JPH02161445A

JPH02161445A - 可視レーザ記録用感光材料

Info

Publication number: JPH02161445A
Application number: JP63315069A
Authority: JP
Inventors: Noriko Ikeda; 紀子池田; Kazumasa Saito; 斎藤　和正; Shoji Shiba; 昭二芝; Keiji Watabe; 慶二渡部; Takahisa Namiki; 崇久並木
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1988-12-15
Filing date: 1988-12-15
Publication date: 1990-06-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概　要〕本発明は、可視レーザ記録用感光材料に関し、可視レー
ザに高感度であり、かつ解像性や保存安定性に優れた感
光材料を提供することを目的とし、下式（１）または（ＩＩ）で表わされるポリマと、下式
（ＩＩＩ）で表わされる鉄アレーン錯体とで構成する。

Ｕ−５１ＬｚＲ３（弐（１）および（ＩＩ）において、Ｒ，、Ｒ，、Ｒｆ
ｆは水素原子、アルキル基、アルケニル基またはフェニ
ル基であり、Ｒ４はアルキレン基である。）（式（■）
において、Ｘ−はＢＦ４−１ＰＦＩ、−、八ｓＦ６また
は５ｂＦｂ−であり、Ａは縮合芳香族環である。）〔産
業上の利用分野］本発明は、可視レーザ記録用感光材料に関する。

可視レーザ記録用感光材料は凸版用、レリーフ像用、フ
ォトレジスト用などに広（適用されている。

このような可視レーザ記録用感光材料の有すべき特性と
しては、（１）高感度であること（２）高解像度を有すること（３）保存安定性に優れていること（４）アルカリ現像が可能なことなどが要求される。

ここで、用いるレーザは安定して高い出力が得られ、コ
ヒーレント長に優れたガスレーザであるＡｒイオンレー
ザ（波長：４５８．４８Ｂおよび５１４ｎｍ）が望まし
い。

〔従来の技術〕

可視レーザ記録用感光材料としては、可視光に対して十
分な感度を持つことが必要である。従来より、感度を増
大させるために光重合開始剤系について多くの研究がな
されている。光重合開始剤としてはベンゾインおよびそ
の誘導体、置換または非置換の多核キノン類など多くの
物質が既に知られているが、特に可視光において十分な
感度や解像性を有するものは知られていない。

また、たとえばＮ−フェニルグリシンのようなＮ〜ルア
リールα−アミノ酸と各種の光吸収性化合物とを組み合
わせた材料が知られている（時開５７−８３５０１号公
報など）。しかし、この材料も感度および解像性が５０
０ｍＪ　／　ｃｉ程度および２００廂ライン程度で十分
ではなく、保存安定性が劣るなどの問題点がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、可視レーザに高感度であり、かつ解像性およ
び保存安定性に優れた感光材料を提供することを目的と
する。

（式（りおよび（ＩＩ）において、Ｒ，、Ｒ，、Ｒ。

は水素原子、アルキル基、アルケニル基またはフェニル
基であり、Ｒ４はアルキレン基である。）〔課題を解決
するための手段〕上記の目的は、本発明によれば、下式（１）または（ｎ
）で表わされるポリマと、下式（ＩＩＩ）で表わされる
鉄アレーン錯体とから成る可視レーザ記録用感光材料に
よって達成される。

＾（式（Ｉ［Ｉ）において、Ｘ−はＢＦ４−ＩＰＦ、−Ｉ
ＡＳＦ６−または５ｂＦｈ−であり、Ａは縮合芳香族環
である。）式（１）または（Ｉｌ）で表されるポリマは
、ボリ（Ｐ−ヒドロキシスチレン）の水酸基をトリオル
ガノシリル基またはアルキレントリオルガノシリル基に
よりブロックした形のポリマである。

式（ＩＩ［）の鉄アレーン錯体は、３００〜５６０ｎ１
１１の可視光を吸収して酸を発生ずる酸発生剤として作
用する。

式（ＩＩ［）中、Ａの縮合芳香族環は、たとえばベンゼ
ン、ナフタレン、ナフタセン、ピレン、ナフタビレンな
どである。

この機構を、式（１）のポリマを用いた場合について示
すと下記のとおりである。

〔作　用〕

本発明では、ポリマ中の特定の官能基を保護しておき、
これを可視レーザ照射で発生した酸によりはずして元の
官能基に戻す機構を利用する。

すなわち、可視光の吸収能が大きい式（ＩＩＩ）の鉄ア
レーン錯体が光を吸収して酸を発生し、式（１）または
（ＩＩ）のポリマのブロックされた置換基がはずれて、
アルカリ可溶性のポリ（ｐ−ヒドロキシスチレン）とな
る。アルカリ現像により露光部が溶解しポジパターンが
得られる。

次に、この右辺のポリマがアルカリ現像によってン容解
する。

保護基として用いるトリオルガノシリル基とアルキレン
−トリオルガノシリル基は酸を触媒とする開裂速度が速
く、かつ酸が存在しない場合、すなわち、露光しない限
り極めて安定である。これにより、本発明の可視レーザ
記録用感光材料によれば、高感度、高解像度、高保存安
定性が同時に得られる。保存安定性は、暗反応を考慮し
ても半年以上確保できる。

以下に、実施例によって、本発明を更に詳しく説明する
。

実施例１下記組成の感光液をシリコン基板上にスピンコードして
乾燥後の膜厚が５源の感光板を形成した。

式（１）のポリマ：ポリ（ｐ−トリオルガノメチルシロキシスチレン）　　　　１０　　ｇ
酸発生剤＝　（η６−ナフタレン）（η５−シクロペンタジェニル）鉄（ＩＩ）へキサフルオロホスフェイト　　　　　０．５
　ｇ？容斉Ｑ：モノクロルベンゼン　　　　　　　４０
　　ｇメチルイソブチルケトン　　　　　４０　　ｇテ
トラヒドロフラン　　　　　　　４０　　ｇこの感光板
を用い、Ａｒ　レーザ（４８８ｎｍ）を用いてフォトマ
スクを通して露光した。現像液としてテトラメチルアン
モニウムヒドロキシドを用いて、ポジ型のパターンを形
成した。

その結果、露光ｉｔ　２５　ｍＪ　／　ｃｍ！で１０−
ラインの再現を確認した。

実施例２下記組成の感光液を用いて実施例１と同様の操作を行っ
た。

式（１）のポリマ：ポリ（ｐ−トリオルガノメチルシロキシスチレン）１０ｇ酸発生剤；　
（η６−ピレン）（η５−シクロペンタジェニル）ｉ（
ｎ）ヘキサフルオロホスフェイト　　　　　　　０．５ｇ？
容剤：モノクロルベンゼン　　　　　　　４０　　ｇメ
チルイソブチルケトン　　　　　４０　　ｇテトラヒド
ロフラン　　　　　　　４０　　ｇ以下、実施例１と同
様に行う。

その結果、露光量１０ｍＪ／ｃｒｊで１０ｍラインの再
現を確認した。

実施例３下記組成の感光液を用いて実施例１と同様の操作を行な
った。

式（ＩＩ）のポリマ：ポリ（ｐ−トリメチルシリルメトキシスチレン）１２ｇ酸発生剤；　（
η６ピレン）（η５シクロペンタジェニル）鉄（ｎ）ヘキサフルオロアンチモネイト　　　　　　０．５ｇ溶
剤：モノクロルベンゼン　　　　　　　４０　　ｇメチ
ルイソブチルケトン　　　　　４０　　ｇテトラヒドロ
フラン　　　　　　　４０　　ｇ以下、実施例１と同様
に行う。

その結果、２０ｍＪ／ｃ＋ｆｉで１０−ラインの再現を
確認した。

実施例４下記組成の感光液を用いて実施例１と同様の操作を行な
った。

式（ｎ）のポリマ：ポリ（ｐ−トリメチルシリルエトキシスチレン）１２ｇ酸発生剤；　（
η６ビレン）（η５シクロペンタジェニル）鉄（ＩＩ）ヘキサフルオロアンチモネイト　　　　　　０．５ｇ溶
剤：モノクロルベンゼン　　　　　　　４０　　ｇメチ
ルイソブチルケトン　　　　　４０　　ｇテトラヒドロ
フラン　　　　　　　４０　　ｇ以下、実施例１と同様
に行う。

その結果、１５ｍＪ／ｃｉｄで１０卿ラインの再現を確
認した。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の可視レーザ記録用感光材
料は、可視光領域において従来の感光材料よりも著しく
高い感度および解像度でパターンを形成することができ
、かつ実用的に十分な保存安定性を有する。

Claims

【特許請求の範囲】１、下式（ I ）または（II）で表わされるポリマと、
下式（III）で表わされる鉄アレーン錯体とから成る可
視レーザ記録用感光材料。 ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼（II）（式（ I ）および（II）において、Ｒ＿１、Ｒ＿２、
Ｒ＿３は水素原子、アルキル基、アルケニル基またはフ
ェニル基であり、Ｒ＿４はアルキレン基である。）▲数
式、化学式、表等があります▼（III）（式（III）において、Ｘ＾−はＢＦ＿４＾−、ＰＦ＿
６＾−、ＡｓＦ＿６＾−、またはＳｂＦ＿６＾−であり
、Ａは縮合芳香族環である。）