JPH02154156A - 電子回路の測定装置 - Google Patents
電子回路の測定装置Info
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- JPH02154156A JPH02154156A JP30803788A JP30803788A JPH02154156A JP H02154156 A JPH02154156 A JP H02154156A JP 30803788 A JP30803788 A JP 30803788A JP 30803788 A JP30803788 A JP 30803788A JP H02154156 A JPH02154156 A JP H02154156A
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 53
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子回路の電気特性を、精度よ（測定するた
めの電子回路の測定装置に関するものである。
めの電子回路の測定装置に関するものである。
従来の技術
近年、半導体装置に代表されるように電子回路の微細化
、ｖＩｌ小化が進んでおり、それに対応する電気特性の
測定方法が必要となってきている。
、ｖＩｌ小化が進んでおり、それに対応する電気特性の
測定方法が必要となってきている。
以下に従来の電子回路の測定装置について説明する。
第２図に従来の微小電子回路の測定装置の構成を示す。
１は電子回路の測定装置本体く以下測定装置本体と略記
）、２は測定装置本体１に内蔵される可変電圧源、３は
可変電圧源、４は電流計、５は電圧計、６は電流印加、
電圧印加を切り換えるスイッチである。７は測定装置本
体１からの電圧および電流の信号を測定端子９へ印加す
るためのケーブル（以下印加ケーブルと略記）、８は測
定端子９が検出した電圧を測定装置本体１に伝えるため
のケーブル（以下計測ケーブルと略記）、９は被測定端
子１０に接触する測定端子である。
）、２は測定装置本体１に内蔵される可変電圧源、３は
可変電圧源、４は電流計、５は電圧計、６は電流印加、
電圧印加を切り換えるスイッチである。７は測定装置本
体１からの電圧および電流の信号を測定端子９へ印加す
るためのケーブル（以下印加ケーブルと略記）、８は測
定端子９が検出した電圧を測定装置本体１に伝えるため
のケーブル（以下計測ケーブルと略記）、９は被測定端
子１０に接触する測定端子である。
１０は測定端子９に接触される被測定端子である。１１
は被測定回路となる電子回路である。
は被測定回路となる電子回路である。
以上のように構成された、電子回路の測定装置について
、以下その動作を説明する。
、以下その動作を説明する。
まず、測定装置本体１より、スイッチ６により、電圧印
加、電流印加を切り換えた後、可変電圧源２もしくは、
可変電流源３および電流計４から、電子回路の測定に必
要な電圧及び電流の信号を、印加ケーブル７を通し測定
端子９に加え、被測定端子１０に印加する。そして被測
定回路１１に発生した電圧を、被測定端子１０、測定端
子９および計測ケーブル８を通し、測定装置本体１の電
圧計５で計測する。その際印加ケーブル７および測定端
子９に流れる電流により発生する電圧降下による誤差の
影響を電圧計５にあたえない様に計測ケーブル８はでき
るだけ被測定端子１０の近くに接続する。
加、電流印加を切り換えた後、可変電圧源２もしくは、
可変電流源３および電流計４から、電子回路の測定に必
要な電圧及び電流の信号を、印加ケーブル７を通し測定
端子９に加え、被測定端子１０に印加する。そして被測
定回路１１に発生した電圧を、被測定端子１０、測定端
子９および計測ケーブル８を通し、測定装置本体１の電
圧計５で計測する。その際印加ケーブル７および測定端
子９に流れる電流により発生する電圧降下による誤差の
影響を電圧計５にあたえない様に計測ケーブル８はでき
るだけ被測定端子１０の近くに接続する。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の従来の構成では、単一構造の端子
を使うため、測定端子９においては、印加ラインと計測
ラインの分離ができないため、測定端子９の内部抵抗お
よび回路の微細化に伴って増大している測定端子９と被
測定端子１０の間の接触抵抗の電圧降下による誤差につ
いては除けないという欠点を有していた。
を使うため、測定端子９においては、印加ラインと計測
ラインの分離ができないため、測定端子９の内部抵抗お
よび回路の微細化に伴って増大している測定端子９と被
測定端子１０の間の接触抵抗の電圧降下による誤差につ
いては除けないという欠点を有していた。
本発明の目的は上記の誤差をなくし、電気特性を精度よ
く測定し、かつ？Ｍ細化を高めた電子回路の測定装置を
提供することにある。
く測定し、かつ？Ｍ細化を高めた電子回路の測定装置を
提供することにある。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために１本発明の電子回路の測定装
置は、電圧および電流を印加する接点とは異なる接点に
て、電圧を測定するという測定端子を備えている。
置は、電圧および電流を印加する接点とは異なる接点に
て、電圧を測定するという測定端子を備えている。
作用
この構成によって、測定端子と被測定端子との接点で、
測定端子内部の印加ラインと計測ラインの分離ができる
ため、印加ラインにおける、測定端子の内部抵抗および
、測定端子と被測定端子との接触抵抗による電圧降下の
影響を受けずに、被測定端子に発生した電圧を計測ライ
ンにて測定することができるため、測定端子の微細度を
維持したまま、測定精度を向上することができる。
測定端子内部の印加ラインと計測ラインの分離ができる
ため、印加ラインにおける、測定端子の内部抵抗および
、測定端子と被測定端子との接触抵抗による電圧降下の
影響を受けずに、被測定端子に発生した電圧を計測ライ
ンにて測定することができるため、測定端子の微細度を
維持したまま、測定精度を向上することができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。第１図は本発明の一実施例における電子回路
の測定装置の構成を示すものである。
説明する。第１図は本発明の一実施例における電子回路
の測定装置の構成を示すものである。
第１図において、１２は電圧および電流の信号を印加す
るため、被測定端子ｌＯに接触する導電性の印加端子で
ある。１３は被測定端子１０に発生した電圧を計測する
ため、被測定端子１０に接触する計測端子である。１４
は印加端子１２と計測端子１３を、電気的に絶縁した状
態で物理的に接合するための絶縁層である。なお、１は
測定装置本体、７は印加ケーブル、８は計測ケーブル、
１０は被測定端子、１１は被測定回路で、これらは従来
例の構成と同じである。
るため、被測定端子ｌＯに接触する導電性の印加端子で
ある。１３は被測定端子１０に発生した電圧を計測する
ため、被測定端子１０に接触する計測端子である。１４
は印加端子１２と計測端子１３を、電気的に絶縁した状
態で物理的に接合するための絶縁層である。なお、１は
測定装置本体、７は印加ケーブル、８は計測ケーブル、
１０は被測定端子、１１は被測定回路で、これらは従来
例の構成と同じである。
以上のように構成された、本実施例の電子回路の測定装
置について、以下その動作を説明する。
置について、以下その動作を説明する。
まず、測定装置本体１より、電子回路の測定に必要な電
圧もしくは電流を印加ケーブル７を通し、印加端子１２
に印加し、被測定端子１０を通し、被測定回路１１へ印
加する。そして、被測定端子１０に発生した電圧を、計
測端子１３および計測ケーブル８を通し、測定装置本体
１で計測する。その際、測定端子を微小化するために、
印加端子１２と計測端子１３は、中間に電気的な絶縁層
１４を挟み込み接合された構造となっている。
圧もしくは電流を印加ケーブル７を通し、印加端子１２
に印加し、被測定端子１０を通し、被測定回路１１へ印
加する。そして、被測定端子１０に発生した電圧を、計
測端子１３および計測ケーブル８を通し、測定装置本体
１で計測する。その際、測定端子を微小化するために、
印加端子１２と計測端子１３は、中間に電気的な絶縁層
１４を挟み込み接合された構造となっている。
以上のように、本実施例によれば、測定端子と被測定端
子との接点で、印加ラインと計測ラインの分離ができる
ため、印加ラインにおける測定端子の内部抵抗および、
測定端子と被測定端子との接触抵抗による電圧降下の影
響を受けずに、被測定端子に発生した電圧を計測ライン
にて計測することができる。計測ラインでは電圧の測定
のみを行なうため、電流がほとんど流れず、計測端子の
内部抵抗および、計測端子と被測定端子との接触抵抗に
よる電圧降下による誤差は極めて少ない。
子との接点で、印加ラインと計測ラインの分離ができる
ため、印加ラインにおける測定端子の内部抵抗および、
測定端子と被測定端子との接触抵抗による電圧降下の影
響を受けずに、被測定端子に発生した電圧を計測ライン
にて計測することができる。計測ラインでは電圧の測定
のみを行なうため、電流がほとんど流れず、計測端子の
内部抵抗および、計測端子と被測定端子との接触抵抗に
よる電圧降下による誤差は極めて少ない。
発明の効果
本発明は、被測定回路に接触する測定端子において、印
加ラインと計測ラインを分離し、絶縁層を挟んで印加端
子と計測端子を接合することにより、微細化および高精
度化した、優れた電子回路の測定装置を実現できるもの
である。
加ラインと計測ラインを分離し、絶縁層を挟んで印加端
子と計測端子を接合することにより、微細化および高精
度化した、優れた電子回路の測定装置を実現できるもの
である。
第１図は本発明の一実施例における電子回路の測定装置
の構成図、第２図は従来の電子回路の測定装置の構成図
である。 ｌ・・・・・・測定装置本体、２・・・・・・可変電圧
源、３・・・・・・可変電流源、４・・・・・・電流計
、５・・・・・・電圧計、６・・・・・・印加モード切
り換えスイッチ、７・・・・・・印加ケーブル、８・・
・・・・計測ケーブル、９・・・・・・測定端子、１０
・・・・・・被測定端子、１１・・・・・・被測定回路
、１２・・・・・・印加端子、１３・・・・・・計測端
子、１４・・・・・・絶縁層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名（□よ
の構成図、第２図は従来の電子回路の測定装置の構成図
である。 ｌ・・・・・・測定装置本体、２・・・・・・可変電圧
源、３・・・・・・可変電流源、４・・・・・・電流計
、５・・・・・・電圧計、６・・・・・・印加モード切
り換えスイッチ、７・・・・・・印加ケーブル、８・・
・・・・計測ケーブル、９・・・・・・測定端子、１０
・・・・・・被測定端子、１１・・・・・・被測定回路
、１２・・・・・・印加端子、１３・・・・・・計測端
子、１４・・・・・・絶縁層。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名（□よ
Claims (1)
- 電圧および電流を被測定端子に印加する第１の接点と、
前記被測定端子と接触し電圧を測定する第２の接点とを
備え、前記第１の接点と第２の接点が絶縁物により分離
されて接合していることを特徴とする電子回路の測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30803788A JPH02154156A (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 電子回路の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30803788A JPH02154156A (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 電子回路の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02154156A true JPH02154156A (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=17976128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30803788A Pending JPH02154156A (ja) | 1988-12-06 | 1988-12-06 | 電子回路の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02154156A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242204A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Nippon Chemicon Corp | コンデンサの直流抵抗測定方法及びその装置 |
-
1988
- 1988-12-06 JP JP30803788A patent/JPH02154156A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001242204A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Nippon Chemicon Corp | コンデンサの直流抵抗測定方法及びその装置 |
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