JPH0215867U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0215867U JPH0215867U JP9219388U JP9219388U JPH0215867U JP H0215867 U JPH0215867 U JP H0215867U JP 9219388 U JP9219388 U JP 9219388U JP 9219388 U JP9219388 U JP 9219388U JP H0215867 U JPH0215867 U JP H0215867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circular substrate
- polishing machine
- center
- axis
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第1図は本考案に係る第1の実施例の縦断正面
図、第2図は第1実施例の平面図、第3図、第4
図、第5図、第6図は第1の実施例の縦断正面部
分拡大図、第7図は第2の実施例の縦断正面部分
拡大図、第8図は第3の実施例の縦断正面部分拡
大図である。 図中、1a,1b……研摩盤、2a,2b……
円形基板、3a,3b……ラツプ定盤、4a,4
b……回転軸、5……ケーシング、5a,5b…
…軸受部、6a,6b,6c……ギヤ、7……モ
ータ、8……モータ軸、9……加工物、9a……
中心凹部、10……センターピン、11a,11
b……研摩盤、12a,12b……円形基板、1
3a,13b……凸状ラツプ定盤、14a,14
b……研摩盤、15a,15b……円形基板、1
6a,16b……凹状ラツプ定盤、A,B……回
転方向。
図、第2図は第1実施例の平面図、第3図、第4
図、第5図、第6図は第1の実施例の縦断正面部
分拡大図、第7図は第2の実施例の縦断正面部分
拡大図、第8図は第3の実施例の縦断正面部分拡
大図である。 図中、1a,1b……研摩盤、2a,2b……
円形基板、3a,3b……ラツプ定盤、4a,4
b……回転軸、5……ケーシング、5a,5b…
…軸受部、6a,6b,6c……ギヤ、7……モ
ータ、8……モータ軸、9……加工物、9a……
中心凹部、10……センターピン、11a,11
b……研摩盤、12a,12b……円形基板、1
3a,13b……凸状ラツプ定盤、14a,14
b……研摩盤、15a,15b……円形基板、1
6a,16b……凹状ラツプ定盤、A,B……回
転方向。
Claims (1)
- 円形基板の上面周縁部に、その上面が円形基板
に平行な平面となるよう形成したリング状のラツ
プ定盤を設け、前記円形基板の中心に軸心が位置
するよう円形基板の底面へ垂直に回転軸を取り付
けた研摩盤を、その軸心が鉛直方向になるよう回
転自在に軸支するとともに、前記研摩盤と同材質
にて同形状に形成した他の研摩盤を近接させ、各
研摩盤の底面のなす角度が180°となつて、し
かも軸心が鉛直方向になるよう他の研摩盤の円転
軸を回転自在に軸支し、かつモータの回転に連動
して各回転軸が同方向へ同速度で回転し得る連動
機構を備え、前記研摩盤の各中心点を結ぶ直線上
の中点に加工物の中心が位置するよう加工物をラ
ツプ定盤上面に配して、加工物上面の中心凹部を
上方からセンターピンにて抑えてなる研摩機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9219388U JPH0215867U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9219388U JPH0215867U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215867U true JPH0215867U (ja) | 1990-01-31 |
Family
ID=31316647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9219388U Pending JPH0215867U (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215867U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0192064A (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-11 | Toshiba Mach Co Ltd | 片面研磨装置 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP9219388U patent/JPH0215867U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0192064A (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-11 | Toshiba Mach Co Ltd | 片面研磨装置 |