JPH02149759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02149759U JPH02149759U JP5833989U JP5833989U JPH02149759U JP H02149759 U JPH02149759 U JP H02149759U JP 5833989 U JP5833989 U JP 5833989U JP 5833989 U JP5833989 U JP 5833989U JP H02149759 U JPH02149759 U JP H02149759U
- Authority
- JP
- Japan
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- processing object
- forming apparatus
- opening
- film forming
- holder
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る成膜装置の全
体構成を示す概略図、第２図は第１図に円で囲ん
だ部分の拡大図、第３図は同実施例の被処理体保
持具と保持具カバーとの取付状態を示す一部斜視
図、第４図は従来の成膜装置の全体構成を示す大
略図である。 １……チヤンバ、２……被処理体（半導体ウエ
ーハ）、３……被処理体保持具、３ａ……開口、
１２……保持具カバー、１２ａ……開口部。
体構成を示す概略図、第２図は第１図に円で囲ん
だ部分の拡大図、第３図は同実施例の被処理体保
持具と保持具カバーとの取付状態を示す一部斜視
図、第４図は従来の成膜装置の全体構成を示す大
略図である。 １……チヤンバ、２……被処理体（半導体ウエ
ーハ）、３……被処理体保持具、３ａ……開口、
１２……保持具カバー、１２ａ……開口部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 チヤンバ内に、開口内に被処理体を保持する被
処理体保持具を設けてなる成膜装置において、 上記被処理体保持具に該保持具の開口を塞がな
いで、かつ着脱自在のセラミツク製保持具カバー
を嵌着したことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5833989U JPH02149759U (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5833989U JPH02149759U (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149759U true JPH02149759U (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=31583859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5833989U Pending JPH02149759U (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02149759U (ja) |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP5833989U patent/JPH02149759U/ja active Pending