JPH02157809A - 高解像走査光学系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、光偏向手段の１軸回りの回転ないし振動によ
って光源からの光ビームを偏向走査する高解像レーザビ
ームプリンタなどに用い得る高解像の走査光学系に関す
る。

［従来の技術］ 近年、レーザビームプリンタなどの画像記録装置の記録
密度の向上が望まれている。しかし、この実現の為には
、被走査面に投射される光ビームのスポット径を小さく
できる高解像の走査光学系が必要である。

一般に、通常の解像力が要求されるだけの走査光学系の
設計では、非点収差、像面湾曲、歪曲の３収差のみを補
正すれば充分である場合が多いが、上記高解像の走査光
学系の設計では、これら３収差に球面収差とコマ収差を
加えた５収差全てを良好に補正する必要がある。

この様な高解像走査光学系の１例としては３枚構成のレ
ンズ系から成り適宜の諸条件を満たして５収差を良好に
補正しているｆ・θレンズ（理想像高が焦点距離ｆと入
射角度θの積で与えられるレンズ系）がある。

［発明が解決しようとしている課題］ しかしながら、こうした従来の高解像走査光学系では、
倒れ補正（光偏向手段の偏向反射面が、偏向走査される
光ビームの形成する主走査方向面に垂直な副走査方向面
内の方向（副走査方向）に倒れても被走査面上のビーム
の副走査方向の結像位置が殆ど変化しないこと）に関し
て何ら考慮されていないので、１軸回りに回転ないし振
動する回転多面鏡や振動ミラーによる偏向走査を行なう
場合には、偏向反射面の副走査方向の倒れの公差が非常
に厳しくなる。従って、本発明の目的は、高解像力と倒
れ補正機能の両方を有する走査光学系を提供することに
ある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成する為に、本発明の走査光学系に於ては
、この光学系を構成するレンズのレンズ面のうち少な（
とも１つのレンズ面の形状が主走査方向面と垂直な副走
査方向断面に関して円からずれている。即ち、少な（と
も１つのレンズ面の副走査方向断面形状に非球面成分を
導入している。

［作用］ 上記の如（構成された倒れ補正機能を持つ高解像走査光
学系では、主走査方向の屈折力より相当大きい副走査方
向の屈折力によって大きく発生しがちな副走査方向の球
面収差が、少な（とも１つのレンズ面の副走査方向断面
形状に導入された非球面成分により低減させられ、Ｆナ
ンバーの小さい高解像仕様を満たしている。

［実施例］ 第１図は本発明の走査光学系の一実施例の主走査方向面
における断面図であり、第２図（ａ）は光軸を含む副走
査方向面における断面図である。

同図において、１は副走査方向にのみ屈折力を有する線
像結像用シリンドリカルレンズ２は主走査方向面に垂直
な軸Ｏの回りに回転する回転多面鏡、３は多面鏡３側か
ら順に２枚の球面レンズ３ａ、３ｂと１枚のトーリック
レンズ３Ｃから構成されるｆ・θレンズ４は被走査面で
ある。

この実施例では、シリンドリカルレンズ１の入射側のレ
ンズ面Ａｓ　ｐｈの副走査方向断面形状が、第２図（ａ
）の破線で示す円形状からずれている。このずれ方は、
レンズ面Ａｓｐｈの中心から周辺に向かうに従って曲率
半径の絶対値が太き・くなるようなものである以上の構
成において、不図示のレーザ光源とコリメート光学系に
よって形成された平行ビームはシリンドリカルレンズ１
に入射し副走査方向のみ屈折作用を受けて、このレンズ
１の副走査方向焦点位置近傍に配置された多面鏡２の偏
向反射面（主走査方向面とほぼ垂直）上に主走査方向面
内で線状に延びる線像を結ぶ。

この線像は上記偏向反射面で反射されｆ・θレンズ３に
入射し、これより屈折作用を受けて被走査面４上にスポ
ットを形成する。トーリックレンズ３Ｃは主走査方向と
副走査方向の屈折力が異なるのでこれを含むｆ・θレン
ズ３もこれら両方向で屈折力が異なり、従って主走査方
向に延びる線像のこれら両方向のビーム結像位置を被走
査面４上に一致させる事ができる。こうし・て、副走査
方向に関して回転多面鏡２の偏向反射面と被走査面４と
が共役関係となる為、多面鏡２の偏向反射面が副走査方
向に倒れても被走査面４上でのビームの副走査方向の結
像位置は殆ど変化しない。即ち、倒れ補正機能が達せら
れる。

この様に、倒れ補正機能を持たせた走査光学系は、上記
の如きｆ・θレンズ３を含むので屈折力が主走査方向と
副走査方向とで異なり、後者が前者の数倍にもなる。従
って、シリンドルカルレンズ１の副走査方向の球面収差
も加えて、全体として副走査方向の球面収差が大きく発
生しがちである。これは、従来の低解像力の仕様ではＦ
ナンバーが大きくて焦点深度が大きく、更には球面収差
自体の発生も少ないので、特に問題とはならなかったし
かし、高解像の本発明の様な仕様では、Ｆナンバーが小
さ（て焦点深度が浅（、また収差自体も大きく発生する
ので、これらの副走査方向の球面収差を低減せずに仕様
を満たす事は困難である。本発明は、こうした問題点を
、少なくとも１つのレンズ面の副走査方向のレンズ断面
形状に非球面成分を導入して前述の副走査方向の球面収
差を打ち消す方向の球面収差を発生させる事により解決
するものである。

以下、本実施例の各レンズの構成と面形状について詳説
する。

第２図（ａ）の線像結像用シリンドリカルレンズ１の入
射側のレンズ面の副走査方向断面は次式で表現される。

Ｚ”／ｒ。

Ｘ＝ Ｌ　＋　　　　　　　　　＋　　　　　　Ｚ　　　ｒ　
ｓ　　）　　２＋ＤＺ’　　＋ＥＺ’　　＋ＦＺ’　　
＋ＧＺ”・　・　・　・　・　・　（１） 但し、ＸとＺは当該レンズ面の中心点（頂点）を原点と
した、夫々、光軸方向Ａ及び副走査方向Ｂの座標、ｒ８
とＫは、夫々、副走査方向の曲率半径と円錐係数、Ｄ、
Ｅ、Ｆ、Ｇは夫々４次、６次、８次、１０次の非球面係
数である。

この副走査方向断面形状は第３図に示されている。

線像結像用シリンドリカルレンズｌは、第２図（ａ）に
示すように１枚構成であり、光出射側の面が平面である
。これは製造が容易な為である。このレンズ１の非球面
成分を導入したレンズ面Ａｓｐｈの副走査方向断面形状
は、上述した如く、中心から周辺に向かうに従って曲率
半径の絶対値が太き（なるようなものであるが、これは
、非球面成分を導入しない場合に発生する副走査方向の
アンダーの球面収差を補正する為にこの面でオーバーの
球面収差を発生させる為である。こうして良好な球面収
差の補正が可能となる。

また、シリンドリカル面に非球面成分を導入しているの
は、シリンドリカル面やトーリック面などのアナモフィ
ックレンズ面においては主走査方向の曲率と副走査方向
の曲率が独立に設定できるからである。即ち、こうした
アナモフィック面の副走査方向に非球面成分を導入すれ
ば、主走査方向の収差に全く影響を与えずに副走査方向
のみの収差をコントロールすることができる。

更に、シリンドリカルレンズｌの入射側のシリンドリカ
ル面に非球面成分を導入しているので、回転多面鏡２の
光源側にある角度を有さない光束を受ける面を非球面に
加工することにな仝。よって、非球面加工する面積が小
さ（なって製造が容易となる。

次に、ｆ・θレンズ３は上述の様な３枚の構成であるが
、これは、高解像ｆ・θレンズ３では５収差とも良好に
補正する必要があり２枚の構成では自由度が不足する為
と、アナモフィックレンズの枚数を出来る限り少なくし
て製造を容易にする為とである。

また、ｆ・θレンズ３を構成するトーリックレンズ３ｃ
の多面鏡２側のレンズ面は、主走査方向の曲率半径が無
限大で副走査方向にのみ屈折力を有するシリンドリカル
面（第２図（ａ）ｆｆ照）である。これは像面湾曲を補
正し且つ製造を容易にする為である。

更に、ｆ・θレンズ３を構成するレンズ３ａ、３ｂ、３
ｃの各面はトーリックレンズ３Ｃの入射側の面の主走査
方向の曲率半径が無限大であることを除けば、主走査方
向、副走査方向ともに曲率中心が多面鏡２側にある。

これは５収差とも良好に補正する為である。

次に、第２図（ｂ）は、ｆ・θレンズ３を構成するトー
リックレンズ３Ｃの光出射側のトーリック面Ａｓｐｈの
副走査方向断面形状が円形状からずれた実施例を示す。

この実施例についても、その構成に応する範囲で、第２
図（ａ）の実施例に関して述べたことが当てはまる。

最後に、本発明の数値実施例である実施例１から実施例
１Ｏを列挙する。各数値実施例において、ｆｏは線像結
像用シリンドリカルレンズ１の焦点距離、ｆ２はｆ・θ
レンズ３の主走査方向の焦点距離（Ｍはメリジオナル面
を示す）、ｆ、はｆ・θレンズ３の副走査方向の焦点距
離（Ｓはサジタル面を示す）、Ｆ　ｓｏ、　ｖ及びＦ　
ｓｏ、　ｓは、夫々、ｆ−θレンズ３の主走査方向及び
副走査方向の像側有効Ｆナンバー、ωは半画角、えは波
長である。

また、面の番号は光線の進む順番につけ、第１面から第
２面迄が線像結像用シリンドリカルレンズ１の各面、第
３面が回転多面鏡２の鏡面（絞り）、第４面から第９面
迄がｆ・θレンズ３の各面を表わす。ｒｉは第１面の曲
率半径、ｄ、′は第１面から第ｉ＋１面までの面間隔、
ｎ′、は第１面の後側の媒質の屈折率、ｒ４及びｒ、９
は、夫々、第１面の主走査方向（主走査方向面すなわち
メリジオナル面内方向）及び副走査方向（副走査方向面
すなわちサジタル面内方向）の曲率半径、Ｋ、　、Ｄ、
、Ｅｉ　、Ｆ、　、Ｇ、は、夫々、第１面の副走査方向
の非球面係数（（１）式に示したもの）である。

尚、媒質が空気（ｎ’　＝１）である部分は屈折率ｎ′
の記載は省略する。

第４図から第１３図は、夫々、実施例１から実施例１０
の結像性能を示す図である。

各図において、（ａ）は実現可能な記録密度を表わし、
（ｂ）は非点収差、像面湾曲を表わして６Ｍは主走査方
向の像面、△Ｓは副走査方向の像面を示し、（ｃ）は歪
曲（ｆ・θ特性）を表わす。（ａ）図では、各画角毎に
スポット径（ピーク値の１／ｅ２の値内の径）をシミュ
レーションによって算出し、その結果を実現可能な記録
密度に変換して表示しである。縦軸が実現可能な記録密
度（ｄｐｉ、インチ当たりのドツト数）であり、横軸が
走査角（θ、半角）である。

この記録密度は、第１４図に示すように、スポットを主
走査方向には重なりな（密に並べ、副走査方向には半分
ずつ重ねて並べて記録すると仮定して算出したものであ
る。

第４図乃至第１３図から分かるように、性能の良い数値
実施例では、へ６版全面を１０００ｄｐｉ以上の記録密
度で記録できる性能である。

実施例１ ｆ　ｏ　＝　ｌ　Ｏ０、００ｍ　ｍ ｆ、＝１７０．２６ｍｍ ｆｓ　＝４１．９５ｍｆＩ Ｆ、０１１＝１２　　　Ｆ、、）、、１＝２５２ω＝４
２．２°　　え＝７８０ｎｍ シリンドリカルレンズ部 ｒｔｖ＝ｃｏ　　　　ａ’　ｌ　＝　１０．００ｎ　　
、＝１．５１０７２ ｒ＋５＝５１．０７２ Ｋ　＋　＝　Ｏ Ｄ、＝−１，１６２６ｘｌＯ”−’ Ｅ、＝Ｆ、＝Ｇ、＝Ｏ ｒ　　２　＝　（１） ｆ・θレンズ部 ｒ３＝■（絞り）　　　　　ｄ、’　　＝３０．０Ｏｒ
、＝−３８，４３０ｄ４′＝２．７０ｎ４　’　　＝１
．　５１０７２ ｒｓ　　”　　　２４９．　１２７　　　ｄｓ　　′　
＝２．９０ｒ６　　＝　　　１　３３．　００３　　　
ｄｓ　　’　　＝９．５５０、’　　＝１．　５１０７
２ ｒｔ　　＝−４８，５２２ｄ、’　　＝３．　０Ｏｒ　
８ｍｍ”　　　　　　　　　　　　　ｄａ　　　＝　１
　０．　　ＯＯｎａ　　’　　＝　　１．　７８５６９
ｒａｓ＝　　　９０．２４２ ｒ、１４＝−１０３，０９８ ｒ９ｓ＝−２６，２００ 実施例２ ｆｏ　＝１０１．５９ｍｍ ｆ、＝　１６９．８９ｍｍ ｆｓ　＝４２．６７ｍｍ Ｆ、Ｏ，、Ｉ＝　１２　　　Ｆ、、、、＝　２５２ω＝
４２．２”　　　え＝７８０ｎｍシリンドリカルレンズ
部 ｒ、、＝Ｑ）　　　ａｌ　′＝　１０．００ｎ　　’＝
１．５１０７２ ｒｔ５＝５１．８８４ に、＝Ｏ Ｄ、＝−１，１１６５Ｘ１０−’ Ｅ、＝−１゜４８２２Ｘ１０−” Ｆ、＝Ｇ、＝Ｏ ｒｚ＝■ ｆ・θレンズ部 ｌ−３＝ｏｏ（絞り）　　　　　ｄ、’＝３０．０゜ｒ
４＝−３７，０１６ｄ４′＝２．７０ｎ、′　＝１．５
１０７２ ｒｓ　＝　　−２８１，３０６ｄ−’　　＝３．５９ｒ
、””−１４３，４６６ｄ、’　＝９．５５ｎｓ’　　
＝ｌ、　　５１０７２ ｒ、＝−４８，３６４ｄ、’　　＝３．０Ｏｒ８Ｍ＝■
　　　　　　　　ｄ、′　＝１０．００ｎａ　　′　”
　１．　７８５６９ １”、、ニー９５、６０９ ｒ、Ｉｌ”−１０１，０８３ ｒ＋ａｓ＝　　　２６．９０２ 実施例３ ｆｏ　＝１００．００ｍｍ ｆ、＝１　６９．　９５ｍｍ ｆ＝　　＝４２．　９２ｍｍ Ｆ、、、、＝１２　　　　　Ｆ、、、１＝２５２ｃ＋、
＋＝４２．　２’　　　　　λ＝＝７８０ｎｍシリンド
リカルレンズ部 ｒ、、：Ｏｏ　　　ｄｌ　′＝　１０．００ｎ＋　’　
＝１．５１０７２ ｒｔ５＝５１．０７２ に、＝Ｏ Ｄ、＝−１，１３９２ＸｌＯ−’ Ｅ、＝−８，３９２１ｘ　１０−” Ｆ、＝Ｇ、＝Ｏ ｒｚ＝ω ｆ・θレンズ部 ｒ３＝ｏｏ（絞り）　　　　　ｄ、’　　＝３０．００
ｒ　−”　　３６　、２９２　　　ｄ　＜　′＝　２　
、７０ｎ４　’　＝　１　、５１０７２ ｒｓ　＝　　２５８．７９３　　ｄｓ　′＝３．７０ｒ
ｓ　”　　１４１．３８１　　ｄａ′＝９．５５ｎ６　
′＝１．５１０７２ ｒｔ　　＝　　　４７．　１　９６　　　　　ｄｔ　　
　＝３．　０　Ｏｒ、＆１＝ｃｏ　　　　　　　　　　
　　ｄａ　　　＝　１　０．　０　Ｏｎ−’　　＝１．
　７８５６９ ｒｅ−＝　　　９８．３８７ ｒｓＭ＝　　　１　０３．　０８５ ｒｅｓ＝−２７，３２７ 実施例４ ｆ、＝１０２．０９ｍｍ ｆ、ａ　＝１６９．９２ｍｍ ｆ　ｓ　＝　４７ｉ！　、　８６　ｍ　ｍＦ　ＮＯ，Ｍ
＝　１２　　　　Ｆ　Ｎｏ、　−＝　２５２ω＝４２．
２’　　　丸＝７８０ｎｍシリンドリカルレンズ部 ｒ　１ｗ＝ω　　　　　ｄ、’　＝１０．０Ｏｎ、’　
＝１．５１０７２ ｒｔ、＝５２．１３７ に＋＝Ｏ Ｄ、＝−１，１０２４Ｘ１０−’ Ｅｔ　＝２．０８９１　ｘ　ｌ　Ｏ−”Ｆ、＝Ｇ、＝０ ｒｚ＝ω ｆ・θシン１部 ｒｉ＝ｃ’（絞り）　　　　　ｄ、’　　＝３０．００
ｒ、＝−３６，２１４ｄ、　　＝２．７０ｎ４’　＝１
．５１０７２ ｒｓ　＝　　２５５．８５２　　ｄ−′＝３．６５ｒ、
＝−１４１．０２１　　ｄ６′”９．５５ｎｓ　′＝１
．５１０７２ ｒ、＝−４７，０１０ｄ、′＝３．００ｄ８’　＝ｌＱ
、ｏ。

ｒ　ａＭ＝■ ｎａ　　’　　”１．　７８５６９ ｒ８ｇ＝−９７，９６６ ｒｅｖ＝−１０３，３６６ ｒｏｍ＝−２７，２８５ 実施例５ ｆ、＝ｌＯ０，００ｍｍ ｆ、、＝１６９．９３ｍｍ ｆｓ　＝４２．６２ｍｍ Ｆ、ｏ、＝１２　　　　Ｆｓｏ、５＝２５２ω＝４２．
２’　　　え＝７８０ｎｍシリンドリカルレンズ部 ｒ＋＋ａ：Ｑ）　　　　　　ｃＬ　′＝　１０．００ｎ
、’　＝１．５１０７２ ｒ＋ｓ＝５１．０７２ に１＝Ｏ ＤＩ　＝−１，３２５３Ｘ　１０−’ Ｅｌ　＝３．４２０２Ｘ　１０−９ Ｆ、＝Ｇ、＝Ｏ ｒｚ＝（１） ｆ・θレンツ部 ｒｓ”■（絞り）　　　　　ｄｓ　’　　＝３０．０Ｏ
ｒ、＝−３８，４７０ｄ、’　＝２．７０ｎ４′＝１．
５１０７２ ｒｓ　＝　　２４９．３９６　　ｄｓ　’　＝２．９１
ｒ６＝　　１３３．３２７　　ｄ６’　＝９．５５ｎｓ
　’　＝１．５１０７２ ｒｙ　＝　　４８．５３６　　　ｄ７′＝３．００ｒ　
ｓｂ＋＝”　　　　　　　　ｄ　ａ　′＝　１０　、０
　Ｏｎｓ　’　”　１．７８５６９ ｒａｓ”　　１０７．５７９ ｒ、、＝−１０３，１４３ ｒ９ｓ＝　　　２７．５００ 実施例６ ｆ　ｏ　＝　ｌ　Ｏ２，１６ｍｍ ｆ、＝１７０．２６ｍｍ ｆｓ　＝４２．６３ｍｍ Ｆ　Ｎｏ、ｖ＝　１２　　　Ｆ　−ｏ、　ｓ＝　２５２
ω＝４２．２°　　　ん＝７８０ｎｍシリンドリカルレ
ンズ部 ｒ、、＝ＣＸ）　　　　ａｌ　′＝　１０．００ｎ＋　
’　＝１．５１０７２ ｒ＋５＝５２．１７６ Ｋ　　　＝０ ＤＩ　　＝　−１，０７１３ＸＩＯ−’Ｅ、　　ｍＦ、
　　＝Ｇ、　　＝Ｏ ｒ　　２　＝■ ｆ・θシン１部 ｒ、＝ｃｏ（絞り）　　　　　ｃｉ３’　　＝３０．０
Ｏｒ４＝−３８，４３０ｄ４’　＝２．７０ｎ、’　＝
１．５１０７２ ｒｓ　　＝−２４９，１２７ｄｓ　　　”２．　９０ｒ
６　＝−１３３，００３ｄｓ　　’　　＝９．　５５ｎ
ｓ　　’　　”　１−　５１０７２ ｒｔ　　＝　　　４８．　５２２　　　　　ｄ、’　　
＝３．　００１”、、＝（ｆ）　　　　　　　　　　　
ｄａ　　′＝　ｌ　Ｏ，ＯＯｎ　ｓ　　’　　＝　１　
、　７８５６９ｒａｓ＝−１０６，９０４ ｒ９．＝−ｔｏ３．　０９８ ｒ　９１１＝　　　２７　、　４６　１実施例７ ｆｏ　＝　ｌ　Ｏ２，１５ｍｍ ｆ、＝１６９．９１ｍｍ ｆ　ｓ　＝　４２　、６０　ｍ　ｍ Ｆ　ｓｏ、　−”　１２　　　Ｆ　、４ｏ、　ｓ＝　２
５２ω＝４２．２°　ん＝７８０ｎｍ シリンドリカルレンズ部 ｒ、Ｍ＝ｃｏ　　　　　　　ｄ＋　′＝ｌ　Ｏ，０Ｏｎ
、’　＝１．５１０７２ ｒ　ｌ！ｌ：”　５２　、　１６８ に、　＝０ Ｄ＋　　＝−１，０７１２Ｘ１０−’ Ｅ、　　＝−５，５５０９Ｘ　　１　０−”Ｆ＋　　＝
Ｇ、　＝Ｏ ｒａ＝圓 ｆ・０１２１部 ｒ３＝ω（絞り）　　　　　ｄ、’　　＝３０．０Ｏｒ
−＝−３８，４９４ｄ、　′＝２．７０ｎ４′＝１．５
１０７２ ｒ５＝　　２５０．７１１　　ｄｓ　′＝２．９０ｒａ
　＝−１３４，９３０ｄ、”’９．５５ｎｏ　　＝　１
．　５１０７２ ｒｔ　＝　　４８．５３４　　　ｄｔ　′＝３．００ｒ
ｓＭ＝ω　　　　　　　ｄ、　　＝１０．０Ｏｎｏ　　
＝ｌ、７８５６９ ｒ　ａ９”　　Ｉ　Ｏ６、８５１ ｒ９ｖ＝　　１０３゜５５１ ｒ、、Ｉニー２７．４７４ 実施例８ ｆｕ　＝１７０．００ｍｍ Ｆｓｏ、ｍ＝　１５．０　　　Ｆｓｏ、ｓ＝３８．９２
（，１＝３６°　　　　え＝７８０ｎｍシリンドリカル
レンズ部 ｒ、、＝ＯＱ　　　　　　　　ｄｔ　′＝１０．００ｎ
　ｒ゛＝　１　、６３５５２ ｒ＋５＝９４．３９１ ｒ　２　＝の ｆ・０１２１部 ｒ、＝ｃｏ（絞り）　　　　　ｄ、′　＝３５．５６ｒ
４＝−５８，９２９ｄ４′＝３．００ｎ４’　＝１．５
１０７２ ｒａ’＝　　１７７．０８２　　ｄｓ　′＝２．００ｒ
ｓ　＝　　１３３．７５４　　ｄｓ　’　＝１２．６１
ｎｓ　′　＝１．５１０７２ ｒｙ　＝−６２，２１２ｄｔ′　＝０．５０ｒ８．＝■
　　　　　　　ｄａ’＝１２．９０ｎａ　’　＝１．７
６５９１ ｒｓ、ニー７５．４７２ ｒ、Ｍ＝−１：３１５１０ ｒｓｓ＝−２６，９８７ に、＝−０，８９０７４ Ｄ、＝Ｅ、＝Ｆ９　＝Ｇ、＝０ 実施例９ ｆ１１＝１６９．９１ｍｍ Ｆ、。、＝１５．ＯＦＮｏ、９＝２４．３２ω＝３６°
　　　　え＝７８０ｎｍ シリンドリカルレンズ部 ｒ＋ｖ：０１）　　　　　　　ｄｔ　’　＝１０．００
ｎ＋　’　＝１．６３５５２ ｒ＋９＝５７．９０５ ｒ　　２　＝■ ｆ・０１２１部 ｒｉ＝（Ｘ）（絞り）　　　　　ｄ、’＝３５．０Ｏｒ
、＝−７６，３６６ｄ−’　＝３．００ｎ、’　＝１．
５１０７２ ｒ　ｓ　＝　　１５６゜１１７　　ｄ、ｉ’＝２．ｏ。

ｒ　ａ　”　　８３．５８９　　ｄｏ　’　＝１２．０
０ｎｓ　’　＝１．５１０７２ ｒ７＝−６３，５０１ｄ７’　　＝０．５０ｒｓｖ＝■
　　　　　　　ｄａ　′＝　１３．００ｎａ　’　　＝
１．７６５９１ ｒｓｓ＝−７８，４２９ 「ｇ工＝−１２６，５３８ ｒ９ｓ＝　　　２６．５６０ Ｋｓ　　＝−０，７９０６１ Ｄ９　＝Ｅ、＝Ｆ、＝Ｇ、　　＝０ 実施例ＩＯ ｆ、＝１７０．０５ｍｍ ＦＮｏ、ｍ＝　１２　、８　　　Ｆ、ｌｏ、−＝　１６
．３２ω＝３６６　　　　λ＝７８０ｎｍ シリンドリカルレンズ部 ｒ　１Ｍ＝　（Ｘ）　　　　　　　　ｄ　ｔ　’　＝　
１０．００ｎ１　′＝１．６３５５２ ｒ　１ｓ＝　５７　、９０５ ｒ　　２　＝（１） ｆ・０１２１部 ｒ、、＝ａ：＋（絞り）　　　　　ｄ３’　　＝３５．
００ｒ、＝−４２，８３１ｄ、’　＝３．００ｎ４’　
＝１．５１０７２ ｒ’ｓ　＝　　５４．８９１　　　ｄｓ　′＝０．　１
　Ｏｒ６　＝　　１００．０５３　　ｄａ　′＝１６−
００ｎｓ　　’　　”１．　５１０７２ ｒ、　＝　　６１．　２８１　　　ｄ、’　　＝１３．
　００ｒ　ｅｖ＝ω　　　　　　　　　　　　ｄ、　　
　＝１６．０Ｏｎａ　　　　＝ｌ　、　７６５９１ ｒｓｓ＝−６４，４３５ ｒ９．＝　−１９０，５４０ ｒｓｓ＝−２９，３６９ に９　＝−０，７４９９９ Ｄ９　”　Ｅｓ　　＝　Ｆ９　　＝Ｇｏ　　＝　０［効
果］ 以上説明したように、本発明によれば、倒れ補正機能を
持つ高解像の走査光学系が実現でき、その性能としては
へ６版全面に亘って１０００ｄｐ　ｉ以上の記録密度を
も達成可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の走査光学系の主走査方向断面図、第２
図（ａ）、（ｂ）は、この走査光学系の２つの実施例の
副走査方向断面図、第３図はアナモフィックレンズ面の
副走査方向断面非球面形状を示す図、第４図乃至第１３
図は、夫々、実施例１乃至１０の結像性能を示す図、第
１４図は記録密度算出のための説明図である。 １・・・線像結像用シリンドリカルレンズ２・・・回転
多面鏡、３・・・ｆ・θレンズ、３ａ、３ｂ・・・・球
面レンズ、３Ｃ・・・・・トーリックレンズ、４・・・
・被走査面、Ａｓｐｈ・・・・非球面レンズ面

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、偏向手段の１軸回りの回転ないし振動によって光源
   からの光ビームを偏向走査する装置に用いられ倒れ補正
   機能を有する走査光学系に於いて、該走査光学系を構成
   するレンズのレンズ面のうち少なくとも１つのレンズ面
   の形状が、上記偏向走査される光ビームの形成する主走
   査方向面と垂直な副走査方向断面に関して円からずれて
   いる高解像走査光学系。 ２、前記円からずれている非球面成分を導入したレンズ
   面の副走査方向断面形状は、その中心から周辺に向かう
   に従って曲率半径の絶対値が大きくなるような形状であ
   る請求項１記載の高解像走査光学系。 ３、前記円からずれている非球面成分を導入したレンズ
   面は、アナモフィックレンズのアナモフィックレンズ面
   である請求項１記載の高解像走査光学系。 ４、前記アナモフィックレンズ面は、前記光源と前記偏
   向手段との間に配置されるレンズのシリンドリカル面で
   ある請求項３記載の高解像走査光学系。 ５、前記アナモフィックレンズ面は、前記偏向手段と被
   走査面との間に配置されるレンズのトーリック面である
   請求項３記載の高解像走査光学系。