料を小型容器（６
）の中の試料ホルダー（２）に付ける。小型容器（６）
を真空密閉にする為に、通常そのフランジ面ニインジウ
ム線（７〕を用いてシールする。インジウム線は、フラ
ンジ面の円周長に合せて、その長さを切り、リング状に
してシール・リングとして使う。インジウム線のシール
・リングの接合部は互いに斜めに合せるようにする。こ
の小型真空密閉容器にする作業は、高度の熟練を要する
。試料に付けた計測リード（３）は、極低温冷凍機（１
）の外部へ取出し、計測器へ連絡する。
４、 小型容器（６）へ極低温冷凍機（１）の外部より
金属性キャピラリー管（８）を用いてヘリウムガスを導
入し、小型容器（６）の中の空気と置換しておく。
金属性キャピラリー管（８）を用いてヘリウムガスを導
入し、小型容器（６）の中の空気と置換しておく。
５、 極低温冷凍機（１）の内部を真空排気装置（４）
によって、真空排気する。その後、極低温冷凍装置を起
動させる。この時、小型真空密閉容器は、熱伝導によっ
て冷却される。その中のヘリウムガスも冷却される。そ
の結果として、試料はヘリウムガスによる熱交換によっ
て冷却され、極低温下の物性測定を行うことができる。
によって、真空排気する。その後、極低温冷凍装置を起
動させる。この時、小型真空密閉容器は、熱伝導によっ
て冷却される。その中のヘリウムガスも冷却される。そ
の結果として、試料はヘリウムガスによる熱交換によっ
て冷却され、極低温下の物性測定を行うことができる。
このヘリウムガス熱交換冷却方法は、上述の熱伝導冷却
方法の不充分なところを補う方法であるが、小型真空密
閉容器をヘリウムガスの漏れをなくす技術が困難である
。また、試料を交換する際に、小型容器（６）のフラン
ジ面にインジウム線が展性のある金属なので、それが付
着しフランジ面から取除く作業が煩わしい。計測リード
（３）を小型容器の外部へ取出す加工技術が高度でなけ
れば、ヘリウムガスの漏れの原因になる事などの問題点
があった発明の目的 本発明の冷却方法は、極低温冷凍機（１）を用いて成型
固体、塊状多孔体、薄膜、粉体及び流体などの形状をし
ている試料をヘリウムガスとの熱交換によって、均一な
温度に冷却し、■。
方法の不充分なところを補う方法であるが、小型真空密
閉容器をヘリウムガスの漏れをなくす技術が困難である
。また、試料を交換する際に、小型容器（６）のフラン
ジ面にインジウム線が展性のある金属なので、それが付
着しフランジ面から取除く作業が煩わしい。計測リード
（３）を小型容器の外部へ取出す加工技術が高度でなけ
れば、ヘリウムガスの漏れの原因になる事などの問題点
があった発明の目的 本発明の冷却方法は、極低温冷凍機（１）を用いて成型
固体、塊状多孔体、薄膜、粉体及び流体などの形状をし
ている試料をヘリウムガスとの熱交換によって、均一な
温度に冷却し、■。
２゜
その物性測定を容易にする手段であり、極低温実験を効
率よく行うことにある。
率よく行うことにある。
発明の具体的な方法
以下本発明の特徴とする実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
図３は本発明の一実施例を図示したものである。
極低温冷凍機（１〕の先端に、計測リード（３）を導入
するためのフィードスルー（９〕を付けたチャンバー７
ランジαＱを、小型容器（６）フランジの間に、継目な
しのインジウムメツキされた金属シール・リングＯＤを
挟み、小型真空密閉容器にして取付ける。試料を付けた
試料ホルダー（２）は小型容器（６）の中に付ける。試
料に付けた計測リード（３）は極低温冷凍機（１）の外
部へ取出し、計測器へ連絡する。極低温冷凍機（１）の
外部から金属性キャピラリー管（８）を用いてヘリウム
ガスを小型容器（６）へ空気との置換を行った後に、封
入する。
するためのフィードスルー（９〕を付けたチャンバー７
ランジαＱを、小型容器（６）フランジの間に、継目な
しのインジウムメツキされた金属シール・リングＯＤを
挟み、小型真空密閉容器にして取付ける。試料を付けた
試料ホルダー（２）は小型容器（６）の中に付ける。試
料に付けた計測リード（３）は極低温冷凍機（１）の外
部へ取出し、計測器へ連絡する。極低温冷凍機（１）の
外部から金属性キャピラリー管（８）を用いてヘリウム
ガスを小型容器（６）へ空気との置換を行った後に、封
入する。
極低温冷凍機（１）の内部を真空排気装置（４）によっ
て、真空排気する。その後、極低温冷凍装置を起動させ
、極低温下の試料の物性測定を行う。すなわち、試料の
雪囲気が冷却されたヘリウムガスとなり、試料の形状や
大きさに制限を受けずに、均一な温度に試料を冷却する
事が可能になる。また、フィードスルー（９）を用いる
ことにより、計測リード（３〕を小型容器（６）の外部
へ取出す加工技術が容易になる。
て、真空排気する。その後、極低温冷凍装置を起動させ
、極低温下の試料の物性測定を行う。すなわち、試料の
雪囲気が冷却されたヘリウムガスとなり、試料の形状や
大きさに制限を受けずに、均一な温度に試料を冷却する
事が可能になる。また、フィードスルー（９）を用いる
ことにより、計測リード（３〕を小型容器（６）の外部
へ取出す加工技術が容易になる。
金属シール・リングＱｌ）を用いることにより、小型容
器〔６）を完全な小型真空密閉にすることが可能なので
、ヘリウムガスの漏れをなくす技術が、簡便になる。尚
、金属シール・リングαＤは５０回以上の再使用が可能
なので経済的でもある。
器〔６）を完全な小型真空密閉にすることが可能なので
、ヘリウムガスの漏れをなくす技術が、簡便になる。尚
、金属シール・リングαＤは５０回以上の再使用が可能
なので経済的でもある。
（発明の効果）
以上のように、フィードスルー（９）や金属シール・リ
ングα０を用いた小型容器（６）の中にヘリウムガスを
封入し、小型容器（６）の中に付けた試料をヘリウムガ
スとの熱交換によって冷却することにより、成型固体、
塊状多孔体、薄膜、粉体及び流体などの試料の形状や大
きさを問わずに、均一な温度に冷却する事が可能になる
。
ングα０を用いた小型容器（６）の中にヘリウムガスを
封入し、小型容器（６）の中に付けた試料をヘリウムガ
スとの熱交換によって冷却することにより、成型固体、
塊状多孔体、薄膜、粉体及び流体などの試料の形状や大
きさを問わずに、均一な温度に冷却する事が可能になる
。
小型真空密閉容器にするフィードスルー（９）や金属シ
ール・リング００は市販されているが、極低温冷凍装置
の生成する極低温（−２６９℃）での信頼性については
今まで保証されてはいなかったが、極低温下でも充分使
用可能である。従って、極低温下の物性測定を行う実験
者が容易にしかも効率よく測定を行う為に、充分に有効
な手段である。
ール・リング００は市販されているが、極低温冷凍装置
の生成する極低温（−２６９℃）での信頼性については
今まで保証されてはいなかったが、極低温下でも充分使
用可能である。従って、極低温下の物性測定を行う実験
者が容易にしかも効率よく測定を行う為に、充分に有効
な手段である。
図１及び図２は、従来の構成図、図３はこの発明の一実
施例を示す図である。 １、極低温冷凍機、２．試料ホルダー１３．計測リード
、４．真空排気装置、５．圧縮機ユニット。
施例を示す図である。 １、極低温冷凍機、２．試料ホルダー１３．計測リード
、４．真空排気装置、５．圧縮機ユニット。
Claims (1)
- 極低温冷凍機を用いて、試料の物性測定をする際の試料
の冷却方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63298322A JPH0619313B2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 極低温冷凍機を用いた試料冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63298322A JPH0619313B2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 極低温冷凍機を用いた試料冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02145936A true JPH02145936A (ja) | 1990-06-05 |
| JPH0619313B2 JPH0619313B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=17858152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63298322A Expired - Lifetime JPH0619313B2 (ja) | 1988-11-28 | 1988-11-28 | 極低温冷凍機を用いた試料冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619313B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04258103A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 超電導コイルの冷却装置 |
| CN110864959A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-03-06 | 散裂中子源科学中心 | 一种用于低温环境设备的换样方法、系统及应用 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6296544U (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | ||
| JPH01213543A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Chino Corp | 低温試験装置 |
-
1988
- 1988-11-28 JP JP63298322A patent/JPH0619313B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6296544U (ja) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | ||
| JPH01213543A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-28 | Chino Corp | 低温試験装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04258103A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 超電導コイルの冷却装置 |
| CN110864959A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-03-06 | 散裂中子源科学中心 | 一种用于低温环境设备的换样方法、系统及应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619313B2 (ja) | 1994-03-16 |
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