JPH02146372U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、一実施例の加速度センサを示す縦断
面図である。第２図は第１図の−線断面の主
要部を示す断面図、第３図は第１図のビームプレ
ート２０の外観を示す拡大平面図、第４図は第１
図の一部分を拡大して示す断面図である。第５図
は、ビームプレート２０の一部分の厚み方向の断
面を示す断面図である。第６ａ図及び第６ｂ図は
、各々、ビームプレート２０上の歪ゲージ部を拡
大して示す平面図である。第７ａ図、第７ｂ図及
び第７ｃ図は、各々異なる方向の加速度を受けた
場合の、梁２３の応力分布の概略を示す斜視図で
ある。第８図は、第１図の加速度センサの一部分
の電気要素の接続状態を示す配線図である。 １……おもり（おもり）、２……アーム、３…
…リング、４……ナツト、６……Ｏリング、７…
…内空間、８……シリコンオイル、１１……ビー
ムホルダ、１２……ビームベース、１３……ウエ
ートストツパ、１１，１２，１３……（容器部材
）、１４，１５……シール材、１７……端子板（
信号処理組体）、１８……ボンデイングワイヤ（
電気接続部材）、２０……ビームプレート（検出
部材）、２１，２２……開口部（開口部）、２３
……梁、２５……配線パターン（配線）、２５_１
〜２５_９……線、２５_２，２５_４，２５_６，２５
_８……（共通線）、Ｐ１〜Ｐ８……歪ゲージ部（
（撓み検出手段）、Ｐ１〜Ｐ４……（第１組の検
出手段）、Ｐ５〜Ｐ８……（第２組の検出手段）
、２６……基部、２７……絶縁膜、２８……導電
性パターン、２９……絶縁膜、３１，３２，３３
……クツシヨン材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 おもり； 前記おもりの配置される内空間が形成された、
   容器部材； ２つの開口部と、それらの間に形成され中央部
   に前記おもりの一端近傍が支持された可撓性の梁
   を有し、薄い平板状の部材でなる検出部材； 前記検出部材の梁の上に配置され、該梁の第一
   軸方向の加速度に対応する撓みを検出する第１組
   の検出手段と第二軸方向の加速度に対応する撓み
   を検出する第２組の検出手段を含む、複数の撓み
   検出手段； 前記検出部材上に膜状に形成され、一端近傍が
   前記梁上で第１組の検出手段と第２組の検出手段
   とに共通に接続された共通線を含み、各々の一端
   が前記撓み検出手段の端部に接続され、各々の他
   端が前記検出部材の一端の辺に沿う端子部に集中
   的に配列された、複数の導電性の配線； 前記検出部材の端子部に近接する位置に設けら
   れた信号処理組体；及び 前記検出部材の端子部と前記信号処理組体とを
   電気的に接続する、電気接続部材； を備える加速度センサ。