JPH02150739A - 分光々度計 - Google Patents

分光々度計

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JPH02150739A
JPH02150739A JP30414288A JP30414288A JPH02150739A JP H02150739 A JPH02150739 A JP H02150739A JP 30414288 A JP30414288 A JP 30414288A JP 30414288 A JP30414288 A JP 30414288A JP H02150739 A JPH02150739 A JP H02150739A
Authority
JP
Japan
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mirror
subject
transmittance
optical path
path difference
Prior art date
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Pending
Application number
JP30414288A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeo Murakoshi
村越 武雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、双眼鏡ビデオカメラ等のように入射光と出射
光に光路差のある被検体の透過率測定に関する。
〔従来の技術〕
この種の装置は、第1図に示すようにレーザ光源30な
どを用い特定波長での相対透過率、光路差分だけ検知器
31の位置を、その都度移動する方法さらに光ファイバ
ーによる方法がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記技術は、レーザ光のため全域の連続透過率が測定で
きないこと、検知器31を移動す、る方式では、検知器
31の大きさにより移動距離Qの制限や、検知器31の
信号コードを長くするためノイズの発生、さらに検知器
移動による受光面の再現不良など、安定面からの欠点が
あった。
本発明の目的は、任意の光路差を有する被検体の透過率
をベースライン補正する時と同一光学素子を用い1条件
を同一にし、透過率を測定できるようにしたことにある
。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、第2図に示す如く複数枚のミラー7〜8を
用いΩ形光学系を組み、ベースライン補正を行なう。被
検体13の測定のときは、第3図のように被検体13の
入射側のミラー8を移動し。
被検体13に入射光を入れる。このときは被検体の出射
側はベースライン補正時のミラー9の位置に合わせる。
逆の方法即ち第4図のように被検体13の出射側のミラ
ー9を移動して出射光に合せる。このときは被検体の入
射側はベースライン補正時のミラー8の位置に合せる方
法でもよい。
このようにして被検体測定の光学系を組ことによって光
路差を有する被検体の透過率を正確に測定することがで
きる。
〔作用〕
移動可能にした複数ミラーを被検体の光路差に応じて任
意の位置に移動できるので被検体の光路差がどのよう大
きくても被検体の透過率を測定できる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第5図〜第7図により説明す
る。第5図は本発明を実施した装置の光学系統図を示し
たもので1は光源、2は白色光を単色光に分光する分光
器を示す、3は分光器より出射した対照光と試料光を試
料に照射するために導くトロイダルミラー、4は平面ミ
ラーを示す、6は本発明の光路差を有する被検体を測定
するホールダ部で7は第1ミラー、8は第2ミラー9は
第3ミラー10は第4ミラーで第1ミラー7は移動でき
る。なお、第5図はベースライン補正時の光学系を示す
。11は積分球、12は、Wi化アルミニュムを圧縮成
形した白板で光を散乱する。26は検知器で積分球11
の一部に取り付けて積分球11内で複反対した光を電気
信号に変換する。
第6図は双II!鏡の透過率測定装置に応用した例で第
5図と同じ部品は同一記号を用いている。
14.16はミラー8が取り付いているミラーホールダ
15を移動するガイドでガイド16にはその移動量が触
るように目盛21が付いている。
17はミラーをホールドするミラーホールダ、18はミ
ラー9をホールドするミラーホールダで本実施例では固
定ミラーホールダとして使用しているが、ミラーホーシ
ダ15同様に移動も可能である。
19はミラーホールダでミラー1oを取付けている。
20は集光レンズでミラー10の光を集光し積分球11
の白板12に照射させる。
この様な構成なので光路差を有する双眼鏡は、次の手順
で測定できる。
ベースライン補正時はミラー8を目盛板21の0点に合
せ、第5図の光学系の状態で補正する。
このとき被検体である双眼鏡25は取外しておく。
次にミラー7.9.10の位置を変えないで双rfA鏡
を取付ミラー8の位置を被検体である双IIl鏡25の
入射口22に光が照射するようにミラー8の位置を調整
する。
この状態で透過率を測定するとベースライン補正時のミ
ラー7.8,9.10は被検体である双眼鏡25の測定
光路にそのまま入っているので各ミラーによる反射損失
はキャンセルし双眼鏡のみの透過率を正確に安定性よく
測定できる。
〔発明の効果〕
本発明によれば入射と出射に光路差を有する被検体の透
過率を分光器の有する全波長域で安定性良く正確に測定
できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の装置を示す図、第2図は本発明の基本光
学系でベースライン補正時の系統図、第3図は光路差を
有する被検体の測定光学系統図、第4図は別の光路差を
有する被検体の測定光学系統図、第5図は本発明の一実
施例の光学系統図、第6図は本発明の一実施例の平面図
、第7図は第6図のミラー移動部の断面図である。 7.8,9.10・・・ミラー、11・・・積分球、1
3・・・被検体、14.16・・・ガイド、21・・・
目盛、25・・・双眼鏡、26・・・検出器。 第 因 第 図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光路差を有する被検体に分光した可変可能な単色光
    を照射し透過率を測定する装置において複数のミラーを
    用いベースライン補正時と被検体測定時の光学素子の配
    列枚数を同数になるようにして透過率測定ができること
    を特徴とする分光々度計。 2、特許請求の範囲第1項において、被検体の光路差に
    応じ、配列ミラーの位置を任意に可変できるようにした
    ことを特徴とする分光々度計。
JP30414288A 1988-12-02 1988-12-02 分光々度計 Pending JPH02150739A (ja)

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JP30414288A JPH02150739A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 分光々度計

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JP30414288A JPH02150739A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 分光々度計

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JPH02150739A true JPH02150739A (ja) 1990-06-11

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ID=17929551

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JP30414288A Pending JPH02150739A (ja) 1988-12-02 1988-12-02 分光々度計

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103345129A (zh) * 2013-07-04 2013-10-09 中国科学院光电技术研究所 一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103345129A (zh) * 2013-07-04 2013-10-09 中国科学院光电技术研究所 一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法
CN103345129B (zh) * 2013-07-04 2015-04-22 中国科学院光电技术研究所 一种光刻机中照明全系统及各组件透过率的测量方法

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