JPH02155607A - セラミックグリーンシートの積層方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの積層方法Info
- Publication number
- JPH02155607A JPH02155607A JP63309475A JP30947588A JPH02155607A JP H02155607 A JPH02155607 A JP H02155607A JP 63309475 A JP63309475 A JP 63309475A JP 30947588 A JP30947588 A JP 30947588A JP H02155607 A JPH02155607 A JP H02155607A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- green sheet
- support plate
- work table
- voltage
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、セラミックグリーンシートを積層し、電極形
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。
成等の加工を行い、焼成することによってセラミックと
なる電子産業分野において、自動化による無人化を指向
するセラミックグリーンシートの積層方法に関する。
従来の技術
従来の一般的なセラミックグリーンシートの積層方法は
、真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーン
シートを、真空を切り排圧をかけることにより置くとい
う積層方法であった。
、真空力により吸着板に吸着されたセラミックグリーン
シートを、真空を切り排圧をかけることにより置くとい
う積層方法であった。
発明が解決しようとする課題
しかし、排圧のみによる積層方法では、極めて薄いセラ
ミックグリーンシート（例えば厚さ１６μｍ）や、静電
気を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折
れが発生し安定して積層することができず、無人化及び
高速化の欠点となっていた。
ミックグリーンシート（例えば厚さ１６μｍ）や、静電
気を帯びているセラミックグリーンシートは、シワや折
れが発生し安定して積層することができず、無人化及び
高速化の欠点となっていた。
本発明は、上記問題点を解決するもので、シワや折れを
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。
発生させずに、セラミックグリーンシートを積層する方
法を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明のセラミックグリーン
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。
シートの積層方法は、あらかじめ切断されたセラミック
グリーンシートを支持板に直接貼りつけるか、又は支持
板に貼りつけられているセラミックグリーンシート上に
貼りつけて所定数くり返し積層するに当り、セラミック
グリーンシートとそれを貼りつける支持板との間に電圧
を印加する方法としたものである。
作用
この技術的手段による作用は次のようになる。
吸着板に吸薄されたセラミックグリーンシートをワーク
テーブル上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ
電源から例えばθの電圧を与える。
テーブル上の支持板へ積層する瞬間にワークテーブルへ
電源から例えばθの電圧を与える。
これと同時に吸着板へは排圧を与える。
すなわち、セラミックグリーンシートが帯びている静電
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。
気と反対の電圧をワークテーブルへ与えることにより、
付着力を得ようとするものである。
この方式により、排圧のみではシワ、折れを発生させず
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。
安定して積層することのできないセラミックグリーンシ
ートでも安定して積層できることになる。
実施例
以下本発明の一実施例について添付図面にもとづいて説
明する。
明する。
第１図において、７はスライドシャフトで、スライドベ
アリング８を介して取付ペース１６に取り付けられてお
り、このスライドシャフト７は中空軸となっており、エ
アー、真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト７にはステー６が設けられている。
アリング８を介して取付ペース１６に取り付けられてお
り、このスライドシャフト７は中空軸となっており、エ
アー、真空の供給を行っている。また、このスライドシ
ャフト７にはステー６が設けられている。
また、チャンバー１２は、スライドシャフト了及び、エ
アーシリンダー支え１０とエアーシリンダー９．ジヨイ
ント１１により上下に動作するようになっている。
アーシリンダー支え１０とエアーシリンダー９．ジヨイ
ント１１により上下に動作するようになっている。
吸着板１４は、第２図に示すような０，１１１Ｍの直径
の多数の孔が千鳥にピッチ０．２ｆｌで設けられた平板
であり、多数の孔を有する絶縁板１３を介してチャンバ
ー１２に取り付けられている。セラミックグリーンシー
ト１８は、真空力により吸着板１４に吸着される。
の多数の孔が千鳥にピッチ０．２ｆｌで設けられた平板
であり、多数の孔を有する絶縁板１３を介してチャンバ
ー１２に取り付けられている。セラミックグリーンシー
ト１８は、真空力により吸着板１４に吸着される。
次に、ワークテーブル３は、多数の孔が設けられた平板
であり、絶縁板２を介してテーブル支え１に取り付けら
れている。
であり、絶縁板２を介してテーブル支え１に取り付けら
れている。
絶縁板２には真空室が設けられており、支持板１６はワ
ークテーブル３に設けられた多孔により吸着保持される
。
ークテーブル３に設けられた多孔により吸着保持される
。
電源６ば、■θの切り替えができるようになっており、
ケーブル４によりワークテーブル３に接続されており、
ワークテーブル３に保持された支持板１６へ電圧を与え
るようになっている。以上のように溝成されたセラミッ
クグリーンシートの積層方法につりへて以下その動作を
説明する。
ケーブル４によりワークテーブル３に接続されており、
ワークテーブル３に保持された支持板１６へ電圧を与え
るようになっている。以上のように溝成されたセラミッ
クグリーンシートの積層方法につりへて以下その動作を
説明する。
第１図においてセラミックグリーンシート１８を吸着し
た吸着板１４は、シリンダー９の作動により支持板１６
または支持板１６上のグリーンシート１７の位置まで下
降する、ワークテーブル３に保持された支持板１６はワ
ークテーブル３を介し１〜数ＫＶの電圧が与えられる。
た吸着板１４は、シリンダー９の作動により支持板１６
または支持板１６上のグリーンシート１７の位置まで下
降する、ワークテーブル３に保持された支持板１６はワ
ークテーブル３を介し１〜数ＫＶの電圧が与えられる。
次に、吸着板１４はシリンダー９により上昇し、供給し
ていたエアー、及びワークテーブル３を介してワークへ
与えていた電圧を止める。
ていたエアー、及びワークテーブル３を介してワークへ
与えていた電圧を止める。
これにより、セラミックグリーンシート８のシワ、折れ
を発生させずに積層することができる。
を発生させずに積層することができる。
次に本発明の他の実施例について説明する。
前記電圧を与えるタイミングは、常時与えても、またタ
イミングを変えても同様の効果が得られる。
イミングを変えても同様の効果が得られる。
また−ワークテーブル３へ電圧を与えず、吸着板１４へ
電圧を与えても同様の効果を得ることができる。
電圧を与えても同様の効果を得ることができる。
発明の効果
以上の、ように本発明によれば、セラミックグリーンシ
ートを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、
セラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善する
ことができる。
ートを積層し、加工する機械の無人化指向を可能にし、
セラミックグリーンシートの積層不良を大幅に改善する
ことができる。
第１図は本発明の一実施例におけるシートの積層方法を
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第２図は吸着板の詳細図である。 ２・・・・・・絶縁板、３・・・・・・ワークテーブル
、６・川・・電源、１２・・・・・・チャンバー、１３
・・・・・・絶縁板、１４・・・・・・吸着板−１６・
・・・・・支持板。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名！′
−テーブル叉二 Ｚ、 ／３−づ色＃に板 ３− ワークテープＩし ４・−ケーブル ５−ｔＶ。 ６−スチー ７゛−°スライドシイフト Ｉｆ−゛シ百インＦ １２゛テマンバー ７４−一吸Ｊ坂 １５−取付へ゛−ス
示す吸着ヘッド部とテーブル部を示す一部断面正面図、
第２図は吸着板の詳細図である。 ２・・・・・・絶縁板、３・・・・・・ワークテーブル
、６・川・・電源、１２・・・・・・チャンバー、１３
・・・・・・絶縁板、１４・・・・・・吸着板−１６・
・・・・・支持板。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名！′
−テーブル叉二 Ｚ、 ／３−づ色＃に板 ３− ワークテープＩし ４・−ケーブル ５−ｔＶ。 ６−スチー ７゛−°スライドシイフト Ｉｆ−゛シ百インＦ １２゛テマンバー ７４−一吸Ｊ坂 １５−取付へ゛−ス
Claims (1)
- あらかじめ切断されたセラミックグリーンシートを支持
板に直接貼りつけるか、又は支持板に貼りつけられてい
るセラミックグリーンシート上に貼りつけて所定数くり
返し積層するに当り、セラミックグリーンシートとそれ
を貼りつける支持板との間に電圧を印加することを特徴
としたセラミックグリーンシートの積層方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947588A JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02155607A true JPH02155607A (ja) | 1990-06-14 |
| JPH0673850B2 JPH0673850B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=17993433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30947588A Expired - Fee Related JPH0673850B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | セラミックグリーンシートの積層方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0673850B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246716A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tdk Corp | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層電子部品の製造方法 |
| JP2014186830A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toyota Boshoku Corp | シートの載置方法及び積層型電池の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30947588A patent/JPH0673850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246716A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tdk Corp | セラミックグリーンシートの積層方法及び積層電子部品の製造方法 |
| JP2014186830A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Toyota Boshoku Corp | シートの載置方法及び積層型電池の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0673850B2 (ja) | 1994-09-21 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |