JPH02146400A - シリンダーキャビネット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、各種薄膜形成や微細パターンのエツチング工
程等に使用される原料ガスシリンダーを収容するための
シリンダーキャビネットに係り、特に半導体集積回路製
造用クリーンルームに設置されるシリンダーキャビネッ
トに関するものである。

［従来の技術］ （発明の背景） 半導体集積回路の集積度の上昇とともに、これらの半導
体を製造するクリーンルームのクリーン度も向上してい
る。その結果として、クリーンルームのランニングコス
トも上昇している。

こうしたクリーンルームのランニングコストの上昇は、
製品コストの上昇に直接影響を及ぼすことから、製品コ
ストを低減するためには、クリーンルームのランニング
コストの上昇を抑えることが必要である。ランニングコ
ストの低減の方法のひとつがクリーンルームの省エネル
ギー運転であるが、現状では省エネルギーという観点か
らは程遠い状況にある。

クリーンルームのランニングコストのうちの約６０％が
、空調並びにクリーンエアの搬送に関係しているといわ
れているが、クリーン度を向上させる手段のひとつとし
て、クリーンエアを過剰に排出していることがラインニ
ングコストを上昇させる大きな原因となっている。

その−例として次のようなことがある。

前述の通り、クリーンルームの運転では、クリーン度を
向上させるためにクリーンエアを排出しているが、クリ
ーンエアを排出する別の目的として次の点がある。

半導体集積回路を製造するために、特殊なガスが多く使
用されているが、これらの特殊ガスのほとんどは毒性、
腐食性、可燃性のある危険ガスである０通常、製造現場
では、特殊ガスの半導体製造装置への供給は、ガスシリ
ンダーからガス供給配管を通して行われるが、このガス
シリンダーを収容するシリンダーキャビネットについて
は、ガス漏洩等による災害を防止する目的で常時キャビ
ネット内の空気を排気している。しかるに、クリーンル
ームからのクリーンエアを補充しながらかかる排気がさ
れているため、クリーンエアは常時排出されてしている
ことになる。

また、半導体集積回路製造に使用される特殊ガスは、高
品質薄膜形成並びに高品質エツチングの目的から、次々
に新しい種類が使用されているが、前述のように毒性、
腐食性、可燃性のある危険なガスであり、これら特殊ガ
スの保管に際しては安全管理が不可欠である。

これ・らの特殊ガスが何らかの理由でガスシリンダーあ
るいはガス供給配管から万−漏洩するようなことになれ
ば、ガス中毒による人体への影響、機器の腐食による材
料の劣化あるいは火災、爆発といった災害に結びついて
しまうおそれがある。

そのため、現在、ガスの漏洩の検知には使用ガスに応じ
てガス漏洩検知器を使用するとともに、シリンダーキャ
ビネット内を常時排気している。

しかし、このようなキャビネット内の常時排気によれば
、実際にガス漏洩が発生しても、キャビネット内のガス
が薄いため、瞬時には検知できないこともある得る。

実際に、ガス漏洩検知器で検知されない領域で、腐食性
のあるガスが長期間に渡ってガス漏洩を起こし、結果と
して、シリンダーキャビネット内のガス供給配管機器に
サビの発生などのような劣化を引き起こすことは、よく
あることである。

（真近の従来技術） 第１・６図は、従来−数的に使用されているシリンダー
キャビネットを示す正面図である。

通常、１基のシリンダーキャビネットには１〜６本（多
いもので１０本位のものもある）のガスシリンダーが収
容されており、こうしたシリンダーキャビネットが、半
導体製造工場などでは半導体製造装置に対応して１００
〜２００基といった数で設置されている。

第１６図に示す例は、内容積４７１のガスシリンダー１
本と内容積１０ＪＩのガスシリンダー２本を収容したシ
リンダーキャビネットである。第１３図に示すように、
シリンダーキャビネット１の前カバー（ドア）１５を開
くとシリンダーキャビネット１内がひとつの部屋になっ
ており、ガスシリンダー２ａ、２ｂ、２ｃおよび配管バ
イブ、バルゾ、メーターその他のガス供給配管機器が収
容できるようになっている。

こうしたシリンダーキャビネット１に収容されるガスシ
リンダーの多くは毒性、腐食性、可燃性などの危険なガ
スを収容したものであり、何らかの原因でガスがガスシ
リンダー、ガスシリンダー接続部、ガス供給配管機器か
ら万一漏洩し、漏洩したガスが製造工場のクリーンルー
ム内に拡散した場合、クリーンルーム内作業者へ中ｉな
どノ人体上の影響が発生し、大きな事故（災害）につな
がってしまうおそれがある。

また、漏洩したガスがシリンダーキャビネット１内に完
膚してしまうと、危険性のあるガスが、高濃度の状態で
シリンダーキャビネット１内に滞留し、機器の劣化（使
用しているステンレス鋼等の金属部のサビの発生や、樹
脂の劣化）を招いてしまうおそれがある。あるいは、ガ
ス漏洩に気づかずにシリンダーキャビネットの前カバー
を開いてしまい、作業者が高濃度のガスを瞬時に吸引し
、ガスによる中毒や傷害に至る危険性もある。

こうしたことから災害を防止し、安全性を高めるために
、シリンダーキャビネット内をやや負圧になるように常
時排気しておき、ガスが万一漏洩しても排気側に吸引さ
れクリーンルーム側に拡散しないように考えられていた
り、あるいは危険性のあるガスの漏洩を検知するために
、ガス漏洩検知器が備えられていたりする（このほか可
燃性ガスの発火などを検知する火災センサー、感熱セン
サー、煙検知器などが備えられているものもある）。

シリンダーキャビネット内の排気は通常、シリンダーキ
ャビネット天板に設けられる直径１００〜１５０ｍｍの
排気ダクトを通して行われ、クリーンルームが運転され
ている間中排気は続けられている。シリンダーキャビネ
ット内を排気する一方では、クリーンルームのクリーン
エアがシリンダーキャビネットの前カバーに設けられた
吸込口や、前カバーとシリンダーキャビネット本体との
隙間から吸引されている。なお、クリーンエアは常時シ
リンダーキャビネット内へ補充され、クリーンルーム外
へ排出されている。

半導体製造に使用されるガスの多くはガスの比重が空気
よりも大きいことから゛、ガス漏洩が万一発生すると、
漏洩したガスはシリンダーキャビネット下部へ降下して
しまう、したがって、シリンダーキャビネット内を排気
する場合は、単にシリンダーキャビネット天板から排気
するよりはシリンダーキャビネット下部から排気するこ
とが効果的であるが、現状のシリンダーキャビネットの
ように、排気ダクトの接続口がシリンダーキャビネット
天板に設けられている場合には、シリンダーキャビネッ
ト下部から排気できるように排気取込口を下部に設ける
ことはシリンダーキャビネット製作上の困難性を伴うこ
とがある。

一方、ガス漏洩を検知する方法と−しては、前述のガス
漏洩検知器を使用するのが一般的である。

ガス漏洩器のガス検知の方法は強制吸引式と拡散式の２
通りが多く使用されている。これらはいずれもシリンダ
ーキャビネット内で漏洩したガスが拡散移動し、あるい
は吸引により移動し、検知器に接触してガス漏洩を検知
する仕組みになフている。

ただし、従来のシリンダーキャビネットのように複数の
ガスシリンダーを収容するものでは、内部はひとつの部
屋になっており、漏洩したガスがガス漏洩検知器まで到
達する間に拡散希釈されてしまうので、ガス漏洩が発生
しても、漏洩のレベルが極微量である場合にはなかなか
検知されない。

ガス漏洩検知器は、検知するガスに応じて、漏洩の最小
検知感度は異なっているが、いずれガスが漏洩し、あら
かじめ設定されたガス漏洩検知濃度にガス濃度が到達し
た時点で、そのガスの漏洩を検知することになる。また
、それぞれのガスによって許容濃度が定められているこ
とを考え合わせると、ガスの漏洩を検知するまでに要す
る時間はまちまちである。しかしながら、ガスの漏洩を
いち早く検知することが、安全管理上一番重要であり、
ガス漏洩を検知する能力を高めることが必要である（ガ
ス漏洩検知能力を高める方法としては、ガス漏洩検知器
の検知感度を向上させることや、シリンダーキャビネッ
トを工夫することが考えられる）。

［発明が解決しようとする課題］ １、半導体集積回路製造現場には、シリンダーキャビ、
ネットが１００〜２００基はあり、シリンダーキャビネ
ット１基あたりの排気量を１００１／ｍｉｎとすると１
日当たり１４４ｏｏ〜２８８００ｍ’のクリーンエアを
排出することになる。

クリーンルーム外へ排出されたクリーンエアを補充する
ために、新たに外気を取り入れ空調の後、クリーンルー
ムへ供給されるが、ここに要する空調コストは、膨大な
ものとなる。

したがった、キャビネット内の排気を常時行うのではな
く必要なときだけ排気することにより、クリーンルーム
外へ排出されるクリーンエアの量を低減し、新たなりリ
ーンエアの補充に要するエネルギーを省略し、空調コス
トの低減を図り得るシリンダーキャビネットが望まれて
おり、本発明はかかるシリンダーキャビネットを提供す
ることを目的とする。

２、ガスシリンダー並びにシリンダーキャビネット内の
ガス配管からのガス漏洩に関する検知という点について
も次のような問題がある。

すなわち、従来のシリンダーキャビネットは前述の通り
、複数のガスシリンダーがひとつのシリンダーキャビネ
ットに収容されているが、シリンダーキャビネットの内
容積はその結果としてかなりの値になワている（例えば
１０Ｊ２ガスシリンダーを５本収容する、幅１７５０ｍ
ｍ１高さ１６００ｍｍ、奥行４００ｍｍのシリンダーキ
ャビネットの内容積は１１２０ＪＺになる）。

こうした内容積をもつシリンダーキャビネットの中で、
ガス漏洩が発生してもシリンダーキャビネット内に拡散
し、希釈されてしまうため、たとえガス漏洩検知器をシ
リンダーキャビネット内に備えていてもガス漏洩の検知
には時間の遅れが生じてしまう。

当然のことながら、ガス漏洩検知器には、それぞれのガ
スに応じた検知感度があり、またそれぞれのガスにより
許容濃度が定められていることから、ガス漏洩の度合い
とも兼ね合わせると一概にガス漏洩の検知感度の良し悪
しを膳論することはできない状況である。

しかし、ガス漏洩検知器の検知感度以下の領域での極微
量のガス漏洩が起きている場合、長期間に渡ってガスは
漏洩し続け、最終的にシリンダーキャビネット内のガス
濃度がガス漏洩検知器の検知感度に達した時点ではじめ
てガス漏洩が検知されることになる。

実際には、シリンダーキャビネット内は常時排気されて
おり、クリーンエアが常時引き込まれているため、漏洩
したガスはかなり希釈されてしまい、長期間に渡ってガ
スの漏洩は、検知されないことになる。

この場合、漏洩しているガスが腐食性のあるガスである
と、漏洩したガスがシリンダーキャビネット内全域に拡
散してしまうため、シリンダーキャビネット内にあるガ
スシリンダーをはじめとするガス供給管機器、あるいは
各種検知器などにガスが接触し、サビの発生、樹脂の劣
化などの影響を与えることになる。

ガス漏洩がいったん発生してしまうと、ガス漏洩箇所の
探索から補修までの作業は困難を伴うため、シリンダー
キャビネット内のガス供給配管は、ガス漏洩の起こりに
くいような機器を用い、適切な施工がなされなければな
らない、それでも、例えば、地震などにより、あるいは
機器の故障、作業者の誤操作などが原因となってのガス
漏洩は避けることができない状況である。

したがって、ガス漏洩が万一発生した場合でも、すみや
かにガスの漏洩が検知できるようなシリンダーキャビネ
ットが必要であり、本発明は、その実現により半導体製
造現場の安全性の向上を図り得るシリンダーキャビネッ
トを提供することを目的とする。

［ＦＪ題を解決するための手段］ 本発明の要旨は、少なくとも１以上のガスシリンダーと
、ガス供給配管機器とを、内部に収納するためのシリン
ダーキャビネットにおいて、該シリンダーキャビネット
内部に収容されたガスシリンダーとガス供給配管機器の
ガス漏洩が発生するおそれがある部分を、適宜部材によ
り他の部分から隔離することにより該部分を密閉化し、
かつ、該密閉化した部分の適宜の位置に、該密閉化した
部分内の漏洩ガスを排気するための排気ラインを設けた
ことを特徴とするシリンダーキャビネットに存在する。

［作　用］ 本発明では、シリンダーキャビネット内を排気するため
のクリーンエアの排出を常時行うのではなく、クリーネ
アの排出を必要な時にのみ行い、通常の排気は行わない
ようにすることで、クリーンエアの排出量を低減するこ
とができ、クリーンルーム運転における省エネルギー化
が図れ、ひいては、ランニングコストの低減が可能にな
る。

また、シリンダーキャビネットをガスシリンダー単独に
（１本ずつ）＠閉窒化することによリ、危険性のあるガ
スの漏洩の検知を短時間で行うことができるため、ガス
漏洩によるシリンダーキャビネット内の機器の汚染や、
災害を最小限に抑えることが可能になる。

［実施例］ 本発明の実施（ｌσを以下に示す。

第１図（ａ）は本発明の一実施例に係るシリンダーキャ
ビネットのドアをはずした状態を示す正面図であり、第
１図（ｂ）は回路概念図である。

第１図（ａ）（ｂ）は３木のガスシリンダー２ａ、２ｂ
、２ｃを収容するシリンダーキャビネット１を示しであ
るが、このガスシリンダー２ａ、２ｂ、２ｃのうち１木
（２ａ）は不活性ガス、他の２本（２ｂ、２ｃ）は毒性
、腐食性、可燃性などの危険性のあるガス（ＧＡＳＡ。

ＧＡＳＢ）である。

なお、本例において使用しているガスシリンダーは最近
開発された主弁とパージ弁を内蔵するシリンダーバルブ
を備えたガスシリンダーであるが、従来の主弁のシリン
ダーバルブを備えたガスシリンダーでも対応できる。

各ガスシリンダーはそれぞれ独立したシリンダーキャビ
ネット３ａ、３ｂ、３ｃに収容されており、この単独の
シリンダーキャビネット３ａ。

３ｂ、３ｃを組合わせて、ひ＆つのシリンダーキャビネ
ット１として使用するものである。

本例では、危険性のあるガスを収容するガスシリンダー
２ｂ、２ｃ用のシリンダーキャビネット３ｂ、３ｃは上
部と下部の２つの部屋に、仕切板２０により仕切られて
いる。特に、上部の部屋（図の太線で囲んだ部分）は、
部屋の中が密閉されるよう作られている（以下、この上
部の部屋を密閉室４ｂ、４ｃと呼ぶ）、各密封室４ｂ、
４ｃの内容積は、約１０５Ｊ２（幅３５０ｍｍ５高さ７
５０　ｍｍ、奥行４００ｍｍ（第１図（ａ）参照））で
ある。

本例では仕切板２０として第２図（ａ）に示すような、
単独で脱着可能なものを使用した。

なお、これ以外に、例えば、挿入形式の下ドアと一体化
し、下ドア１５ｂと共に脱着するもの（第２図（ｂ））
、挿入形式の上ドア１５ａと一体化し、上ドア１５ａと
共に脱着するもの（第２図（Ｃ））、開閉形式の上ドア
１５ａと一体化し、上ドア１５ａの開閉と共に脱着する
もの（第２図（ｄ））、開閉形式の下ドア１５ｂと一体
化し、下ドア１５ｂの開閉と共に脱着するもの（第２図
（ｅ））とすることも可能である。

一方、密閉室４ａ、４ｂの密閉を完全に行なうために、
本例では、第３図（ａ）に示すようなゴム製のバッキン
グをシール材２５として仕切板２０の端部に形成し、シ
リンダーの胴部外周においてシリンダーと仕切板２０と
のシールを行なった。かかるシール材２５を形成してお
けば、各シリンダー間に寸法差があったとしても仕切板
の寸法をそのつと変更させることなく容易かつ十分に密
閉化を行なうことができる。なお、シール材としてはゴ
ム製のものに限ることなく、不燃性（ないし難燃性）で
柔軟性を有するものであればよく、例えば、不燃性ない
し難燃性の繊維製あるいは樹脂製の蛇腹を用いてもよい
（第３図（ｂ））、また、シールする部分は、シリンダ
ーの胴部外周に限らず、シリンダーの首部外周でもよい
（第３図（（り、（ｄ））。さらに、シリンダーの首部
にアダプター２６を設けておいてもよい（第３図（ｅ）
、（ｆ））。

密閉室４ｂ、４ｃの中にはガスシリンダー上部、シリン
ダーバルブ、およびガス供給配管機器が収容されている
。これらは、前述の通り何らかの原因でガスの漏洩を起
こす可能性のあるものである。

さらに、この密閉室４ｂ、４ｃの中には、ガスの漏洩を
検知するためのガス検知器５ｂ、５ｃないし強制吸引式
のガス吸引口６ｂ、６ｃおよび戻しロアｂ、７ｃ並びに
発火を検知するための火災センサーなども備えられてい
る。

この密閉室４ｂ、４ｃは通常は密閉された状態を保持し
ており、クリーンルームとは全く隔絶されている。ただ
し、万一ガス漏洩が発生した場合にはガス漏洩を検知し
た時点で密閉室に取り付けられた排気ダンパー８ｂ、８
ｃを開くことにより密閉室内の残留ガスを排気ライン１
０ｂ、１０ｃを介して、第４図に示すように、クリーン
ルーム外に排気することができる。なお、排気ライン１
０ｂ、１０ｃの設置位置には限定されず、密閉化した部
分の下側に設ける場合（第５図）、背面あるいは側面に
設ける場合（第６図）、上側に設ける場合（第７図）な
どが考えられる。ここで用いるダンパーは従来より使わ
れているような全閉の位置に合わせてもダンパー（羽根
）の外周に隙間があり、その隙間から排気が行われるも
のではなく、全閉とした場合には完全に閉止し、排気ラ
イン１０ｂ、１０ｃと密閉室４ｂ、４ｃとを完全に隔絶
できるようなものでなければならない。

また、密閉室４ｂ、４ｃが排気される場合、密閉室のガ
スによるパージを同時に行えるようにパージガス供給用
のバルブ（ＡＶｌＢ。

ＡＶ　２６）が設けである。パージガス供給配管として
は、シリンダーキャビネットの外側で分岐供給する場合
（第８図）、シリンダーキャビネットの密閉化した部分
で分岐・供給する場合（第９図）、その他の場合が考え
られる。密閉室４ｂ。

４Ｃのパージに用いるガスは半導体製造工場に豊富に貯
蔵されているＮ、ガスが好ましい（ここで用いられるガ
スの中には空気と接触して発火するものもあるので、パ
ージガスには空気を使用しない方がよい）。

以上のように、ガス漏洩の可能性のある部分を密閉室に
収容し、かつ、必要な時以外は密閉室の排気を行わなく
することで、クリーンエアのクリーンルーム外への排出
を必要最小限に抑えることが可能になる。

そのうえ、シリンダーキャビネット２ａ。

２ｂ、２ｃは、各ガスシリンダー毎に独立しており、密
閉室４ｂ、４ｃ内の排気もそれぞれ個別に行うことがで
きるため、クリーンエアの排出量は従来のものと比べて
かなり低減することが可能である。

また、密閉室４ｂ、４ｃはクリーンルーム並びに排気ラ
イン１０ｂ、１０ｃと隔絶されているため、この中でガ
ス漏洩が万一発生しても漏洩したガスが拡散希釈される
度合はシリンダーキャビネット内がひとつめ部屋になっ
ており、かつ、常時排気されている従来のものと比べる
と、飛躍的に少なくすることができる。このことは、ガ
スの漏洩を検知する能力が高まるということを意味して
いる。すなわち、密閉室４ｂ、４ｃという限られた内容
積（前述したように、各密封室の内容積きは約１・０５
１）の部屋に設けられるガス検知器５ｂ、５ｃに漏洩し
たガスが到達するまでの時間、およびガス漏洩検知器５
ｂ、５ｃの検知感度に漏洩したガスの濃度が高まるまで
の時間は拡散希釈もなく、ガスの出入りもないことから
、従来のシリンダーキャビネット（３木用の場合の内容
積は約６７５ＪＬ（幅１０５０ｍｍ、高さ１８００、奥
行４００）と比べると、約１／６の短時間でガス漏洩を
検知することができるようになる。

第１図（ａ）、（ｂ）に示す例は、強制吸引式のガス漏
洩検知器を用いて、ガス濃度を検知できるようにしたも
のであるが、強制吸引式で密閉室４ｂ、４ｃ内の空気を
吸引し、検知器５ｂ、５ｃを通して密閉室４ｂ、４ｃへ
戻すようにしてあり、密閉室４ｂ、４ｃ内の空気は常時
循環している。また、吸引口６ｂ、６ｃ、戻りロアｂ、
７ｃを密閉室４ｂ、４ｃの下側に設けることで空気より
比重の大きなガスの漏洩が効果的に検知できるようにな
る。

以上に加えて、シリンダーキャビネットをガスシリンダ
ー毎に独立させ、かつ、ガス漏洩の可能性のある部分を
密閉室に収容するということで、ガス漏洩が万一発生し
ても漏洩したガスによる汚染が、他のシリンダーキャビ
ネット及びクリーンルームへ拡散することが防止できる
０例えば、漏洩したガスが腐食性のガスである場合、従
来のシリンダーキャビネットでは、キャビネット内にあ
る配管・機器全体にガス漏洩による汚染が広がり、極端
な場合にはキャビネット内の機器・配管のすべてがサビ
の発生や材料の・劣化といった影響を被ることにな〜す
、全部品の交換を余儀なくされることもある。

ガス漏洩の発生をなくすということは、例えば、ガスシ
リンダーやガス供給配管・機器を外部リークの少ない部
品あるいは施行方法を採用することにより可能となるが
、それでもガス漏洩を完全になくすことは不可能である
。すなわち、地震などによる影響や、機器の寿命や破損
によるガスの漏洩あるいは誤操作によるガスの漏洩など
は避けることができないため、シリンダーキャビネット
を密閉するだけでは不足で、排気ラインをシリンダーキ
ャビネットに備えるということは安全管理上必要であり
、これらの機能をなくすことはできない、また、ガス漏
洩をいちはやく探知する上からはガス漏洩検知器を設け
ることが望ましい。

ガス漏洩検知器としては、拡散式のものあるいは強制吸
引式のもののいずれを用いてもよい、前者の場合は密閉
化した部分に設置する（第１０図）、後者の場合は戻り
口及び吸引口を密閉化した部分に形成し、ガス漏洩検知
器をこの戻り口及び吸引口に接続すればよい、また、設
置位置としては密閉化した部分の下側（第１１図）、側
面（第１２図）、天板上（第１３図）なと適宜の位置を
選択すればよい。

（変形例１） 第１４図に上記実施例の変形例を示す。

上記の実施例では、ガスシリンダーの数に対応して個別
化されたシリンダーキャビネットを組合せて単一のシリ
ンダーキャビネットとした例を示したが、本変形例にお
いては、シリンダーキャビネットは個別化されたもので
はなく一体型のシリンダーキャビネットであり、ガスシ
リンダーのシリンダーヘッドの上方全体を密閉化した例
である。

（変形例２） 第１５図に他の変形例を示す。

上記の変形例においてはガスシリンダーのシリンダーヘ
ッドの上方全体を密閉化した例を示したが、本変形例で
は、ガスシリンダーのシリンダーヘッドの上方近傍のみ
を密閉化しである。このように、密閉化する部分をガス
漏洩のおそれのある部分のみに限定すると、密閉化部分
の容積が小さくなり、クリーンエアの排出量を一層少な
くすることができ、また、漏洩ガスの検知能力を一層高
めることができる。

［発明の効果］ シリンダーキャビネットに個別に密閉室を持ち、必要な
時以外は排気を行わないことにより次の効果が得られる
。

１、排気に伴うクリーンエアの排出が低減できる。

２、ガス漏洩の検知能力が向上する。

３、ガス漏洩による汚染の拡大を最小限に抑えることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の実施例に係るシリンダーキャビ
ネットを示す正面図であり、第１（ｂ）はその回路概念
図である。第２図（ａ）〜第２図（ｅ）は仕切板を示す
斜視図である。第３図（ａ）〜第３図＜ｆ＞はシール材
を示す平面図および断面図である。第４図は排気系を示
す概念図である。第５図〜第７図は排気ラインの配線位
置を示す概念図である。第８図および第９図はパージガ
ス供給配管の配線位置を示す概念図である。第１０図〜
第１３図はガス漏洩検知器の設置位置を示す概念図であ
る。第１４図および第１５図は変形例を示す概念図であ
る。第１６図は従来例を示す斜視図である。 （符号の説明） １・・・シリンダーキャビネット、２ａ、２ｂ。 ２Ｃ・・・ガスシリンダー　３ａ、３ｂ、３ｃ・・・個
別シリンダーキャビネット、４ｂ、４ｃ・・・密閉室、
５ｂ、５ｃ・・・ガス検知器、６ｂ、６ｃ・・・吸引口
、７ｂ、７ｃ・・・戻し口、８ｂ、８ｃ・・・排気ダン
パー　１０ｂ、１０ｃ”−排気ライン、１５．１５ａ、
１５ｂ・・・カバー（ドア、パネル）、２５・・・シー
ル材、２６・・・アダプター 第 「 図（０） ｂ Ｃ 第 図（ｅ） 第 図（ｄ） 区 １つ 転 第 図 第 １゜ 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくとも１以上のガスシリンダーと、ガス供給配管機
   器とを、内部に収納するためのシリンダーキャビネット
   において、該シリンダーキャビネット内部に収納された
   ガスシリンダーとガス供給配管機器のガス漏洩が発生す
   るおそれがある部分を、適宜部材により他の部分から隔
   離することにより該部分を密閉化し、かつ、該密閉化し
   た部分の適宜の位置に、該密閉化した部分内の漏洩ガス
   を排気するための排気ラインを設けたことを特徴とする
   シリンダーキャビネット。