JPH0214771B2

JPH0214771B2 -

Info

Publication number: JPH0214771B2
Application number: JP57162162A
Authority: JP
Inventors: Keiichiro Sakado
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1982-09-20
Filing date: 1982-09-20
Publication date: 1990-04-10
Also published as: US4512657A; JPS5952246A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、感光材を塗布したウエハ又はフオト
マスク上にパターンを露光する装置に関し、特
に、その露光量に制御装置に関する。

近年、半導体素子、特にIC製造においては、
回路パターンの微細化が要求され、ウエハ上に
1μｍ以下の線幅を有するパターンを焼き付ける
装置、いわゆる露光装置も高精度な露光制御が望
まれてきた。

一般に、ウエハ又はフオトマスクに回路パター
ンの像を露光する露光装置では、被露光物として
ウエハ上に塗布された感光材料（フオトレジス
タ）に、常に一定の露光量を与えることが望まし
い。このような露光装置の概略を第１図に示す。

第１図においては、露光用の光源、例えば水銀
ランプ１の光が集光レンズ２によつて集光された
後、シヤツタとなる回転板３を介して、コンデン
サーレンズ５、投影レンズ８をへて、２次元移動
可能なステージ１０に載置されたウエハ９（フオ
トマスクでもよい。）に至るような、投影式の露
光装置を示す。回転板３は、例えば４分割して、
遮光部（図中の斜線部）と透過部を交互に設け、
回転駆動機構、例えばパルスモータ４によつて一
方向（図中、時計回り）に回転され、ロータリー
シヤツタとして働く。回路パターンを有するガラ
ス基板７（レテイクルやフオトマスク）は、コン
デンサーレンズ５と投影レンズ８の間に配置さ
れ、ランプ１からの照明光によつて照射されたガ
ラス基板７のパターン領域７ａがウエハ９の上に
結像する。又、光電検出器６は、ランプ１からの
照明光の一部の光強度を測定するような光電変換
素子であり、シヤツタを経た光を測光するよう
に、ガラス基板７の上方に領域７ａを遮光しない
ように設けられ、その出力は露光制御のために使
われる。このような装置では、機構上シヤツタの
開閉動作時間が長く、数ｍsec.〜数10ｍsec.に及
ぶ。また、露光動作に伴う光強度（検出器６で検
出した値、又はウエハ９上で測定した値）の変化
を第２図に示す。第２図で、横軸に露光時間、縦
軸に光強度を取り、台形状の折線ＡとＢは、光源
のランプの劣化によるちがいを表わす。ランプが
新しく、光強度が大きいと、折線Ａのように、ま
たランプが劣化して光強度が小さいと折線Ｂのよ
うになる。尚、台形の上底部すなわちシヤツタの
全開時の光強度をL_N、L_Oとする。このように、
台形状の光強度特性を有するのは、シヤツタの開
閉動作時間に基づいている。これは、第１図で示
したような回転板３が1/4回転する時間によつて
生じるものである。回転板３の遮光部が光をさえ
ぎつている状態から、回転板３が1/4回転して、
光を完全に透過する状態までにかかる時間（シヤ
ツタ開放時間）は、第２図では時間t_a−t_pである。
尚、回転板３の回転開始時をt_pとしてある。そし
て、時間t_a−t_pが経過後、回転板３を光が完全に
透過する（このことを、以後シヤツタ全開と呼
ぶ。）ので、光強度L_N、又はL_Oとして安定する。
そして、所定の露光時間後、すなわち時刻t_b又は
時刻t_dから回転板３がさらに1/4回転して、遮光
部によつて光がさえぎられる。光が完全に遮光さ
れる時刻は、時刻t_c、又はt_eである。尚、シヤツ
タの構造上、開放動作時間と、閉成動作時間はほ
ぼ等しいので、時間t_c−t_bと時間t_e−t_dは共に等し
く、かつ時間t_a−t_pともほぼ等しくなる。

この光強度特性に示したように、普通このよう
な装置では、フオトレジスタへの総露光量を一定
にするため、ランプの明るさに応じて露光時間を
変えている。そこで、従来の露光制御について、
第３図により説明する。第３図において、光電検
出器６の光電出力は増幅器１１によつて増幅され
た後、抵抗１２、コンデンサ１４、増幅器１３に
よる積分器に入力する。積分器の出力が、露光量
に比例した値、いわゆる光量積分値である。この
積分器の出力は、比較器１５によつて、あらかじ
め定めた適正露光量としての目標値（基準電圧）
E_sと比較される。一方、フリツプフロツプ回路１
６は、露光動作の開始時点でセツトされ、シヤツ
タ駆動回路１７によつて、モータ等を駆動してシ
ヤツタを開く。シヤツタが開いた後、上述の如く
光量積分値が基準電圧E_sに達すると、比較器１５
の出力が反転してフリツプフロツプ回路１６がリ
セツトされる。このリセツトにより、駆動回路１
７は、モータ等をさらに回転して、シヤツタを閉
じる。こうして、ランプの明るさが変わつても光
量積分値が、一定値になるように、シヤツタは制
御される。ここで、その時の露光量を第４図のグ
ラフに示す。第４図のグラフで横軸に第２図と同
一の時間軸を取り、縦軸に露光量、すなわち光量
積分値を取る。露光開始時t_pから時刻t_aまでは、
第２図のように、シヤツタの開放動作時間であ
り、露光量はなだらかに上昇していく。時刻t_aか
ら時刻t_b、又は時刻t_dまでは、シヤツタ全開期間
である。尚、露光量ＡとＢは第２図で示したよう
に、光源の光強度が大きいときと、小さいときを
示す。そして露光量Ａ、又はＢが目標値E_sに達す
ると、シヤツタ閉じ動作が始まる。しかしなが
ら、シヤツタが完全に閉じるまでの時間t_c−t_b、
又はt_e−t_dにも、ウエハ９は露光されることにな
り、その結果、ウエハ９に与えられた総露光量は
E_p、又はE_p′となり、所定の目標値E_sよりもE_p−
E_s又はE_p′−E_sだけ超過することになる。

光源の光強度が常に一定であれば超過分を予測
して、総露光量を決定できるが、実際には、ラン
プの劣化に伴い光源の明るさは大きく変化する。
従つて、第４図に示したように、時間t_c−t_bと時
間t_e−t_dは同じでも、超過分は変化してしまう。
この超過分の変化（E_p−E_p′）は、光源の光強度
が小さく、露光時間が十分に長い場合には無視で
きる。しかし、光源の光強度が大きくなり、全露
光量中に占める、シヤツタの閉じ動作時間中の露
光量の割合が大きくなつた場合、超過分の変化
（E_p−E_p′）による総露光量の変動は重要な問題と
なる。一般に、露光量の制御として、総露光量の
変動は数％以下が必要とされるが、上述の場合、
従来のような装置では、超過分に対する配慮がな
されていないので、長期間に渡つて、安定した露
光量を得ることができない欠点を有していた。

そこで本発明は、従来の欠点を解決し、光源の
光強度にかかわらず常に総露光量を一定にするよ
うに制御する露光装置を提供することを目的とし
ている。

すなわち、このような目的を達成するための本
発明の露光制御装置は、光源から被露光物への照明光の通過と遮断のた
めに開閉するシヤツタと；該シヤツタを通過した前記照明光の一部の強度
を検出する光電検出器と；該光電検出器の出力信号に基づいて前記シヤツ
タの開放動作開始時点から前記被露光物に与えら
れる露光量に対応した値を測定する測定回路と；該測光回路によつて測定された値が、適正露光
量に対応して予じめ設定された値に達したとき、
前記シヤツタの閉成動作を開始する駆動手段と；前記シヤツタの開放動作開始時点から開放動作
完了時点までの間に前記被露光物に与えられる露
光量と、前記シヤツタの閉成動作開始時点から閉
成動作完了時点までの間に前記被露光物に与えら
れる露光量との比を１：ｎとしたとき、前記シヤ
ツタの開放動作開始時点から開放動作完了までの
間の前記測光回路の測光感度を、前記シヤツタの
全開時における測光感度のほぼ（１＋ｎ）倍に切
り替える制御手段とを備えてなるもので、シヤツ
タの開放動作開始から開放完了までの間に、その
シヤツタが閉成動作を開始してから閉成完了する
までの間にウエハに与えられる露光量分を予じめ
重畳した形で露光量を測定できるので、正確な露
光制御が果されると共にシヤツタをその最高速に
まで制御し得るものである。

前記測光回路は、前記光電検出器の出力信号を
積分して露光量に対応した値を出力する積分回路
と、前記シヤツタの開放動作開始時点から開放動
作完了までの間だけ、前記制御手段に応答して前
記積分回路の積分感度を（１＋ｎ）倍に高める切
り替え素子とを備えている。

また前記積分回路は、前記光電検出器の出力信
号の大きさに対応した周波数でパルス発振する電
圧・周波数変換器と、該発振パルスを計数するデ
ジタルカウンタとで構成され、前記切り替え素子
によつて前記光電検出器の出力信号の大きさに対
する発振周波数の変換比を（１＋ｎ）倍に切り替
えるものである。

本発明を実施例図面と共に詳述すれば以下の通
りである。

第５図において、第１図ないし第３図と同一符
号は同効のものを示し、前記測光回路は、光電検
出器６、増幅器１１、補正用増幅器２０、スイッ
ツ２１、電圧・周波数コンバータ２３、およびカ
ウンタ２４によつて構成され、前記駆動手段は、
比較器２５、開閉駆動制御回路２７、およびパル
スモータ４によつて構成され、前記制御手段は、
前記スイツチ２１の制御のために前記開閉駆動制
御回路２７内に設けられた制御要素（詳細は後
述）で構成され、前記補正用増幅器２０を含む切
り替え素子としての前記スイツチ２１を制御する
ものである。すなわち、詳述すれば、光電検出器
６からの光強度信号を増幅する増幅器１１に直列
に補正用増幅器２０が接続され、両増幅器１１と
２０の各出力は、半導体アナログスイツチ等のス
イツチ２１で選択的に切換えられて電圧・周波数
コンバータ２３に入力され、露光量として測定さ
れるようになつている。カウンタ２４は、このコ
ンバータ２３の出力パルス数を計数し、露光量設
定器２６に予じめ設定された適正露光量値に対応
する値と前記カウンタ２４の計数結果とが比較器
２５で比較され、両者が一致したときに比較器２
５がシヤツタ閉成信号S₁を出力するようになされ
ている。このシヤツタ閉成信号S₁と、別に図示し
ない操作手段からのシヤツタ開放信号S₂とは、シ
ヤツタの開閉駆動制御回路２７に入力され、駆動
制御回路２７はこれら信号S₁かS₂かのいずれか一
方が入力されたときにシヤツタ３を1/4回転させ
るために所定のパルス数の駆動信号S₃をパルスモ
ータ４に出力すると共に、少なくともシヤツタ開
放信号S₂が入力されたときにはその入力時点すな
わちシヤツタの開放動作開始時点から、予じめシ
ヤツタ機構上定まつている開放完了に達するまで
の時間にわたり、スイツチ２１を接点Ａ側つまり
増幅器２０側に切替えておくための切替信号S₄を
も出力する。すなわちこの駆動制御回路２７は、
増幅器１１と２０およびコンバータ２３とカウン
タ２４を含む測光回路に対し、比較器２５と共に
測光露光量が設定値に等しくなつたときにシヤツ
タ３の閉成動作を開始する駆動手段を構成すると
同時に、スイツチ２１と共に前記シヤツタの開放
動作開始時点から開放完了までの間の測光回路の
露光量測定値が前記シヤツタの閉成動作開始時点
から閉成完了までの間の超過露光量を重畳した値
に相当するものとなるように前記シヤツタの開放
動作開始時点から開放完了までの間にわたり測光
回路の測光感度を制御する制御手段を構成してい
る。そして、この実施例では測光感度の制御を前
記切り替え素子を構成するスイツチ２１が接点Ａ
側に切替つている間にわたり測光回路の総合増幅
度を高くし、前記光電検出器６の出力信号の大き
さに対する電圧・周波数コンバータ２３による発
振周波数の変換比を１＋ｎ倍に切り替えることで
果している。

駆動制御回路２７は例えば第６図に示す回路構
成を備えている。第６図において、シヤツタ閉成
信号S₁と開放信号S₂はフリツプフロツプ１００に
入力されると共にオアゲート１０１に入力されて
いる。尚、以下の説明においては信号S₁，S₂とも
に論理レベル「Ｈ」を正論理として扱う。シヤツ
タ閉成信号S₁はフリツプフロツプ１００のリセツ
ト入力端に、シヤツタ開放信号S₂はフリツプフロ
ツプ１００のセツト入力端にそれぞれ入力され、
オアゲート１０１の出力はもうひとつのフリツプ
フロツプ１０２のセツト入力端に接続されてい
る。フリツプフロツプ１０２の出力は、発振器１
０４の出力パルスをゲートするためのアンドゲー
ト１０３に接続され、アンドゲート１０３の出力
信号はバツフアアンプ１０５を介してパルスモー
タ４の駆動信号S₃となる。このアンドゲート１０
３の出力信号はまたカウンタ１０６で計数され、
シヤツタ３が1/4回転するのに必要なパルス数に
等しいデジタル値が予じめ設定されているレジス
タ１０７の出力と比較器１０８で比較されるよう
になつている。比較器１０８はカウンタ１０６の
計数値がレジスタ１０７の設定デジタル値と一致
したときに一致パルスを出力してフリツプフロツ
プ１０２の出力状態を反転させるものである。ま
たフリツプフロツプ１００と１０２の出力はそれ
ぞれアンドゲート１０９に入力され、これらが共
に「Ｈ」のときのみ切替信号S₄を「Ｈ」にする。
スイツチ２１はこの切替信号S₄が「Ｈ」のときに
接点Ａ側に、また「Ｌ」のときに接点Ｂ側に切替
えられる。従つて本実施例では、フリツプフロツ
プ１００，１０２、オアゲート１０１、およびア
ンドゲート１０９によつて本発明の制御手段が構
成されている。

第５図と第６図に示した実施例の動作を説明す
ると、まず始めにシヤツタ３は閉じているものと
し、フリツプフロツプ１００および１０２ともに
その出力は「Ｌ」、カウンタ２４と１０６はとも
に計数値が零であるとする。この状態においてシ
ヤツタ開放信号S₂を「Ｈ」にすると、フリツプフ
ロツプ１００および１０２の各出力が「Ｈ」にな
る。このためアンドゲート１０９の出力すなわち
切替信号S₄が同時に「Ｈ」となり、スイツチ２１
は接点Ａ側に切替つて増幅器１１と２０が直列に
挿入されることで測光感度が高められる。

増幅器２０の利得については、シヤツタ３の特
性が例えば第４図に示したように開放動作時間
（t_a−t_p）が閉成動作時間（t_c−t_b）又は（t_e−t_d）
とほぼ等しく、且つシヤツタ開放の立上りとシヤ
ツタ閉成の降下の傾きが同じなら増幅器２０の利
得は２倍でよい。一般的には時間（t_a−t_p）の間
にウエハに与えられる露光量と（t_c−t_b）又は
（t_e−t_d）の間にウエハに与えられる露光量との
比に応じて増幅器２０の利得が定められ、この比
が前述のように１：１なら利得は２、比が１：ｎ
なら増幅器２０の利得は（１＋ｎ）である。従つ
て実際には、前記開放動作時間と閉成動作時間の
比やシヤツタ立上りの傾き（シヤツタ開放動作速
度）と降下の傾き（シヤツタ閉成動作速度）との
比など、個々のシヤツタの機構上の特性に応じて
増幅器２０の利得を定めればよく、これはシステ
ムに個有の定数として定まるものである。

さて、フリツプフロツプ１０２の出力が「Ｈ」
になると、アンドゲート１０３はゲートを開き、
発振器１０４の出力パルスがバツフアアンプ１０
５を介し駆動信号S₃として出力され、これにより
パルスモータ４がそのパルスに対応して回転す
る。同時にカウンタ２４はシヤツタ３の開放動作
開始時点からの露光量を計数し、カウンタ１０６
も発振器出力パルスの計数を開始する。その後、
時間t_aでシヤツタ３が開放完了となり、比較器１
０８が一致パルスを出力し、フリツプフロツプ１
０２の出力が「Ｌ」に反転すると共に切替信号S₄
も「Ｌ」になる。従つて時点t_a以降はスイツチ２
１が接点Ｂ側に切替られた状態となる。

このようにしてカウンタ２４は、時間t_pからt_a
までの間に、増幅器２０で高ゲインにされた状態
で、つまりシヤツタ閉成動作時間内での超過露光
量を予じめ重畳した形で露光量の計数をしてしま
い、そして時点t_a以降は増幅器２０を通さずに露
光量の計数を続ける。設定器２６の適正露光量設
定値とその計数値とが一致する時点t_bで比較器２
５の出力すなわちシヤツタ閉成信号S₁が「Ｈ」と
なり、これによつてフリツプフロツプ１００がリ
セツトされて出力が「Ｌ」となる。またフリツプ
フロツプ１０２はこの「Ｈ」レベルの閉成信号S₁
によつて再び反転してその出力を「Ｈ」とし、従
つて前述と同様にしてパルスモータ４を駆動して
シヤツタ３をさらに1/4回転させる。このときは、
フリツプフロツプ１００の出力が「Ｌ」となつて
いるからアンドゲート１０９の出力すなわち切替
信号S₄は「Ｌ」のままである。

第７図は以上に述べた第５図と第６図の実施例
による露光制御特性図で、特性ＸとX′は光源の
光強度が高い場合、ＹとY′は光強度が低下した
場合である。また特性ＸとＹはカウンタ２４によ
つて測定される露光量変化を示し、特性X′と
Y′はガラス基板７（レテイクルやマスク）に実
際に到達する露光量変化、すなわちウエハに与え
られた露光量の時間的な変化を示している。第７
図で横軸はシヤツタ開放動作開始時点t_pからの時
間経過を、縦軸は露光量を示し、E_sは適正露光量
である。第７図に明らかなように、時点t_pから開
放完了時点t_aまでの間は、前述の如く超過露光量
の重畳測定のための高ゲイン化により、特性Ｘと
X′或いはＹとY′で傾きが異なつている。第７図
において特性ＸとX′に関して超過露光量に相当
する分は（E_s−E_s3）であり、この（E_s−E_s3）と
t_a時点での嵩上げ分（E_s2−E_s1）とが等しくなる
ように増幅器２０の利得が定められているわけで
ある。勿論特性ＹとY′に関しても同じである。

このように時点t_pからt_aまでの間に、予じめ超
過露光量に相当する分を嵩上げして測光してしま
うので、シヤツタ３が開放完了後は、設定した適
正露光量との単純な比較だけで正確な露出制御が
達成されるとともに、回路構成の複雑化を避ける
ことができる。

また第７図において特性ＸまたはＹが適正露光
量E_sに達したのち、カウンタ２４はシヤツタの閉
成動作中の露光量を計数して出力を増加するが、
この閉成動作の開始時点t_b又はt_d以降のカウンタ
２４の計数値は露出制御に関しては意味をもたな
い。そこで第６図の回路においてフリツプフロツ
プ１０２の出力を直接切替信号S₄として取出し、
フリツプフロツプ１００とアンドゲート１０９と
を省いた形に変形してもよい。このようにすると
シヤツタ３の開放動作時間中（t_pからt_aまで）と
閉成動作時間中（t_bからt_cまで、またはt_dからt_eま
で）との双方でスイツチ２１が接点Ａ側に切替え
られて測光感度が高まるが、閉成動作時間中の測
光感度の上昇は前述の如く露出制御に何等影響を
与えることはなく、フリツプフロツプ１００とア
ンドゲート１０９が省略できるという回路構成の
簡略化の利点を享受できることになる。

第８図は本発明のもうひとつの実施例を示すも
ので、第５図と同一符号のものは同効のものを示
す。この実施例では露光量の測定をアナログ方式
で行なうようにしてあり、スイツチ２１の出力を
アンプ３０とコンデンサ３１による積分回路に入
力している。この積分回路のアンプ３０からの出
力は、いわゆる光量積分値であり、スイツチ２１
が接点Ａ側に切替つている間にわたり、補正増幅
器２０によつて積分感度が例えば（１＋ｎ）倍に
高められることになる。この積分値はアナログコ
ンパレータ３２によつて適正露光値に対応した設
定電圧Vrと比較され、両者が一致したときにコ
ンパレータ３２から前述と同様のシヤツタ閉成信
号S₁を出力させるようにしてある。その他につい
ては第５図の場合と同様であるのでこれ以上の説
明は省略する。

このように露光量の測定をアナログ方式で行な
うことにより、デジタル方式の場合に比べて回路
構成を極めて小さくコンパクトにすることができ
る。

第９図は第８図の実施例に対する変形を示す部
分回路図で、増幅器２０を用いてゲインを変える
代りに、増幅器１１の直後に抵抗R₁とR₂を接続
してこれら抵抗のいずれかをスイツチ２１で切替
えて積分回路に接続するようにしてある。すなわ
ち、第９図の回路では、測光感度を切り替える素
子として抵抗R₁，R₂とスイツチ２１とを組合わ
せ、アナログ積分回路の積分感度（時定数）を切
り替えている。これら２つの抵抗の抵抗値はR₁
＞R₂に定められており、スイツチ２１がＡ接点
側にあるときの抵抗R₂とコンデンサ３１とで定
まる時定数よりも小さくなりその結果積分の感度
が高くなるようにされている。前述したようにシ
ヤツタ３の開放動作時の立上り特性と閉成動作時
の降下特性とが等しい場合、すなわち時間（t_a−
t_p）の間での露光量と時間（t_c−t_b）又は（t_e−
t_d）の間での露光量とが等しい場合は、R₁／R₂
＝２になるように定められていることはもはや詳
述するまでもない。

このようにアナログ方式の場合に積分回路の時
定数を切替えるようにすることによつて増幅器２
０が省略でき、回路はさらに小規模のものですむ
ようになる。

尚、以上に述べた各実施例では、シヤツタ３の
駆動用のパルスモータ４は等速度で回転するもの
としており、このため、シヤツタ３の開放動作時
と閉成動作時の露光強度特性の立上りと降下は第
１０図ａに示すように直線的である。ところでパ
ルスモータ４を、高い周波数のパルス信号で急に
回転させようとしても正常な始動は果されず、い
わゆる脱調を起すなど、応答性の問題が懸念され
るが、これはパルスモータ４の駆動を例えばマイ
クロコンピユータ等によつて可変速制御して、第
１０図ｂに示すようにシヤツタ開放開始時のt_p時
点からt_a時点まで立上りを滑らかにし（スローア
ツプ）、またシヤツタ閉成開始時のt_b時点からt_c時
点まで降下を滑らかにする（スローダウン）こと
で解決できる。この場合、（t_a−t_p）＝（t_c−t_b）で
あつても、開放動作中の露光量（t_pからt_aまでの
間の斜線部面積）と、閉成動作中の露光量（t_bか
らt_cまでの間の斜線部面積）との比が１：１では
なくなつてしまうが、その比を１：ｎとすると、
この比自体は前述の如くシステム定数として固有
の一定値となるから、例えば前述第５図又は第８
図の実施例では増幅器２０の利得を（１＋ｎ）に
設定しておけばよく、また前述第９図の例では抵
抗R₁とR₂の比R₁／R₂を（１＋ｎ）に設定してお
けばよく、さらには（t_a−t_p）≠（t_c−t_b）であつ
ても同様にその比（t_a−t_p）／（t_c−t_b）がシヤツ
タ３の駆動時に常に一定値であるなら増幅器２０
の利得や抵抗R₁とR₂の比によつて補正が可能で
ある。

また本発明においてシヤツタ駆動用のモータは
実施例に挙げたパルスモータに限るものではな
く、例えば直流モータを用いるように変形しても
よい。この場合、駆動制御回路２７では発振器１
０４の代りに直流電源を設け、カウンタ１０６と
レジスタ１０７および比較器１０８の代りにシヤ
ツタ開閉状態を検出するフオトカプラ等の出力信
号を用いればよい。

さらに本発明は露光装置であれば投影式に限ら
ず利用し得るものである。

本発明は叙上のようであり、シヤツタの開放動
作中すなわち開放開始時点から開放完了までの間
に、シヤツタの閉成動作中すなわち閉成開始時点
から閉成完了までの間に被露光体に与えられる露
光量相当分をシヤツタ開放動作中に重畳測定する
ので、シヤツタの開放完了直後に適正露光値に達
した場合でも直ちにシヤツタ閉成動作が開始され
るなど、極めて正確な露光制御が可能であり、ま
た例えばシヤツタの開放完了直前に適正露光値を
越えるような場合であつても、シヤツタは開放完
了状態で停止することなくそのまま直ちに閉成動
作に移行することができるようになり、シヤツタ
がその駆動系を含む機構自体の特性で定まる最高
速まで制御され得るという利点も得られるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、露光装置の概略構成を示す斜視図、
第２図は、光源による露光強度の特性を示す線
図、第３図は、従来の露光制御装置の回路ブロツ
ク図、第４図は、従来の露光制御特性を示す線
図、第５図は、本発明の一実施例に係る露光制御
装置の回路ブロツク図、第６図は、その一部の駆
動制御回路の構成例を示す回路ブロック図、第７
図は、本発明による露光制御特性を示す線図、第
８図は、本発明のもうひとつの実施例を示す回路
ブロツク図、第９図は前図の例の変形例を示す要
部の回路ブロツク図、第１０図ａ，ｂは等速駆動
の場合と可変速駆動の場合のシヤツタ開閉動作に
よる露光強度特性を示す線図である。３：シヤツタ、４：パルスモータ、６：光電検
出器、１１，２０……増幅器、２１：スイツチ、
２３：電圧・周波数コンバータ、２４：カウン
タ、２５：比較器、２６：露光量設定器、２７：
駆動制御回路、３０：アンプ、３１：コンデン
サ、３２：アナログコンパレータ、R₁，R₂：抵
抗、１００，１０２：フリツプフロツプ、１０
１：オアゲート、１０３，１０９：アンドゲー
ト、１０４：発振器、１０５：バツフアアンプ、
１０６：カウンタ、１０７：レジスタ、１０８：
比較器。

Claims

【特許請求の範囲】１光源から被露光物への照明光の通過と遮断の
ために開閉するシヤツタと；該シヤツタを通過した前記照明光の一部の強度
を検出する光電検出器と；該光電検出器の出力信号に基づいて前記シヤツ
タの開放動作開始時点から前記被露光物に与えら
れる露光量に対応した値を測定する測光回路と；該測光回路によつて測定された値が、適正露光
量に対応して予じめ設定された値に達したとき、
前記シヤツタの閉成動作を開始する駆動手段と；前記シヤツタの開放動作開始時点から開放動作
完了時点までの間に前記被露光物に与えられる露
光量と、前記シヤツタの閉成動作開始時点から閉
成動作完了時点までの間に前記被露光物に与えら
れる露光量との比を１：ｎとしたとき、前記シヤ
ツタの開放動作開始時点から開放動作完了までの
間の前記測光回路の測光感度を、前記シヤツタの
全開時における測光感度のほぼ（１＋ｎ）倍に切
り替える制御手段とを備えたことを特徴とする露
光制御装置。２前記測光回路が、前記光電検出器の出力信号
を積分して露光量に対応した値を出力する積分回
路と、前記シヤツタの開放動作開始時点から開放
動作完了までの間だけ、前記制御手段に応答して
前記積分回路の積分感度を（１＋ｎ）倍に高める
切り替え素子とを備えたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項に記載の露光制御装置。３前記積分回路が、前記光電検出器の出力信号
の大きさに対応した周波数でパルス発振する電
圧・周波数変換器と、該発振パルスを計数するデ
ジタルカウンタとで構成され、前記切り替え素子
によつて前記光電検出器の出力信号の大きさに対
する発振周波数の変換比を（１＋ｎ）倍に切り替
えることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記
載の露光制御装置。