JPH02149770U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02149770U JPH02149770U JP5730989U JP5730989U JPH02149770U JP H02149770 U JPH02149770 U JP H02149770U JP 5730989 U JP5730989 U JP 5730989U JP 5730989 U JP5730989 U JP 5730989U JP H02149770 U JPH02149770 U JP H02149770U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- diamond thin
- fire
- atmosphere
- ports
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第1図は本実施例の発明図、第2図は他の実施
例の説明図、第3図は火炎の説明図、第4図a〜
dは従来のトーチの説明図である。 A,B……ガスバーナー、1a,1b……4火
口、3……O2及びC2H2の供給口。
例の説明図、第3図は火炎の説明図、第4図a〜
dは従来のトーチの説明図である。 A,B……ガスバーナー、1a,1b……4火
口、3……O2及びC2H2の供給口。
Claims (1)
- C2H2の火災を使用して、大気中にてガスバ
ーナーにて金属又はシリコンよりなる基板の表面
にダイヤモンドの薄膜を形成する装置に於いて、
前記ガスバーナーの火炎口を並列に配置し、かつ
O2及びC2H2の供給口を設けたダイヤモンド
薄膜の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5730989U JPH02149770U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5730989U JPH02149770U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149770U true JPH02149770U (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=31581896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5730989U Pending JPH02149770U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02149770U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009227552A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Akita Univ | 高純度アセチレンガスを用いた燃焼炎法によるダイヤモンド皮膜合成方法 |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP5730989U patent/JPH02149770U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009227552A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Akita Univ | 高純度アセチレンガスを用いた燃焼炎法によるダイヤモンド皮膜合成方法 |