JPH02163702A

JPH02163702A - プラスチック製光学部品の反射防止膜

Info

Publication number: JPH02163702A
Application number: JP63319050A
Authority: JP
Inventors: Nahoko Shimamura; 島村　奈保子; Toshiaki Ogura; 敏明小倉
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-12-16
Filing date: 1988-12-16
Publication date: 1990-06-25

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、プロジェクションテレビ、ビデオカメラ、ス
チルカメラ等の光学系に使用されるプラスチック製光学
部品の反射防止膜に関するものである。

従来の技術従来、レンズなどの光学部品には無機ガラスが多く使用
されてきたが、近年、軽量で加工が容易であり、且つ量
産に適している点等で優れているプラスチックが光学部
品の素材として用いられるようになってきた。しかしな
がら、プラスチックレンズなどのプラスチック製光学部
品は、無機ガラス同様に表面での光の反射が大きいとい
う欠点があるこの欠点を解消するために、プラスチック
光学部品の表面に無機ガラスと同様の反射防止膜を形成
し、表面の反射の防くことは一般技術として知られてい
る。（例えば［精密プラスチック光学レンズの設計、成
形技術とその問題点」トリケッブス資料集Ｎα８７Ｐ６
−１〜Ｐ６−４）以下図面を参照しながら従来のプラス
チック製光学部品の反射防止膜について説明する。第２
図はプラスチック製光学部品の表面に無機ガラスの表面
に形成される反射防止膜と同じ、弗化マグネシウムから
なる単層膜を形成した構造を示す図であり、第３図（ｂ
）はその分光反射特性を示す図であり、比較のための第
３図（Ｃ）は反射防止膜を形成していない場合のプラス
チック製光学部品の分光反射特性を示す図である。第２
図において、１はプラスチック製光学部品、３は弗化マ
グネシウムよりなる反射防止膜である。前記反射防止膜
７は、通常真空蒸着法によって形成されるが、最近では
反射防止膜とプラスチック製光学部品表面との密着性や
耐久性を向上させるために、プラスチック光学部品を６
０゛Ｃ〜８０゛Ｃに加熱して真空薄着する方法や、ＲＦ
イオンブレーティング方法を用いて反射防止膜を形成す
る方法が行われている。

発明が解決しようとする課題上記の反射防止膜形成法の従来例である真空蒸着方法で
、弗化マグネシウムからなる反射防止膜を形成する例で
は、プラスチックの流動温度、熱変形温度が低く、又、
プラスチック内部からの放出ガスの課題もあるため、無
機ガラス基板に蒸着膜を形成する時に行う。基板加熱（
通常３００°Ｃ〜４００℃）が不可能で、強固な蒸着膜
を得ることができず、５０゛Ｃ〜６０°Ｃ以下の低温で
プラスチック製光学部品の表面に反射防止膜を形成を行
うが、この低温で形成された反射防止膜はプラスチック
表面との発着性が悪く、耐久性も低いものである。

また、プラスチック製光学部品を６０゛Ｃ〜８０゛Ｃに
加熱したり、ＲＦイオンブレーティング法等を用いて形
成した反射防止膜は、クラックが生じやすく、また、形
成時の条件を一定にし、且つプラスチック表面の状態を
一定に保つことは困難であり、量産にも適すものではな
い、さらに、第３図の）に示すように、フッ化マグネシ
ウムの単層膜での反射防止膜は、中心波長（λ０）にお
いて残存反射率が約１．５％ありプラスチック製光学部
品の反射防止膜としては十分な特性をもっていない。

以上のように従来のプラスチック製光学部品の反射防止
膜には、プラスチック表面との密着性が悪く、耐久性に
も劣り、反射防止膜としての光学特性も十分でないとい
う課題を有していた。

本発明は上記課題に鑑み、プラスチック光学部品に対し
ての密着性、耐久性及び光学特性に優れた反射防止膜を
提供するものである。

課題を解決するための手段本発明は前記課題を解決するために、プラスチック製光
学部品の表面に、表面側から空気側へ、第１Ｎ、第２層
、第３Ｎ、第４層、第５層の５ｊＩ構造の蒸着膜を形成
して反射防止膜を構成する構造であって、第１層、第３
層、第５層は二酸化ケイソ、第２層、第４層は酸化セリ
ウムからなることを特徴とする反射防止膜を提供するも
のである。

作用本発明は、プラスチック製光学部品の表面に、二酸化ケ
イソ、酸化セリウムからなる交互５層反射防止膜を形成
するものであり、その結果、密着性、耐久性及び光学特
性に優れた反射防止膜を得ることができる。

実施例以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明のプラスチック製光学部品の反射防止膜
の構成を示す図であり、第３図（ａ）はその分光反射特
性例を示す。第１図において、１はプラスチック製光学
部品、２．４．６は二酸化ケイソからなる第１層、第３
層、第５層、３．５は酸化セリウムからなる第２層、第
４層であり、本発明における具体的内容は第１表に示す
通りである。

以下余白第　　１　　表（λｏ−４５０ｎｍ）またそれぞれの層はプラスチランク製光学部品を６０°
Ｃ以下に保持した状態のもとで、真空蒸着法により形成
した。

上記本発明の実施例と従来の反射防止膜との密着性、耐
久性を比較するために行った試験は、（＋）粘着テープ
剥離試験（温度４０°Ｃ１相対湿度８５％の高温・高温
雰囲気中に１０００時間放置したあと、粘着テープをプ
ラスチック製光学部品表面に密着し、引き剥がす。）　
、（２）耐湿試験（温度４０°Ｃ５相対温度９５％の高
温・高温雰囲気中に１０００時間放置）、（３）熱衝撃
試験（温度−３０’Ｃ，７０°Ｃの低温・高温雰囲気中
に交互に３０分間ずつ放置を約１００時間）であり、比
較のための従来の反射防止膜は、前記従来例の１つであ
るプラスチック製光学部品の表面に弗化マグネシウムの
反射防止膜を、。真空１着法で、光学的膜厚λｏ／４（
λｏ”’　５５０ｎａ＋）の厚さに形成したものであり
、第２図に示す構造のものである。密着性・耐久性試験
結果は第２表に示す通りである。

第　　２　　表第２表から分かるように本発明の反」・を防止膜は、従
来の反射防止膜より、密着性、耐久性の点で優れている
。さらに従来例は、反射防止膜形成時にクラックの発生
がみられたが、本発明の実施例においては反射防止膜は
常時安定していた。分光反射特性に関しても第３図（ａ
）から分かるように中心波長（λｏ＝５５０ｎｍ）で反
射率的０．４％であり従来例より反射防止として優れて
おり、且つ広帯域において優れた特性が得られた。

発明の効果以上の説明から明らかなように、本発明のプラスチック
製光学部品の反射防止膜は、二酸化ケイソからなる第１
層、第３Ｎ、第５層、酸化セリウムからなる第２層、第
４層という構造をとることによって、プラスチック製光
学部品との密着性を高め、反射防止膜の耐久性の向上と
共に、分光反射特性にも優れ、クラックの発生も防げ、
従来例の持つ欠点を解消する効果を有する。また、本発
明のプラスチック製光学部品の反射防止膜は量産にも適
しているため、その実用上の価値は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、１本発明のプラスチック製光学部品の反射防
止膜の反射防止膜の構成図、第２図は、従来のプラスチ
ック製光学部品の反射防止膜の構成図、第３図は、分光
反射特性を示すグラフである。１・・・・・・プラスチック製光学部品、２，４．６・
・・・・・二酸化ケイソからなる薄膜、３．５・・・・
・・酸化セリウムからなる薄膜、５・・・・・・弗化マ
グネシウムからなる薄膜。代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名ｌ゛−７′
ラスナック裂九字節品

Claims

【特許請求の範囲】

（１）プラスチック製光学部品の表面に、前記表面側か
ら空気側に順に、第１層、第２層、第３層、第４層、第
５層の５層構造の蒸着膜を形成する構造であって、前記
第１層、第３層、第５層は二酸化ケイソからなり、第２
層、第４層は酸化セリウムからなることを特徴とする、
プラスチック製光学部品の反射防止膜。
（２）第１層、第２層、第３層、第４層、第５層の屈折
率をＮ＿１、Ｎ＿２、Ｎ＿３、Ｎ＿４、Ｎ＿５、幾何学
的膜厚をｄ＿１、ｄ＿２、ｄ＿３、ｄ＿４、ｄ＿５とし
、設定基準波長をλ＿ｏとしたとき、各層の光学的膜厚
Ｎ＿１・ｄ＿１、Ｎ＿２・ｄ＿２、Ｎ＿３・ｄ＿３、Ｎ
＿４・ｄ＿４、Ｎ＿５・ｄ＿５が設定基準波長に対し、
下記の条件の範囲であることを特徴とした請求項（１）
記載のプラスチック製光学部品の反射防止膜。Ｎ＿１・ｄ＿１＝０．１０λ＿ｏＮ＿２・ｄ＿２＝０．０５λ＿ｏＮ＿３・ｄ＿３＝０．１０λ＿ｏＮ＿４・ｄ＿４＝０．５０λ＿ｏＮ＿５・ｄ＿５＝０．２５λ＿ｏ