JPH02149671A - 金属蒸気が発生する装置の監視窓 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は蒸着装置、抵抗加熱炉、誘導加熱炉、電子ビー
ム溶解炉等、金属蒸気が発生する装置の監視窓に間する
。

［従来の技術］。

従来の蒸着装置、抵抗加熱炉、誘導加熱炉、電子ビーム
溶解炉等、金属蒸気が発生する装置、即ち真空槽内にル
ツボ炉を置きその中にアルミニウム、金などの金属を入
れて加熱して蒸発させ反対側の基板に膜着させる蒸着装
置等には、真空槽内を監視するための監視窓が必要であ
り、その監視窓には例えば第４図（Ａ）（Ｂ）に示され
るように構成されたものがある。　その監視窓は、真空
槽１に通ずる通路２を含みその真空槽１に連設された監
視窓箱体３と、真空槽１に通ずる通路２に対応する半径
方向部分に円周方向に所定の間隔を１いて複数のスリッ
ト４ａが設けられ監視窓箱体３にスリット円板駆動用電
動機５により高速回転可能に支持されたスリット円板４
と、真空槽１に通ずる通路２と実質的に整列され監視窓
箱体３の真空槽１と反対側の端部に取り付けられた監視
窓ガラス６とを有するものである６ 上述のスリット円板４に設けられた複数のスリブ）４ａ
は２〜３ＩＩＩＩ１１程度のスリット幅を有するもので
、真空槽１から監視窓ガラス６に飛来する金属蒸気の大
部分をスリット円板４により捕捉するとともに、スリッ
ト円板４が高速回転しているときは、真空槽１の内部の
状態が監視窓ガラス６からスリット円板４のスリット４
ａを通して覗けて監視できるようになっているものであ
る。

［発明が解決しようとする課題］ ところが第４図（Ａ）（Ｂ）に示されるような従来の金
属蒸気が発生する装置の監視窓は、スリット４ａを通っ
て来る金属蒸気の付着により監視窓ガラス６が作業の状
況により僅か１時間位で曇ってしまうことがあり、実用
プロセスレベルで使用することは不可能であった。又ス
リット幅あるいはスリットの数を減じることで監視窓ガ
ラス６に来る金属蒸気の量を減らすことは可能であるが
、この場合監視窓ガラスに到達する光量が不足すること
になってしまう。

し課題を解決するための手段〕 本発明は上述の問題を解決するためになされたものであ
り、第４図（Ａ）（Ｂ）に示される従来の構造の金属蒸
気が発生する装置の監視窓において、スリット円板と監
視窓ガラスとの間にスリット円板と実質的に同一直径を
有する透明円板が回転可能に介装されていることを特徴
とする監視窓を提供しようとするものである。

［実施例］ 以下本発明による金属蒸気が発生する装置の監視窓の実
施例について第１図〜第３図を参照して説明する。

第１図〜第３図において第４図と共通の部分については
同一符号によって示し、その部分の説明は省略する。

第１図には第１実施例が示され、スリット円板４と監視
窓ガラス６との間にスリット円板４と実質的に同一直径
を有する透明円板１１が透明円板駆動用電動機１２によ
り回転可能に介装されている。

第２図には第２実施例が示され、スリット円板４と監視
窓ガラス６との間にスリット円板４と実質的に同一直径
を有する透明円板１３がスリット円板駆動用電動機５に
連設された減速ギヤ装置１４により回転可能に介装され
ている。

第３図には第３実施例が示され、スリット円板４と監視
窓ガラス６との間にスリット円板４と実質的に同一直径
を有する透明円板１５が手動により回転可能に介装され
ている。

次に本発明による監視窓の透明円板１１．１３．１５の
作用について説明する。

従来の第４図（Ａ）（Ｂ）に示されているように、真空
槽１に通ずる通路２を含む監視窓箱体３にスリット円板
４が高速回転可能に支持され、真空槽１と反対側の端部
に監視窓ガラス６が取り付けられているものは、真空槽
１に通ずる通路２からスリット円板４のスリット４ａを
通して監視窓ガラス６に達する金属蒸気の付着量は真空
槽１に通ずる通路２の断面積に比例するが、本発明の第
１図〜第３図に示されるように、スリット円板４と監視
窓ガラス６との間に透明円板１１．１３．１５が介装さ
れているものは、真空槽１に通ずる通路２からスリット
円板４のスリット４ａを通して透明円板１１１．１３．
１５に達する金属蒸気の付着量は透明円板の環状ドーナ
ツ部分の面積に対する通路２の断面積の割合に比例する
。

言い換えれば、第１図に示すように、監視窓ガラス６の
直径をｄ、透明円板１１の環状ドーナツ部分の内径をＲ
で表せば、従来の監視窓ガラス６に対する本発明による
透明円板１１の寿命は、π　＋　　（ｄ＋Ｒ”−Ｒ”　
　＝　４　　（ｄ２＋２ｄＲ）πｄ２／４　　　　　　
　　　　　　６２倍となる。例えば　Ｒ＝ｄ　　となる
ようにすれば透明円板１１の寿命は１２倍になり、実用
プロセスレベルの時間まで寿命を延長させることができ
る。

但し、監視窓の監視窓ガラス６に到達する光量について
は、本発明のように透明円板１１．１３．１５を監視窓
ガラス６の前方に置いたものは、その透明円板が回るだ
けで、その透明円板を通過する光量は減少することはな
い。

［発明の効果］ 本発明による金属蒸気が発生する装置の監視窓は、上述
のようにスリット円板と監視窓ガラスとの間に透明円板
を介装するようにしたので、真空槽からの金属蒸気は透
明円板に遮断されて監視窓ガラスへの金属蒸気の付着が
なくなり、監視窓ガラス及び透明円板の手入れ又は交換
回数が少なくてすむという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による監視窓の第１実施例の断面側面図
、 第２図は本発明による監視窓の第２実施例の断面側面図
、 第３図は本発明による監視窓の第３実施例の断面側面図
、 第４図（Ａ）は従来の監視窓の断面側面図、第４図（Ｂ
）は第４図（Ａ）の監視窓に含まれるスリット円板の右
正面図である。 　ａ 真空槽 通、路 監視窓箱体 スリット円板 スリット スリット円板駆動用電動機 監視窓ガラス 透明円板 透明円板駆動用電動機 透明円板 減速ギヤ装置 透明円板 第１図 代理人　弁理士　後　藤　武　夫 °代理人　弁理士　斎　藤　春　弥 代理人　弁理士　藤　本　　　礒 １２　図 （Ａ） 箆 図 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽に通ずる通路を含みその真空槽に連設された
   監視窓箱体と、前記真空槽に通ずる通路に対応する半径
   方向部分に円周方向に所定の間隔を置いて複数のスリッ
   トが設けられ前記監視窓箱体にスリット円板駆動用電動
   機により高速回転可能に支持されたスリット円板と、前
   記真空槽に通ずる通路と実質的に整列され前記監視窓箱
   体の前記真空槽と反対側の端部に取り付けられた監視窓
   ガラスとを有する金属蒸気が発生する装置の監視窓にお
   いて、前記スリット円板と前記監視窓ガラスとの間に前
   記スリット円板と実質的に同一直径を有する透明円板が
   回転可能に介装されていることを特徴とする金属蒸気が
   発生する装置の監視窓。 ２、前記透明円板は透明円板駆動用電動機により回転可
   能になつている請求項１記載の金属蒸気が発生する装置
   の監視窓。 ３、前記透明円板はスリット円板駆動用電動機に連設さ
   れた減速ギヤ装置により回転可能になっている請求項１
   記載の金属蒸気が発生する装置の監視窓。 ４、前記透明円板は手動により回転可能になっている請
   求項１記載の金属蒸気が発生する装置の監視窓。