JPH02165153A - 現像装置と現像方法 - Google Patents
現像装置と現像方法Info
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- JPH02165153A JPH02165153A JP63321179A JP32117988A JPH02165153A JP H02165153 A JPH02165153 A JP H02165153A JP 63321179 A JP63321179 A JP 63321179A JP 32117988 A JP32117988 A JP 32117988A JP H02165153 A JPH02165153 A JP H02165153A
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- Photographic Processing Devices Using Wet Methods (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は微細加工に用いられる感光性樹脂、とりわけポ
ジ型の感光性樹脂の現像についての現像装置及び現像方
法に関するものである。
ジ型の感光性樹脂の現像についての現像装置及び現像方
法に関するものである。
従来の技術
近年の微細加工技術を必要とする分野の拡大には目をみ
はるものがある。シリコン系半導体プロセスにおいては
、超ＬＳＩに代表されるように微細化は光学露光の限界
と言われる０、 ５μ程度のサブミクロン領域にまで
達している。ただし、必要とされる露光エリアは当面６
インチ程度であり、将来的にも１０インチを越える必然
性は無さそうである。一方、プリント基板の分野におい
ては、解像力はせいぜい０．０５ｍｍであるが、６０ｃ
ｍ角の大きさまで対応可能な露光機が既に製品化されて
いる。ところが液晶技術、実装技術等の飛躍的進歩によ
り液晶パネルの画面サイズもポケット・テレビの範１で
ある２−３インチから、ラップ・トブブ型のパソコン端
末のデイスプレィとしての６−１０インチは言うに及ば
ず、壁掛はテレビを口重した１２−１４インチのものま
でが開発されてきた。
はるものがある。シリコン系半導体プロセスにおいては
、超ＬＳＩに代表されるように微細化は光学露光の限界
と言われる０、 ５μ程度のサブミクロン領域にまで
達している。ただし、必要とされる露光エリアは当面６
インチ程度であり、将来的にも１０インチを越える必然
性は無さそうである。一方、プリント基板の分野におい
ては、解像力はせいぜい０．０５ｍｍであるが、６０ｃ
ｍ角の大きさまで対応可能な露光機が既に製品化されて
いる。ところが液晶技術、実装技術等の飛躍的進歩によ
り液晶パネルの画面サイズもポケット・テレビの範１で
ある２−３インチから、ラップ・トブブ型のパソコン端
末のデイスプレィとしての６−１０インチは言うに及ば
ず、壁掛はテレビを口重した１２−１４インチのものま
でが開発されてきた。
このような液晶パネルにおいて１よ、特に絵素毎にスイ
ッチング素子を内蔵さぜた゛ｒクチイブ型の液晶パネル
においては解像力は集積回路並の数μｍを必要としてい
る。−括転写の露光方式ではホト拳マスクおよび光学系
に多くの問題点を抱えでおり、分割露光の大型スブ′ツ
バ−も３０ ｃ ｍ角までは対応可能となっているが、
何れにせよ、より大面積の基板に対しても生産性を低下
させることなく、すなわちスルーブツトを低下させるこ
となく数μｍのパターンを形成すための露光方式と露光
機が必要と成りつつある。
ッチング素子を内蔵さぜた゛ｒクチイブ型の液晶パネル
においては解像力は集積回路並の数μｍを必要としてい
る。−括転写の露光方式ではホト拳マスクおよび光学系
に多くの問題点を抱えでおり、分割露光の大型スブ′ツ
バ−も３０ ｃ ｍ角までは対応可能となっているが、
何れにせよ、より大面積の基板に対しても生産性を低下
させることなく、すなわちスルーブツトを低下させるこ
となく数μｍのパターンを形成すための露光方式と露光
機が必要と成りつつある。
上記した大面積のデバイスに対して現状は殆どポジ型の
感光性樹脂が採用されている。その理由は、イ）露光機
と基板の反りや平行度との兼ね合いから解像力にウェイ
トのかかった選定がなされた、口）引火性がネガ型のも
のと比較ｔ、て弱く取扱の安全性を重視した、ハ）感光
性樹脂の除去性に関して問題が少ない、等によるものと
思われ、コスト面から考えられる不利を凌いでいる。
感光性樹脂が採用されている。その理由は、イ）露光機
と基板の反りや平行度との兼ね合いから解像力にウェイ
トのかかった選定がなされた、口）引火性がネガ型のも
のと比較ｔ、て弱く取扱の安全性を重視した、ハ）感光
性樹脂の除去性に関して問題が少ない、等によるものと
思われ、コスト面から考えられる不利を凌いでいる。
ポジ型の感光性樹脂の現像形態も処理の規模により −
枚ず・つの枚葉処理と多数枚を一括で処理するバッチ処
理があり、また現像方法も現像液をシャワー状に噴射す
る方式、現像液中での放置または撹拌を伴った浸漬方式
と様々であるが、ここでは従来例として枚葉シャワ一方
式についで添付図面により説明する。
枚ず・つの枚葉処理と多数枚を一括で処理するバッチ処
理があり、また現像方法も現像液をシャワー状に噴射す
る方式、現像液中での放置または撹拌を伴った浸漬方式
と様々であるが、ここでは従来例として枚葉シャワ一方
式についで添付図面により説明する。
図面の現像機はり５互いにエアー−カーテンあるいは仕
切り壁で遮断された現像室１、リンス室２、乾燥室３と
、現像前後の基板を収納しておくカセット４の搭載場所
５．６とよりなる自動機械である。現像室１においては
、現像液７をシャワー状に噴射するだめの複数個のノズ
ル８が設置されており、基板に噴射された現像液は回収
されて再使用される。回収用ド１ツイン９より回収タン
ク１０に回収された現像液７′はポンプ１１（ごよっ°
Ｃ再びノズル８より噴射される。すなわち、連続運転で
現像が継続される。回収した現像液の均質化を目的とし
て回収タンクに循環専用のポンプを設置してもよい。リ
ンス室２においては、７ノズル１２よりリンス液である
純水１３が同じくシャワー状に噴射されて現像液を洗い
流している。図示はしないが、基板の裏面にも純′水は
噴射されて洗浄効果を上げるように配慮されている。乾
燥室３においては、ノズル１４より６０−１２０＠Ｃに
加熱されたクリーン酔エアまたは乾燥窒素ガス１５が基
板の両市に吹き付ｉ−１られて水切りと乾燥が同時にな
される（エア一番→−イフ乾燥）。
切り壁で遮断された現像室１、リンス室２、乾燥室３と
、現像前後の基板を収納しておくカセット４の搭載場所
５．６とよりなる自動機械である。現像室１においては
、現像液７をシャワー状に噴射するだめの複数個のノズ
ル８が設置されており、基板に噴射された現像液は回収
されて再使用される。回収用ド１ツイン９より回収タン
ク１０に回収された現像液７′はポンプ１１（ごよっ°
Ｃ再びノズル８より噴射される。すなわち、連続運転で
現像が継続される。回収した現像液の均質化を目的とし
て回収タンクに循環専用のポンプを設置してもよい。リ
ンス室２においては、７ノズル１２よりリンス液である
純水１３が同じくシャワー状に噴射されて現像液を洗い
流している。図示はしないが、基板の裏面にも純′水は
噴射されて洗浄効果を上げるように配慮されている。乾
燥室３においては、ノズル１４より６０−１２０＠Ｃに
加熱されたクリーン酔エアまたは乾燥窒素ガス１５が基
板の両市に吹き付ｉ−１られて水切りと乾燥が同時にな
される（エア一番→−イフ乾燥）。
感光性樹脂が塗４Ｊされた而を上向きにしてカセット４
に収納された例えばガラス基板１６は、図示はしないが
搬送機構によりローダ一部５よりエアー−カーテンまた
は仕切り壁を通過１７て現像室１内に送り込まれ、規定
の時間だけ現像液を浴びるよう搬送ローラー１７上を流
れて、あるいは搬送ロー・クー１フ上での一特停止も含
んで規定の時間だけ現像室１内に滞在した後に、コアー
６カーテンまたは仕切り壁を通過してリンス室２に送り
込まれる。リンス室２においては基板の上下両面から純
水１３を噴射されながら搬送ロー・ニア−１７上を流れ
ていき、作アーｏカーテンまたは仕切りミ＼壁を通過＋
、、’ｒ乾燥室３に送り込まれる。乾燥室３においては
６１λ仮の上下両面から熱風１５を吹き付けられなｈ（
ら搬送ローラー１７」二を流れていき、はぼ乾燥し７終
わった状態でアンローダ一部６で再びカセ・・ノド４に
収納される。乾燥室３に於ける加熱で感光性樹脂の現像
後のベーキングが不十分な場合には、さらに熱風循環の
クリーン会オーブンまたはホットΦプレートによるべ−
４−ングヲ追加すればよい。
に収納された例えばガラス基板１６は、図示はしないが
搬送機構によりローダ一部５よりエアー−カーテンまた
は仕切り壁を通過１７て現像室１内に送り込まれ、規定
の時間だけ現像液を浴びるよう搬送ローラー１７上を流
れて、あるいは搬送ロー・クー１フ上での一特停止も含
んで規定の時間だけ現像室１内に滞在した後に、コアー
６カーテンまたは仕切り壁を通過してリンス室２に送り
込まれる。リンス室２においては基板の上下両面から純
水１３を噴射されながら搬送ロー・ニア−１７上を流れ
ていき、作アーｏカーテンまたは仕切りミ＼壁を通過＋
、、’ｒ乾燥室３に送り込まれる。乾燥室３においては
６１λ仮の上下両面から熱風１５を吹き付けられなｈ（
ら搬送ローラー１７」二を流れていき、はぼ乾燥し７終
わった状態でアンローダ一部６で再びカセ・・ノド４に
収納される。乾燥室３に於ける加熱で感光性樹脂の現像
後のベーキングが不十分な場合には、さらに熱風循環の
クリーン会オーブンまたはホットΦプレートによるべ−
４−ングヲ追加すればよい。
発明が解決し、ようとする課題
−１，記し７た現像機においては、現像は時間管理によ
ってなされる。ところが周知のように、ポジ型の感光性
樹脂の現像においては、現像液の使用が繰り返されると
現像能力が低１ぐして１）量制御では現像不足になるＩ
・ラブルを避けられなかった。そこで、通常は他校の基
板を現像処理し７たか、計測するカウンタを併設してお
き、現像液の使用限界をオペレータに通告する警報によ
って現像を中断し、現像液を交換していた。現像能力の
低下に対応して現像時間を長くするとか、現像液の液１
Ｌ（を晶くするなどの手段を講゛じれば、現像液の効率
的使用と現像装置の長時間運転が可能となることは容易
に推察される。しかしながら、ホト・マスク毎に専用化
された現像ラインでない限り、現像のロフト毎に現像で
除去する感光性樹脂の量が異なることは避けられず、ま
た現像装置の待機時間中に現像液に取り込まれる二酸化
炭素（ＣＯ２） の量によっても現像能力が低下する
ことも相まって、品質管理の面からは安全を見込んだ枚
数管理で早めに現像液を交換しているのが現状である。
ってなされる。ところが周知のように、ポジ型の感光性
樹脂の現像においては、現像液の使用が繰り返されると
現像能力が低１ぐして１）量制御では現像不足になるＩ
・ラブルを避けられなかった。そこで、通常は他校の基
板を現像処理し７たか、計測するカウンタを併設してお
き、現像液の使用限界をオペレータに通告する警報によ
って現像を中断し、現像液を交換していた。現像能力の
低下に対応して現像時間を長くするとか、現像液の液１
Ｌ（を晶くするなどの手段を講゛じれば、現像液の効率
的使用と現像装置の長時間運転が可能となることは容易
に推察される。しかしながら、ホト・マスク毎に専用化
された現像ラインでない限り、現像のロフト毎に現像で
除去する感光性樹脂の量が異なることは避けられず、ま
た現像装置の待機時間中に現像液に取り込まれる二酸化
炭素（ＣＯ２） の量によっても現像能力が低下する
ことも相まって、品質管理の面からは安全を見込んだ枚
数管理で早めに現像液を交換しているのが現状である。
従って現像液の効率的使用という観点では、随分と無駄
が多いという問題があった。
が多いという問題があった。
本発明は上述の問題に鑑み発明されたもので、回収され
た循環現像液に光を照射して透過光の大きさを計測し、
現像液の劣化度合を現像液の透明度から判定し、現像時
間を現像液の劣化度合に応じて長くすることによって前
述の問題を解消した現像方法を提供することを目的とす
る。
た循環現像液に光を照射して透過光の大きさを計測し、
現像液の劣化度合を現像液の透明度から判定し、現像時
間を現像液の劣化度合に応じて長くすることによって前
述の問題を解消した現像方法を提供することを目的とす
る。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成するため、請求項１の発明はポジ型感
光性樹脂用の現像液をシャワー状に噴射する機構と、前
記現像液を回収して再び噴射する機構を備えた現像装置
において、回収された現像液の透明度を検出する機構と
、現像液の透明度に対応して現像時間を制御する機構と
を備えたことを特徴とする請求項２の発明は、ポジ型の
感光性樹脂が塗布され、所定のマスクパターンが露光さ
れた基板に現像液をシャワー状に噴射して現像するとと
もに、現像液を回収して再び噴射するための循環機構に
備えられた検出器により現像液の透明度を計測し、前記
現像液の透明度に対応して現像時間を制御することを特
徴とする。
光性樹脂用の現像液をシャワー状に噴射する機構と、前
記現像液を回収して再び噴射する機構を備えた現像装置
において、回収された現像液の透明度を検出する機構と
、現像液の透明度に対応して現像時間を制御する機構と
を備えたことを特徴とする請求項２の発明は、ポジ型の
感光性樹脂が塗布され、所定のマスクパターンが露光さ
れた基板に現像液をシャワー状に噴射して現像するとと
もに、現像液を回収して再び噴射するための循環機構に
備えられた検出器により現像液の透明度を計測し、前記
現像液の透明度に対応して現像時間を制御することを特
徴とする。
作用
本発明によれば、現像液の現像能力の低下の程度は現像
液の透明度の検出により判定でき、この現像液の透明度
に対応して現像時間が自動的に制御できる。
液の透明度の検出により判定でき、この現像液の透明度
に対応して現像時間が自動的に制御できる。
現像回数や処理枚数ではなく、除去した感光性樹脂の量
に比例して現像液の透明度が低下することから、マスク
・パターンが異なる基板の現像の繰り返しに対しても生
産性の低下が問題となるまで現像時間を長くして現像液
の効率的な使用を図ることが可能となる。
に比例して現像液の透明度が低下することから、マスク
・パターンが異なる基板の現像の繰り返しに対しても生
産性の低下が問題となるまで現像時間を長くして現像液
の効率的な使用を図ることが可能となる。
実施例
現像液が新しい間は現像液の透明度は高いのであるが、
露光によって現＆液に溶解し易くなった感光性樹脂の処
理量が増大すると透明度が低下してくると同時に現像能
力も低下してくるので、処理時間を長くしないと残存パ
ターン間に感光性樹脂が残って解像力を保てなくなる。
露光によって現＆液に溶解し易くなった感光性樹脂の処
理量が増大すると透明度が低下してくると同時に現像能
力も低下してくるので、処理時間を長くしないと残存パ
ターン間に感光性樹脂が残って解像力を保てなくなる。
そこで現像液の透明度を第１図の点線で囲んだ部位１８
内に示された光源１９と検出器２０によって常時計測可
能とする必要がある。もちろん、光源１９からの照射光
が透過するように回収タンク１０と循環ポンプ１１との
間を接続する配管は、透明度の高い樹脂パイプを用いる
か、測定用の窓を備えていなければならない。また光＃
１９と検出器２０および測定場所は周囲の迷光の影響を
受けないように適当に暗所化される。
内に示された光源１９と検出器２０によって常時計測可
能とする必要がある。もちろん、光源１９からの照射光
が透過するように回収タンク１０と循環ポンプ１１との
間を接続する配管は、透明度の高い樹脂パイプを用いる
か、測定用の窓を備えていなければならない。また光＃
１９と検出器２０および測定場所は周囲の迷光の影響を
受けないように適当に暗所化される。
検出器からの電気信号は制御器２１に送られ、制御器２
１では現像液の透明度の低下に従って現像時間が長くな
るように、搬送ローラー１７の送り速度を低下する制御
信号、あるいは現像室１内における基板の搬送ローラー
上での一時停止時間を長くする制御信号が搬送機構に発
せられる。
１では現像液の透明度の低下に従って現像時間が長くな
るように、搬送ローラー１７の送り速度を低下する制御
信号、あるいは現像室１内における基板の搬送ローラー
上での一時停止時間を長くする制御信号が搬送機構に発
せられる。
発明の効果
以上述べたように、予め規定された処理時間よりも生産
性の低下が問題となる程度まで、例えば現像時間を最初
２分で設定したのであれば、約４分までの延長化によっ
て現像液の効率的使用が達成され、間接材料である現像
液の使用量の最適化がなされてコスト・ダウンの実効は
極めて高いものとなる。それ以上の延長化は例え可能で
あっても製造工程の生産管理上、生産計画の予定表作成
に影響が大きすぎて混乱するので、従来通り作業者に現
像液の交換時期を警告するようになっていることは言う
までもない。
性の低下が問題となる程度まで、例えば現像時間を最初
２分で設定したのであれば、約４分までの延長化によっ
て現像液の効率的使用が達成され、間接材料である現像
液の使用量の最適化がなされてコスト・ダウンの実効は
極めて高いものとなる。それ以上の延長化は例え可能で
あっても製造工程の生産管理上、生産計画の予定表作成
に影響が大きすぎて混乱するので、従来通り作業者に現
像液の交換時期を警告するようになっていることは言う
までもない。
図面はポジ型の感光性樹脂の現像方法の一例として取り
上げた枚葉シャワー処理の現像装置の簡単な分解図であ
り、点線で囲んだ部位１８が木発明による現像液の透明
度測定と現像時間の制御系である。 １８−φ・本発明によるシステム部、１９φ０−光源、
２０−−φ検出器、２１・馨・制御器。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名１８−・・
本発明（：よるシステム節 ｔｑ−−〜光琢 ２０−”績工暴 ２１−・・喪１１４泰 手 続 補 正 書 （方式） 平成元年に月ノア日 ／
上げた枚葉シャワー処理の現像装置の簡単な分解図であ
り、点線で囲んだ部位１８が木発明による現像液の透明
度測定と現像時間の制御系である。 １８−φ・本発明によるシステム部、１９φ０−光源、
２０−−φ検出器、２１・馨・制御器。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名１８−・・
本発明（：よるシステム節 ｔｑ−−〜光琢 ２０−”績工暴 ２１−・・喪１１４泰 手 続 補 正 書 （方式） 平成元年に月ノア日 ／
Claims (2)
- （１）ポジ型感光性樹脂用の現像液をシャワー状に噴射
する機構と、前記現像液を回収して再び噴射する機構を
備えた現像装置において、回収された現像液の透明度を
検出する機構と、現像液の透明度に対応して現像時間を
制御する機構とを備えたことを特徴とする現像装置。 - （２）ポジ型の感光性樹脂が塗布され、所定のマスクパ
ターンが露光された基板に現像液をシャワー状に噴射し
て現像するとともに、現像液を回収して再び噴射するた
めの循環機構に備えられた検出器により現像液の透明度
を計測し、前記現像液の透明度に対応して現像時間を制
御することを特徴とする現像方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321179A JP2695215B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 現像装置と現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321179A JP2695215B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 現像装置と現像方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02165153A true JPH02165153A (ja) | 1990-06-26 |
| JP2695215B2 JP2695215B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=18129674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63321179A Expired - Fee Related JP2695215B2 (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | 現像装置と現像方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2695215B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5772147A (en) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | Method and device for development |
| JPS59232345A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Fujikura Ltd | アルカリ現像タイプドライフイルム現像機のフイルム搬送速度制御方法 |
| JPS6236671A (ja) * | 1985-08-12 | 1987-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 現像補充液の補充方法 |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP63321179A patent/JP2695215B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5772147A (en) * | 1980-10-22 | 1982-05-06 | Mitsubishi Electric Corp | Method and device for development |
| JPS59232345A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Fujikura Ltd | アルカリ現像タイプドライフイルム現像機のフイルム搬送速度制御方法 |
| JPS6236671A (ja) * | 1985-08-12 | 1987-02-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 現像補充液の補充方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2695215B2 (ja) | 1997-12-24 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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