JPH02146837U - - Google Patents

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JPH02146837U
JPH02146837U JP5433889U JP5433889U JPH02146837U JP H02146837 U JPH02146837 U JP H02146837U JP 5433889 U JP5433889 U JP 5433889U JP 5433889 U JP5433889 U JP 5433889U JP H02146837 U JPH02146837 U JP H02146837U
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JP
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wafer
repositioning
rail
wafers
reversing
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JP5433889U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウエハー立え替えレールを三角法によ
り表現した図、第２図はストーツパー、第３図は
ウエハー立て替えレールとストツパーの組み合わ
せの１例、第４図はウエハー立て替えの概念図、
第５図は立て替えレールとストツパーの組み合わ
せの第２例、第６図は第５図の例を使用してウエ
ハー立て替えを行なう概念図である。 １……第
１のウエハーキヤリア、２……ウエハー立て替え
レール、３……（第１の）ストツパー、４……第
２のウエハーキヤリア、５……第２のストツパー
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体集積回路のウエハー立て替え機において
    、ウエハーキヤリアの任意位置から任意枚数のウ
    エハーを立て替える為の立て替えレールと、それ
    と組み合わせるストツパーと、それ等を保持する
    為の機構と、ウエハーを任意位置に立て替える為
    のキヤリアのスライド機構を有することを特徴と
    したウエハー立て替え機。
JP5433889U 1989-05-10 1989-05-10 Pending JPH02146837U (ja)

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JP5433889U JPH02146837U (ja) 1989-05-10 1989-05-10

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JP5433889U JPH02146837U (ja) 1989-05-10 1989-05-10

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JPH02146837U true JPH02146837U (ja) 1990-12-13

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ID=31576314

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JP5433889U Pending JPH02146837U (ja) 1989-05-10 1989-05-10

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