JPH02155610A - 基板分割装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス板、セラミック板・シリコンウェハー
等の脆性材料、あるいは、これらの張り合わせ構造の物
を分割する基板分割装置に関するものである。

従来の技術 従来この種の基板分割方法としては、例えば第４図に示
すような手作業によって行われていた。

発明が解決しようとする課題 従来の方法では、作業者の熟練の度合により力の作用点
及び分割力が一定しないため特に長い基板の分割に際し
ては、第６図に示すようにいわゆる斜め割れを起こしや
すく、さらにその分割面が汚く、飛散する分割粉などに
よる作業安全性及び生産性が悪いという課題があった。

本発明は、このような従来の課題を解決し、きれいな切
断面、しかも安全で精度の良い基板分割ができ、生産性
も向上する基板分割装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 そして上記課題を解決する本発明の技術的手段は、テー
ブル上にのせられた基板を複数個に分けられた分割ブロ
ックを分割ヘッドにそれぞれの分割ブロックの下端部に
僅かずつの段差を持たせて取付け、かつこれらの分割ブ
ロックの加圧力は、それぞれの分割ブロックに取付けら
れたシリンダーと減圧弁によって調整可能に取付け、分
割しようとする基板の端より頭次分割ブロックが基板に
当たるように分割ヘッドを下降させて基板をブレークラ
インにそって分割させる構成としたものである。

作用 この複数個の分割ブロックをその先端が僅かに段差を有
する構成にすることによって、基板を分割するに必要な
加圧力を基板の割れの伝播にしたがって基板の端より順
に当たっていくため、長い基板も無理なく容易に分割す
ることができる。

また分割ブロックの加圧力は、それぞれのシリンダーと
減圧弁により基板の位置や材質によって変えることがで
きる。

実施例 以下本発明の一実施例について、図面第１図〜第３図を
参照しながら説明する。第１図は、本発明の実施例にお
ける基板分割装置の構造図を示すものである。複数の分
割ブロック１は、先端に硬質ゴム２を有し、加圧時に基
板表面に傷がつかないようにしてあり、第２図、第３図
に示すように先端に僅かの段差を持っている。これは第
１図のストッパー３によって調整される。この段差の大
きさは、分割しようとする基板１１により決定される。

この分割ブロック１の幅ａは数十ミリから数ミリの長さ
で、分割ヘッド４にお互い密着して多数個並べられてお
り、分割ブロック全体の幅ｅ２は基板１１の幅１１　　
より長くしである。分割ブロック１は分割ヘッド４に固
定されているシリンダー６により加圧され、さらに減圧
弁６で各々加圧力が設定されるようになっており、分割
する基板１１により最適な加圧力を決めることができる
。

分割ヘッド４は第２図に示すようにクランク９により梁
８、スライドシャフト７を介して上下動しクランク９は
モータ１ｏにより回転する。

この際モータ１０の回転数により上下スピード、すなわ
ち、分割スピードを任意に選ぶことができる。基板１１
は、テーブル１２に位置決めされており、ポールネジ１
３などにより任意の位置へ移動できる。

以上のように構成された基板分割装置の動作について説
明する。

第１図において基板１１は、プレイクライン１４を下に
してテーブル１２に位置決めされ固定されている。分割
ヘッド４が第２図のモータ１０の動力により下降して基
板１１に分割ブロック１が当たるとシリンダー６の加圧
力により基板１１が分割される。その際、第３図に示す
ように多数個並べられた分割ブロック１は、その先端に
僅かの段差を有しているため、基板１１の端より順に当
たっていくことになり、長い基板も無理なく容易に分割
できる。

また、基板１１の端あるいは中央部などで加圧力の違い
が必要な場合は、シリンダー６の設定圧を変更すること
で無理な加圧力を加えることがなくきれいな割れを得る
ことができる。

発明の効果 以上のように本発明は複数個の分割ブロックを有し、こ
れらの最下端部を僅かずつ段差を持たせて取付け、かつ
、これらの分割ブロックの加圧力はそれぞれの分割ブロ
ックに取付けたシリンダーと減圧弁によって調整可能に
取付けることにより、基板の分割がそのブレイクライン
に沿って正確に、また基板の特性によって任意に条件設
定でき、従来作業者の熟練に頼っていた分割作業が最適
の条件下で行えるようになり生産性の向上１歩留まりの
向上を計る基板分割装置を実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における基板分割装置の構造
を示す側面断面図、第２図はその正面図、第３図はその
分割時の割れの進行の様子を示す原理図、第４図は従来
例の作業者による分割例を示す説明図、第５図は従来例
による斜め割れの状態を示す斜視図である。 １・・・・・・分割ブロック、２・・・・・・硬質ゴム
、３・・・・・・ストッパー、４・・・・・・分割ヘッ
ド、６・・・・・・シリンダ、６・・・・・・減圧弁、
７・・・・・・スライドシャフト、８・・・・・・：Ｌ
　　９−−−・−クランク、１０・・・・・・モータ、
１１・・・・・・基板、１２・・・・・・テーブル、１
３・・・・・・ボールネジ、１４・・・・・・ブレーク
ライン。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名７−
・−スライドシペフト δ−梁 ９−　クランク 第１図 第 図 ／−一一分訓ブロソ７ ２−　硬Ｗコ゛Ａ ３−　ストツノシー ４−９薗１■ヘツド ５−　シリング− ６−″／Ａ工升 １／−−一基板 ／Ｚ−Ｎ　Ｑチーフル １３−　　ボール序ジ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. テーブル上にのせられプレークラインを形成した基板上
   に複数個に分けられた分割ブロックを配置し、これらの
   分割ブロックをそれぞれの最下端部の位置を僅かずつ段
   差を持たせて分割ヘッドに取付け、これらの分割ブロッ
   クにはそれぞれ独立にその先端部の加圧力を調整可能と
   する上記分割ヘッドに取付けられたシリンダーと減圧弁
   を設け、基板の端より順次分割ブロックを下降させて基
   板のブレークラインに沿って基板を分割するように構成
   した基板分割装置。