JPH02158883A - ポリゴンスキャナのデータ処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ポリゴンスキャナを用いてレーザ走査をした
場合のデータ処理方法に関するものである。

〔従来の技術〕

ポリゴンスキャナを用いたレーザ走査装置は第３図に示
すようになっていて、レーザ光源１から出たレーザビー
ムはポリゴンスキャナ２内のポリゴンミラーにて走査し
てワーク３の表面に照射してこれを走査し、その反射光
をセンサ４にて受光するようになっている。そしてセン
サ４にて受光された画像データはアンプ５にて増幅され
た後サンプリング回路６にてサンプリングして画像デー
タの１画素とし、この画素を図示しないメモリ等へ入力
して画像処理するようになっている。このときの画素の
サイズ（分解能）は上記サンプリングの周期によって決
定される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のデータ処理方法において、第４図に示すような８
面体のポリゴンミラー７を２０．０００ｒ。

ｐ、Ｉで回転させたとすると、これの１面で走査する時
間は、 １／２６６６、　７＝０．　３７５ｍ５である。一方ポ
リゴンミラ−７で小スポットのレーザビームを一定速度
で走査するにはＦθレンズ８でレーザビームを収束補正
する必要がある。

ところが上記Ｆθレンズ８にてレーザビームを収束補正
すると、このＦθレンズ８の設計性能により、レーザビ
ームの有効分は５０％程度になることがある。

すなわち、ポリゴンミラー７の一面における走査時間の
５０％は、０．３７５１０．５で０．１８７５ｍ５とな
り、従ってこの有効分で、例えば３００ｎ走査させる時
間は０．１８７５ｍ５となる。このとき分解能を仮に１
０μｍとしてサンプリングするには ３００Ｉｌ１１１÷１０μｍ−３００００画素０．１８
７５ｍ５＋３００００−６　、　２５　ｎ　ｓ　／画素
となり、サンプリング周期は６．２５ｎｓ、その周波数
は１６０　Ｍ　Ｈｚとなる。

このような高速でメモリへ画像を取り込んだり、あるい
は何らかの前処理をハードウェアで実現するのは大変で
ある。

本発明は、上記のことにかんがみなされたもので、Ｆθ
レンズを用いてレーザビームを収束したときの一走査の
無効分を利用して処理クロックを下げることができるよ
うにしたポリゴンスキャナのデータ処理方法を提供する
ことを目的ととするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明に係るポリゴンスキ
ャナのデータ処理方法は、ポリゴンミラーで走査したレ
ーザービームをＦθレンズにて収束してワークに照射し
、その反射光をセンサにて受光し、この受光信号をサン
プリング回路にてサンプリングして画像データとし、こ
れを次工程処理回路へ入力するようにしたポリゴンスキ
ャナのデータ処理方法において、サンプル回路からのポ
リゴンミラーの１面ごとの画像データを第１と第２のバ
ッファに交互に入力し、この各バッファでの処理データ
を交互に取り出して次工程処理回路へ入力する。

〔作　用〕

サンプル回路からの画像データはバッファを通る間にそ
の周波数が１／２になり、−走査の無効分が利用されて
処理クロックが下げられる。

〔実　施　例〕

本発明の実施態様を図面を参照して説明する。

第１図に示すように、サンプリング回路６の出力側が第
１のスイッチ９で第１のバッファＩＯと第２のバッファ
１１に切換可能に接続されており、また第１、第２の各
バッファ１０．１１は第２のスイッチ１２を介して切換
可能に次工程処理回路１３に接続されている。

第２図は本発明方法の動作を示すもので、ポリゴンミラ
ー８の各面の一走査期間において、実際の走査長さの有
効分は上記−走査期間の中央部の５０％である。この有
効分をセンサ４にて受光し、サンプリング回路６ににて
、サンプリングし、これによる画像データは１６０　Ｍ
　Ｈｚで出力される。そしてこの各面の画像データを第
１のスイッチ９を交互に切換えて第１、第２のバッファ
１０．１１に交互に入力してバッファ処理する。第２の
スイッチ１２は上記第１のスイッチ９とは逆に切換わり
、順次節１、第２のバッファ１０．１１の処理データを
交互に次工程処理回路１３へ出力する。このときバッフ
ァ処理データの周波数は８０　Ｍ　Ｈｚである。

上記作用を繰返せば、１面分だけデータは遅延してその
周波数が１６０　Ｍ　Ｈｚから８０ＭＨ２に低下し、す
なわち、処理クロックが下げられて次工程処理回路１３
へ入力される。このため次工程処理回路１３での処理が
大幅に楽になる。１６０　Ｍ　Ｈｚの周波数が必要とな
るのは初段のごく一部でよいことになる。

〔発明の効果〕

本発明は上記のようになるから、Ｆθレンズ８にてポリ
ゴンミラー７からのレーザビームを収束する場合におい
ても、サンプリング回路６から次工程処理回路１３へ入
力する画像データの周波数はサンプリングデータのそれ
の１／２となり、−走査の無効分が利用されてこのとき
の処１クロックを下げることができ、これにより次工程
処理が楽になる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本発明の実施態様を示すもので、第１
図はブロック図、第２図はタイムチャートである。第３
図はレーザ走査装置を示す概略的な説明図、第４図はポ
リゴンスキャナの概略的な構成説明図である。 ３はワーク、４はセンサ、６はサンプリング回路、７は
ポリゴンミラー　８はＦθレンズ、１０．１１はバッフ
ァ、１３は次工程処理回路。 出願人　　株式会社　小　松　製　作　所代理人　　弁
理士　　米　原　正　章

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ポリゴンミラー７で走査したレーザービームをＦθレン
   ズ８にて収束してワーク３に照射し、その反射光をセン
   サ４にて受光し、この受光信号をサンプリング回路６に
   てサンプリングして画像データとし、これを次工程処理
   回路１３へ入力するようにしたポリゴンスキャナのデー
   タ処理方法において、サンプル回路６からのポリゴンミ
   ラー７の１面ごとの画像データを第１と第２のバッファ
   １０、１１に交互に入力し、この各バッファ１０、１１
   での処理データを交互に取り出して次工程処理回路１３
   へ入力するようにしたことを特徴とするポリゴンスキャ
   ナのデータ処理方法。