JPH02155607A - Ceramic green sheet lamination method - Google Patents
Ceramic green sheet lamination methodInfo
- Publication number
- JPH02155607A JPH02155607A JP63309475A JP30947588A JPH02155607A JP H02155607 A JPH02155607 A JP H02155607A JP 63309475 A JP63309475 A JP 63309475A JP 30947588 A JP30947588 A JP 30947588A JP H02155607 A JPH02155607 A JP H02155607A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- green sheet
- support plate
- work table
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、セラミックグリーンシートを積層し、電極形
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention aims at unmanned operation through automation in the electronic industry field, where ceramic green sheets are laminated, processed to form electrodes, and fired to produce ceramics. This invention relates to a method for laminating ceramic green sheets.
従来の技術
従来の一般的なセラミックグリーンシートの積層方法は
、真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーン
シートを、真空を切り排圧をかけることにより置くとい
う積層方法であった。BACKGROUND OF THE INVENTION A conventional general method for laminating ceramic green sheets was a method in which the ceramic green sheets were attracted to a suction plate by vacuum force and placed thereon by turning off the vacuum and applying exhaust pressure.
発明が解決しようとする課題
しかし、排圧のみによる積層方法では、極めて薄いセラ
ミックグリーンシート(例えば厚さ16μm)や、静電
気を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折
れが発生し安定して積層することができず、無人化及び
高速化の欠点となっていた。Problems to be Solved by the Invention However, with the lamination method using only exhaust pressure, extremely thin ceramic green sheets (for example, 16 μm thick) or ceramic green sheets that are charged with static electricity may wrinkle or fold, making it difficult to stably laminate them. This is a disadvantage of unmanned and high-speed systems.
本発明は、上記問題点を解決するもので、シワや折れを
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。The present invention solves the above problems and provides a method for laminating ceramic green sheets without causing wrinkles or folds.
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明のセラミックグリーン
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the method of laminating ceramic green sheets of the present invention involves directly pasting pre-cut ceramic green sheets on a support plate, or pasting them on a support plate. In this method, a voltage is applied between the ceramic green sheet and the support plate to which the ceramic green sheet is attached when laminating the ceramic green sheet a predetermined number of times.
作用 この技術的手段による作用は次のようになる。action The effect of this technical means is as follows.
吸着板に吸薄されたセラミックグリーンシートをワーク
テーブル上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ
電源から例えばθの電圧を与える。At the moment when the ceramic green sheets that have been thinly absorbed by the suction plate are laminated onto the support plate on the work table, a voltage of, for example, θ is applied from the power source to the work table.
これと同時に吸着板へは排圧を与える。At the same time, exhaust pressure is applied to the suction plate.
すなわち、セラミックグリーンシートが帯びている静電
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。In other words, by applying a voltage opposite to the static electricity charged on the ceramic green sheet to the work table,
The purpose is to obtain adhesion.
この方式により、排圧のみではシワ、折れを発生させず
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。With this method, it is possible to stably laminate ceramic green sheets that cannot be stacked stably without wrinkles or folds using exhaust pressure alone.
実施例
以下本発明の一実施例について添付図面にもとづいて説
明する。EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described based on the accompanying drawings.
第1図において、7はスライドシャフトで、スライドベ
アリング8を介して取付ペース16に取り付けられてお
り、このスライドシャフト7は中空軸となっており、エ
アー、真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト7にはステー6が設けられている。In FIG. 1, a slide shaft 7 is attached to the mounting plate 16 via a slide bearing 8. This slide shaft 7 has a hollow shaft and supplies air and vacuum. Further, this slide shaft 7 is provided with a stay 6.
また、チャンバー12は、スライドシャフト了及び、エ
アーシリンダー支え10とエアーシリンダー9.ジヨイ
ント11により上下に動作するようになっている。The chamber 12 also includes a slide shaft, an air cylinder support 10, and an air cylinder 9. A joint 11 allows it to move up and down.
吸着板14は、第2図に示すような0,111Mの直径
の多数の孔が千鳥にピッチ0.2flで設けられた平板
であり、多数の孔を有する絶縁板13を介してチャンバ
ー12に取り付けられている。セラミックグリーンシー
ト18は、真空力により吸着板14に吸着される。The suction plate 14 is a flat plate in which a large number of holes with a diameter of 0.111 M are provided in a staggered manner at a pitch of 0.2 fl as shown in FIG. installed. The ceramic green sheet 18 is attracted to the attraction plate 14 by vacuum force.
次に、ワークテーブル3は、多数の孔が設けられた平板
であり、絶縁板2を介してテーブル支え1に取り付けら
れている。Next, the work table 3 is a flat plate provided with a large number of holes, and is attached to the table support 1 via an insulating plate 2.
絶縁板2には真空室が設けられており、支持板16はワ
ークテーブル3に設けられた多孔により吸着保持される
。A vacuum chamber is provided in the insulating plate 2, and the support plate 16 is held by suction through the porous holes provided in the work table 3.
電源6ば、■θの切り替えができるようになっており、
ケーブル4によりワークテーブル3に接続されており、
ワークテーブル3に保持された支持板16へ電圧を与え
るようになっている。以上のように溝成されたセラミッ
クグリーンシートの積層方法につりへて以下その動作を
説明する。It is possible to switch between power supply 6 and ■θ.
It is connected to the work table 3 by a cable 4,
A voltage is applied to the support plate 16 held on the work table 3. The operation of the method for laminating the grooved ceramic green sheets as described above will be explained below.
第1図においてセラミックグリーンシート18を吸着し
た吸着板14は、シリンダー9の作動により支持板16
または支持板16上のグリーンシート17の位置まで下
降する、ワークテーブル3に保持された支持板16はワ
ークテーブル3を介し1〜数KVの電圧が与えられる。As shown in FIG.
Alternatively, the support plate 16 held by the work table 3, which is lowered to the position of the green sheet 17 on the support plate 16, is applied with a voltage of 1 to several KV via the work table 3.
次に、吸着板14はシリンダー9により上昇し、供給し
ていたエアー、及びワークテーブル3を介してワークへ
与えていた電圧を止める。Next, the suction plate 14 is raised by the cylinder 9, and the supplied air and the voltage applied to the work via the work table 3 are stopped.
これにより、セラミックグリーンシート8のシワ、折れ
を発生させずに積層することができる。Thereby, the ceramic green sheets 8 can be stacked without causing wrinkles or folds.
次に本発明の他の実施例について説明する。Next, other embodiments of the present invention will be described.
前記電圧を与えるタイミングは、常時与えても、またタ
イミングを変えても同様の効果が得られる。The same effect can be obtained even if the voltage is applied at all times or by changing the timing.
また−ワークテーブル3へ電圧を与えず、吸着板14へ
電圧を与えても同様の効果を得ることができる。Further, the same effect can be obtained even if voltage is applied to the suction plate 14 without applying voltage to the work table 3.
発明の効果
以上の、ように本発明によれば、セラミックグリーンシ
ートを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、
セラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善する
ことができる。In addition to the effects of the invention, the present invention enables unmanned machines for laminating and processing ceramic green sheets.
Lamination defects of ceramic green sheets can be significantly improved.
第1図は本発明の一実施例におけるシートの積層方法を
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第2図は吸着板の詳細図である。
2・・・・・・絶縁板、3・・・・・・ワークテーブル
、6・川・・電源、12・・・・・・チャンバー、13
・・・・・・絶縁板、14・・・・・・吸着板−16・
・・・・・支持板。
代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか1名!′
−テーブル叉二
Z、 /3−づ色#に板
3− ワークテープIし
4・−ケーブル
5−tV。
6−スチー
7゛−°スライドシイフト
If−゛シ百インF
12゛テマンバー
74−一吸J坂
15−取付へ゛−スFIG. 1 is a partially sectional front view showing a suction head section and a table section showing a sheet stacking method in an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a detailed view of the suction plate. 2...Insulation plate, 3...Work table, 6. River...Power supply, 12...Chamber, 13
...Insulating plate, 14...Adsorption plate-16.
...Support plate. Name of agent: Patent attorney Shigetaka Awano and 1 other person! ′
- Table fork 2 Z, / 3 - Colored board 3 - Work tape I and 4 - Cable 5 - tV. 6-Shi 7゛-°Slide shift If-゛100-in F 12゛Temperman bar 74-One-stroke J slope 15-Installation location
Claims (1)
板に直接貼りつけるか、又は支持板に貼りつけられてい
るセラミックグリーンシート上に貼りつけて所定数くり
返し積層するに当り、セラミックグリーンシートとそれ
を貼りつける支持板との間に電圧を印加することを特徴
としたセラミックグリーンシートの積層方法。When pasting pre-cut ceramic green sheets directly onto a support plate or pasting them onto a ceramic green sheet pasted on a support plate and stacking them a predetermined number of times, the ceramic green sheets and the support to which they are pasted are stacked. A ceramic green sheet lamination method characterized by applying a voltage between the plates.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (en) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | How to stack ceramic green sheets |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (en) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | How to stack ceramic green sheets |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02155607A true JPH02155607A (en) | 1990-06-14 |
| JPH0673850B2 JPH0673850B2 (en) | 1994-09-21 |
Family
ID=17993433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30947588A Expired - Fee Related JPH0673850B2 (en) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | How to stack ceramic green sheets |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673850B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246716A (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tdk Corp | Method for laminating ceramic green sheets and method for producing laminated electronic components |
| JP2014186830A (en) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toyota Boshoku Corp | Method for placing sheet and method for manufacturing laminated battery |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30947588A patent/JPH0673850B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246716A (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tdk Corp | Method for laminating ceramic green sheets and method for producing laminated electronic components |
| JP2014186830A (en) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toyota Boshoku Corp | Method for placing sheet and method for manufacturing laminated battery |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673850B2 (en) | 1994-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2011001978A1 (en) | Electrostatic attracting structure and fabricating method therefor | |
| CA2174515C (en) | Piezoelectric vibrator for ultrasonic motor, process for producing the same, method of mounting piezoelectric vibrator and ultrasonic motor | |
| EP1096521A3 (en) | Electric double layer capacitor | |
| CN115249639A (en) | Electrostatic chuck and preparation method thereof | |
| JPH02155607A (en) | Ceramic green sheet lamination method | |
| JP2002273719A (en) | Apparatus and method for laminating green sheet and method for manufacturing laminated ceramic electronic part | |
| JP7194149B2 (en) | Stacking device | |
| JPH01120795U (en) | ||
| JP4853659B2 (en) | Method for laminating ceramic green sheets and method for producing laminated electronic components | |
| JPS5988816A (en) | Method of producing laminated ceramic part | |
| JPH0256802B2 (en) | ||
| JP4371261B2 (en) | Ceramic green sheet crimping device | |
| JP3404462B2 (en) | Sheet peeling device | |
| JP2025002016A (en) | Manufacturing apparatus of electronic component and manufacturing method of electronic component | |
| JP2025002398A (en) | Manufacturing apparatus for electronic components and manufacturing method for electronic components | |
| JPH106289A (en) | Ceramic green sheet cutting/laminating method | |
| JPH06210773A (en) | Single facer | |
| JP2006021362A (en) | Laminator and green sheet laminating method | |
| JPS6221565A (en) | Support base for recording sheet | |
| JPH06255880A (en) | Method and device for separating carrier film of ceramic green sheet | |
| JPH04255244A (en) | Piezoelectric stage | |
| JPS5669994A (en) | Diaphragm for audio loudspeaker | |
| JP2655440B2 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for multilayer ceramic component | |
| JP2005108571A (en) | Method and apparatus for overlaying electrode film and solid polymer film. | |
| JP3885421B2 (en) | Piezoelectric transducer and manufacturing method thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |