JPH0216567A - 回転デベロッパー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ハイブリッド電子部品用に、光硬化ポリマ
ーからなる誘電レイヤに、穴（ｖｌａｓ）を形成するの
に使用される回転デベロッパー、特にレイヤ及び穴の均
一なデベロップができるようにしたデベロッパーに関す
るものである。

［従来の技術］ ハイブリッド電子部品用に、光硬化ポリマーを用いて誘
電レイヤを形成することは困難であった。

これら電子部品は、セラミック基盤の１側に例えば銅等
の導電物質レイヤを設け、その上に光硬化レイヤを設け
て構成することができる。光硬化レイヤは、光硬化ポリ
マーレイヤで構成される。このポリマーは、化学線に照
射されると架橋を形成するものか、高分子量でレオロジ
カル特性を変化させるものである。好ましいレイヤは、
熱可塑性のレイヤである。光硬化レイヤは、ブロックマ
スクの光透過部を通して化学線にさらされる。マスクの
ブロック部では、レイヤの表面から導電物質に達する穴
状の未硬化部が残る。ポリマーレイヤは、穴を形成する
適当な液により未硬化部を除去、洗い流すことによりデ
ベロップされる。光硬化ポリマーがホーデル（Ｆｏｄｅ
ｌ　）の場合、溶剤は例えば１．１．１−トリクロルエ
タンで、未硬化部は溶かされ、洗い流される。それから
、その壁に穴が形成されたレイヤは乾燥される。穴には
、例えば銅又は金等の導電物質が充填される。かくして
、導電物質レイヤと誘電レイヤの上に取付けられるＩＣ
チップとの間に導電パスが形成される。

υＳＰ３．７７２．１０４には、従来のスピンデベロッ
パーが開示されている。デベロッパーはモータにより回
転されるディスクで構成されている。電子部品がディス
クに取り付けられる。部品がロータによりスピンされて
いる間に、エッチ溶液が部品にスプレィされる。フォト
レジスト上への溶液の衝撃、及び溶解されたフオ］・レ
ジストを含む溶液の遠心力等により、フォトレジストの
溶融部が除去される。

このデベロッパーでは、部品に溶液をスプレィするノズ
ルは、部品の回転中心から離れた、部品に垂直な線上に
位置している。第１図で、部品１０は、矢印Ａで示す半
時針方向に回転しいている。ノズルは点Ｐに向く線上に
位置している。ノズルは通常のファンスプレィノズルで
、アトマイズミストを線りに沿った面でスプレィする。

このデベロッパーでは、−度に只１９の部品の処理がな
されるだけであり、生産性の低いものである。必要なス
ピンレイトは、約３．０００ｒｐｍである。また、スピ
ン中に、部品を装置から飛び出させる力を無くすために
、部品をスピン軸に対して対称に配設しなければならな
いという問題がある。更に、部品、特に大きい面積の部
品を均等にデベロップする面で問題がある。何故なら、
部品はスピン軸から離れるに従って異なった処理がなさ
れるからである。

この発明の目的は、同時に１以上の電子部品の処理がで
きる回転デベロッパーを提供することである。

他の目的は、大きい面積及び非対称の部品に、均一にデ
ベロップできる回転デベロッパーを提供することである
。

［発明の概要］ この発明の回転デベロッパーは、 電子部品のレイヤーの１部を除去して該部品に穴を形成
する回転デベロッパーで、 サポートと、 軸を有するロータで、このロータが軸の周りに回転可能
に上記サポートに取り付けられているものと、 軸ををする部品ホルダで、このホルダが軸の周りに回転
可能に上記ロータに取り付けられているものと、 上記ロータを軸の周りに第１の方向に回転させると共に
、上記ホルダを第２の方向に回転させる手段と、 穴を形成するために１部を除去すると共に、上記レイヤ
及び穴を乾燥させるために、上記レイヤに液及びガスを
スプレィする手段と、 とから構成されている。

また、この発明のデベロップ方法は、 電子部品の硬化部と未硬化部からなるレイヤに穴を形成
するレイヤのデベロップ方法で、電子部品をロータに回
転可能に取りつけられたろホルダに装着する工程と、 ロータをその軸の周りに第１の方向にスピンさせる工程
と、 ホルダをロータ軸の周りにオービットさせる工程と、 ホルダをホルダ軸の周りに回転する工程と、穴を形成す
べく未硬化部を洗い流すために、レイヤ上に液をスプレ
ィする工程と、 レイヤ及び穴を乾燥する工程と、 部品を取り外す工程と、 とからなるものである。

［実施例］ 前述のように、第１図には、聞届のある従来のスピンデ
ベロッパーが示されている。問題点は認識されているが
、現在までその原因は理解されていない。これら原因を
理解することが、本発明を理解するのに役立つ。

第２図に、第１図に示すデベロッパーからのスプレィの
衝撃速度が示すされている。これは、部品の回転軸から
の半径方向距離に関係している。

レイヤ２０が回転軸の周りに矢印Ａで示す半時針方向に
３．０００　ｒ　ｐｍで回転している。回転軸はレイヤ
に垂直で、点Ｒ１を通っている。スプレィはベクトルＢ
で示す均一の速度でレイヤに垂直で下向き向いている。

この速度ｖｂは、毎秒４００インチ（ｉｐｓ）である。

レイヤの回転軸上のＲ１、回転軸から半径方向に０．５
インチ離れたＲ２及び回転軸から半径方向に１インチ離
れたＲ３における瞬間水平方向速度成分ｖｈは、それぞ
れ次にようになる。

Ｒ１でのｖｈ −角速度（ｒｐｍ）Ｘ半径 ＝２πｒ／６０ 一〇 Ｒ２でのｖｈ −（２π’）（０，５）（３０００）（６０）＝１５７
ｉｐｓ Ｒ３でのｖｈ ＝（２π）（１）（３０００）（６０）＝３１４ｉｐｓ これら瞬間速度ｖｈと、速度ｖｂとのベクトル和がＲ１
、Ｒ２及びＲ３点における有効速度Ｖｅとなる。

Ｒ１でのＶ　ｅ　＝　４００１１）　Ｓ　％回転軸から
０度でレイヤに向き Ｒ２での’Ｊｅ−４３０ｉｐｓ、レイヤに対する垂直軸
から２１度でレイヤに向き Ｒ３でのＶｅ−５０９Ｌ　Ｉ）　Ｓ、レイヤに対する垂
直軸から３８度でレイヤに向き 従って、回転軸から離れるに従って、スプレィ衝撃の有
効速度は大きくなり、またレイヤに垂直な線に対する衝
撃角も大きくなる。

第３図に、レイヤの回転軸から離れた位置に形成された
穴（ｖｉａ）３２の断面斜視図が示されている。液りは
、矢印して示されるように、レイヤに垂直にスプレィさ
れる。しかし、レイヤ３０の回転軸周りの矢印Ａで示す
回転により、液の有効な方向は矢印Ｌｅで示すようにな
る。液は、レイヤ３０の未硬化部を部分的に洗い流して
穴３２を形成する。図に示すように、未硬化部は穴３２
の前側より後側３４の方が多く除去される。穴３２がよ
り深くなり、また回転軸からより離れると、そのままの
部３５が残り、穴３２をブロックする。

第１図に示すデベロッパーの他の問題が第４〜６図に示
されている。

第４図に、レイヤ４０に向い液を線４６に沿ってスプレ
ィするファンノズル４４が示されている。

レイヤ４０は、矢印Ａで示す方向に移動している。

液の線４０はレイヤ４０をレーン４８に沿ってのみデベ
ロップする。第５図は、第１図に示すデベロッパーで、
第４図に示すノズルを用いた場合に、レイヤ５０上にデ
ベロップされたレーン５８のパターンを示す。第６図に
、１９のノズルが作動しなかった場合の、第５図のパタ
ーンを示す。レーン６８の１９が無くなっている。デベ
ロップされない面積は回転軸の周りに環状になっている
。

第７図にこの発明の原理図を示す。回転軸からの距離に
関する液の衝撃速度は、第２図に示すものに比べ改善さ
れている。第７図で、１３／４インチ平方のレイヤ７０
が、２１点で図面に垂直な回転軸の周りに矢印Ｘで示す
時計方向に１１００ｒｐで回転、オーとツトしている。

更に、レイヤ７０が、２２点で図面に垂直な回転軸の周
りに矢印Ｗで示す反時計方向に１０Ｏｒ　ｐｍで回転、
スピンしている。点Ｐ１とＲ２との距離即ち半径ｒは、
６インチである。点Ａ即ち半径ｒがレイヤ７０の左縁に
交差する位置、点Ｂ即ち半径「に直゛交する線がレイヤ
７０の前縁を通る位置、及び点Ｃ即ち半径の延長線がレ
イヤの右縁に交わる位置に於ける瞬間接線速度Ｖｔｙは
、 Ａでのｖｔｙ −（２）（π）（５，１２５）（１００／６０）＋（２
）（π）（７／８）（１００／６０）＝６２．８ｉｐｓ Ｂでのｖｔｙ −（２）（π）（６）（１００／６０）＝６２．８ｉｐ
ｓ Ｃでのｖｔｙ −（２）（π）（６，８７５）（１００／６０）（２）
（π）（７／８）（１００／６０）＝６２．８ｉｐｓ 従って、点Ｐ１を通る回転軸からの異なった半径位置に
おけるｙ方向の瞬間速度を同じにすることができる。こ
うして、レイヤ７０の全ての点での波衝撃力が均一にな
る。更に、若しレイヤ７０が、点Ｐ１を通る中心軸の周
りをオービットしている間に、点Ｐ２の周りを回転する
と、未硬化レイヤ部の方向を、１又はそれ以上のノズル
のスプレィを通過するたびに変えることができる。かく
して、第３図に示す問題を無くすことができる。

ロータの回転とレイヤ７０の反対方向回転とにより、穴
はロータの回転速度に応じて形成される。

この回転速度は従来のデベロッパーでの部品の回転速度
より可なり遅い。これにより、非対称部品のデベロップ
が可能になる。

第８図に、本発明の１実施例が示されている。

この回転デベロッパー１００は、電子部品の複数のレイ
ヤ１０２の１部を除去して部品に穴を形成するものであ
る。レイヤ１０２は、硬化及び未硬化（硬化可能）のホ
トポリマーにより構成されている。

デベロッパー１００は、上下端部１０８及び１１０をそ
れぞれ存するレグ１０６を備えたテ−プル状のフレーム
１０４を含む。レグの下端１１０は、例えばボルト部材
１１４により、基礎１１２に固定されている。レグの下
端１１０には、レベラー及び基礎に接する吸振材が設け
られてている。レグの上端には、突出頂部１１８が設け
られている。支持部材１２０がレグに接続され、剛性を
高めると共に支持面となっている。

リップ１２４により円形開口を形成しているタンク即ち
容器１２２が、突出頂部１１８により支持されている。

タンク１２２の開口は、突出頂部１１８近くの水平面に
位置している。タンク１２２は、フレーム１０４の内側
で下方に延び、支持部材１２０により支持されている。

フレーム１０４は蓋即ちサポート１２６を含む。これは
、突出頂部１１８及び／又は支持部材１２０に、ヒンジ
部１２８を介して回動可能に接続されている。

ヒンジ部１２８は、タンク１２２から延びる腕１３０を
有している。この腕１３０は、空圧シリンダ１３４のロ
ッド１３２に接続されている。シリンダ１３４は、ブラ
ケット１３６を介して支持部材１２０に接続されている
。空気圧がロッド１３２をシリンダ１３４内に引き込む
と、蓋１２６は第２即ち開位置に動く。ロッド１３２が
シリンダ１３４から延びると、蓋１２６は第１位置に戻
り、タンク１２２を閉じ、シールする。

蓋１２６は、ヒンジ部１２８に接続されたディスク部１
３８を有している。これが、蓋１２６が第８図に示す第
１位置にあるとき、タンク開口を閉じ、シールする。シ
ール部材がディスク１３８及び／又はタンクリップ１２
４に取付けられている。

ロータ１４０が、ディスク部１３８に回転可能に支持さ
れている。蓋１２６が第１即ち閉位置にあるとき、ロー
タ１４０はタンク１２２内に延出している。ディスク部
１３８には、ロータ１４０に接続される可変速モータ１
４２が取り付けられている。そして、ロータ１４０を第
１の方向、即ちタンク１２２内からロータ１４０を見た
場合に時計方向に、回転即ちスピンさせる。モータ１４
２は、約２０〜２０Ｏｒ　ｐｍの範囲で変速できること
が望ましい。

少なくとも１９の部品ホルダ１４４が、ホルダ軸の周り
に回転可能にロータ１４０に接続されている。ホルダ１
４４は、ロータ軸から同じ半径上に等間隔で配設されて
いる。この例では、ホルダ軸はロータ軸から６インチの
位置にある。ホルダ１４４は、電子部品をレイヤ１０２
を下向きにして、着脱可能に保持できるようになってい
る。ホルダ１４４は、レイヤ１０２を無視できない程覆
うことなく把持する。ホルダを、上記の第１の方向と逆
な、第２の方向に回転させる手段が設けられている。

タンク１２２の内側には、レイヤ１０２上に液及びガス
をスプレィする手段１４６が設けられている。この手段
は、液に溶ける未硬化部を除去して穴を形成し、またレ
イヤ及び穴を乾燥させる。

この手段１４６は、１以上のファンスプレィノズル１５
０を備えたスプレィ手段１４８により構成されている。

このノズル１５０は、液及びガスのアトマイズミスト又
は液スプレィが出来るものから選ばれている。各ノズル
１５０は、ロータ１４０の第１位置（蓋１２６が閉じら
れた位置）において、ホルダ軸上に位置している。

レイヤのホルダ軸周りの回転の、レイヤのロータ軸周り
の回転に対する割合いは、レイヤが各ノズルで、前のノ
ズルで受けたと角度とは異なる角度を受けるようにすべ
きである。これにより、第３図で説明した、前縁と後縁
との効果の差を除くことができる。

液及びガスのスプレィ手段１４６は、ガスをブローして
部品から余剰の液を取り除き、またレイヤの１部を洗い
流すブロー手段１５２を更に備えている。ブロー手段１
５２は、例えば窒素又は乾燥空気等の乾燥ガスを面状に
ブローする１又はそれ以上の空気即ちガスナイフ１５４
で構成されている。各空気ナイフは、ホルダ１４４がノ
ズル１５０に向いていない位置で、ホルダ軸上に位置し
ている。空気ナイフ１５４は、ノズル１５０よりもホル
ダ１４４に近く設けられている。

ノズル１５０及び空気ナイフ１５４を、レイヤに垂直で
無く角度を持って配設し、回転しているレイヤ上に前向
き、中立及び逆向きの衝撃速度を生じさせるようにして
もよい。

マニホルド部１５６が乾燥ガス及び液の供給源に接続さ
れている。第１リザーバ１５８は流路１６０を介してノ
ズル１５０に液を供給する。第２リザーバ１６２は、必
要により、アトマイズミストを得るために、流路１６４
を介して乾燥ガスをノズル１５０に送る。第３リザーバ
１６６は、流路１６８を介して乾燥ガスを空気ナイフ１
５４に供給する。

排液システム１３５が、タンク１２２の底に接続されて
いる。このシステムには、タンク１２２からのドレンを
管を介して自動的又は選択的に受入れる排液受けが設け
られている。排液は、タンク１２２内に設けられた例え
ばフロート作動スイッチにより制御されるポンプを介し
てタンク１２２から排出される。液回収、循環システム
に排液を清浄にする１又はそれ以上のフィルタが設けら
れている。

ガスベントがタンク１２２の開口部に設けられている。

ベントに排ガスブロアを接続し、定期的又は連続的にガ
スを抜き出し、タンク１２２内を大気圧より僅かに低く
する。

第９図は、第８図に示すロータ１４０の９−９矢視断面
図である。第１０図は第９図の１０−１０矢視断面図で
ある。これらの図は、ロータ１４０をその軸の周りにサ
ポートに対して回転させ、またホルダをその軸の周りに
ロータ１４０に対し異なった方向に回転させる手段に関
するものである。

第９図は、ボルト１７２を含む中間部１７０を介してデ
ィスク１３８に取り付けられたモータ１４２を示してい
る。モータ１４２は軸１４５を有している。ロータ１４
０は接続部材を介してモタ軸１４５に接続され、その軸
の周りを回転するようになっている。接続手段は、軸１
４５及びシャフト１５１の両端部の周りのスリーブ１４
９を含む。シャフト１５１の他端部は、ボルト１５９に
よりロータ１４０に接続されたカプラー１５３に固定さ
れている。

スペース１５７が、ディスク１３８とロータ１４０との
間に形成されている。

固定プリー１６１がスペース１５７内に位置して、ピン
又はねじ１４７を介してディスク１３８に固定されてい
る。固定プリー１６１は、環状で、中心穴及び外周面を
有している。シャフト１５１が中心穴を貫通している。

軸受１６５が、シャフト１５１を囲んで、固定プリー１
６１の上、下に設けられている。

外周面を有する回転可能なプリー１６３が、スペース１
５７内に位置して、シャフト１６７を介してホルダ１４
４に固定されている。そして、プリー１６３がスピンし
たときに、ホルダ１４４がスピンするようになっている
。プリーの溝に噛合する歯を有する又は有しないタイミ
ングローブ又はベルトが、固定及び回転プリーの外周面
に巻回されている。そして、モータ１４２が起動される
と、軸１４５が例えば矢印Ａ方向（第１０図）に回転す
る。こうして、ロータ１４０を固定点に対して同じ方向
に回転させる。タイミングベルト１６９は回転プリー１
６３及びホルダ１４４の回転を制御する。ロータ１４０
に対する回転プリー１６３の回転速度及び方向は、固定
及び回転ブリの外周面を選択することにより制御される
。回転プリー１６３の速度は、回転プリー１６３の外周
を固定プリー１６１の外周より小さくすることにより、
上げられる。プリーの外周は、回転ブリ１６３がロータ
軸の周りを１周してスタート位置に戻ったときに、回転
プリー１６３がスタート位置から３６０度±４０度（好
ましくは±１８度）ホルダ軸の周りを回転するように選
ぶ。換言すれば、回転プリー１６３のホルダ軸周りの回
転速度は、ロータ１４０のロータ軸周りの回転速度に実
質的に等しい。しかし、異なることが望ましい。

１以上のホルダ１４４を設ける場合には、シャフト１６
７の中間部に、回転プリー１６３と一緒に回転するホル
ダプリー１７１を設ける。ホルダプリー１７１は、外周
面を有する。少なくとも１９の付加ホルダ１４４が、ロ
ータ軸から第１のホルダ１４４と同じ距離で、ロータ１
４０に回転可能に取り付けられる。これら付加ホルダ１
４４は、ロータ１４０を貫通する回転シャフト１７５に
接続される。シャフト１７５は、スリーブ軸受１７４内
で回転する。ホルダプリー１７６は外周面を有し、各ホ
ルダシャフト１７５に取り付けられる。

各ホルダプリー１７６は、ホルダプリー１７１と同じで
ある。ホルダプリー１７６とシャフト１７５との間にス
リーブ１７８が設けられている。例えば、タイミングベ
ルト１６９と同様な駆動ローブ又はベルト１８０が全て
のホルダプリー１７６の外周面に巻回されている。そし
て、第１のホルダプリー１７１がタイミングベルト１６
９により、第９図に示すように、反時計方向に回転する
と、他の全てのホルダプリー１７６は駆動ベルト１８０
により反時計方向に回転する。

ロータ１４０は、中央部にカプラー１５３を受入れる四
部を有するディスク状部材で構成されている。ロータ１
４０は更に周縁近くに環状スペースを有している。この
環状スペスは、プレート１５５により蓋をされている。

ホルダプリー１７１及び１７６は、この環状スペース内
に位置している。ホルダシャフト１６７及び１７５は、
その１端はプレート１５５により、他端は環状スペース
の壁により支持されている。

全てのプリーは歯車に、またベルトはチェーンに置き変
えられる。ホルダシャフト１６７及び１７５は、遊星歯
車装置の遊星歯車軸にすることができる。固定プリー、
回転プリー及びタイミングベルトに代えて、第１ホルダ
シヤフトを別個のモータにより回転させてもよい。また
、全てのプリー及びベルトに代えて、各ホルダシャフト
を別個のモータにより回転させてもよい。

第１１図で、駆動ベルト１８０のテンションを増すため
に、駆動ベルトバイアス車１９０がシャフト１９２を介
してロータ１４０に回転可能に取り付けられている。バ
イアス車１９０がシャフト１９２に沿って移動するのを
防止するために、バイアス車の上下にストップ１９４が
設けられている。ヘッド１９６がシャフトの両端に設け
られ、ロータ１４０と協同して、バイアス車の位置を保
つようになっている。

第１２図で、タイミングベルトバイアス車１８２が、シ
ャフト１８４を介してロータ１４０に回転可能に取り付
けられている。シャフト１８４の１端にヘッド１８６が
、また他端にストップ１８８が設けられている。ストッ
プ１８８は、車１８２の１方向の動きを止めている。シ
ャフト１８４はプレート１５５の穴を貫通し、プレート
１５５の１側に車１８２が、他側にヘッド１８６が位置
している。ヘッド１８６はプレート１５５に当接し、車
１８２をロータ１４０に接続している。タイミングベル
トバイアス車１８２は、タイミングベルト１６９のテン
ションを増す。

第１３図に、他の液及びガススプレィ手段２４６の例が
示されている。液スプレィ手段２４８は、ロータ軸から
の同円周上に離間して設けられた１２のファンスプレィ
ノズル２５０で構成されている。ロータ１４０は、各ノ
ズル１５０が、それぞれのホルダ１４４の軸上に来るよ
うに回転される。この例では、１２個のホルダ１４４が
ロータ１４０の上に設けられている。ガスブロー手段２
５２は、ロータ軸から等距離で、且つ等間隔に設けらた
１２個のガスナイフ２５４により構成されている。

他の例では、ホルダは１２個設けられているが、ノズル
及び空気ナイフはそれぞれ６個ずつ設けられている。

ノズル２５０及びガスナイフ２５４はそれぞれ液及びガ
スを面状にスプレィするようになっている。そして、そ
れぞれのスプレィ面は、各ノズル２５０、ナイフ２６４
及びロータ軸上に位置している。

第１４図は、第１３図の１４−１４線矢曵の断面図であ
る。マニホルド部２５６は、第２デイスクプレート３０
２の上に第１デイスクブレート３００を配して構成され
ている。第１プレート３００の底面と第２プレート３０
２の上面とで第１リザーバ２５８が画されている。入口
流路３０４が第２プレート３０２を通って第１リザーバ
２５８に達しており、液を第１リザーバ２５８に供給す
るようになっている。出口流路２６０が第１リザーバ２
５８から半径方向に第２プレート３０２を通り、液を各
ノズル２５０に送給するようになっている。パイプ等の
手段３０６が、出口流路２６０をノズル２５０に接続し
ている。

第２プレート３０２は第３デイスクプレート３０８の上
にある。第２プレートの底面と第３プレート３０８の上
面とで、第２リザーバ２６２を画している。入口流路３
１０が第３プレート３０８を通り第２リザーバ２６２に
達しており、必要によりガスを第２リザーバ２６２に供
給するようになっている。出口流路２６４が第２リザー
バ２６２から半径方向に第３プレート３０２を通り、ア
トマイズミストを形成するために各ノズルに乾燥ガスを
送給するようになっている。パイプ等の手段３１２が、
ガス出口流路２６４とノズル２５０とを接続している。

第３プレート３０８は、他のプレートより大きい第４デ
イスクプレート３１４の上にある。第３プレート３０・
８の底面と第４プレート３１４の上面とで第３リザーバ
２６６を画している。入口流路３１６が第４プレートを
通り、第３リザーバ２６６に達しており、ガスを第３リ
ザーバ２６６に供給するようになっている。出口流路２
６８が第３リザーバ２６６から半径方向にに第４プレー
ト３１４を通り、ガスを各ガスナイフ２５４に送給する
ようになっている。パイプ等の手段３１８が、ガス出口
２６８とガスナイフ２５４とを接続している。

第４プレート３１４の底は、ねじ３１９によりガイドプ
レート３１７に接続されている。ディスクプレート相互
は、ボルト、ナツト３２０により接続されている。リフ
トパー３２２が、第１プレート３００の上面にブラケッ
ト３２４及びねじ３２６を介して取り付けられている。

円筒型のスペーサ３２８が、ガイドブレート３１７とタ
ンク１２２との間に設けられている。シール、０リング
２５５が各プレート間に介装されている。

［作　用］ 先ず、サポート１２６を第２の開位置に動かす。

部品はレイヤ１０２を下に向けてホルダ１４４に把持さ
れる。それから、サポート１２６は第１の閉位置に回動
される。モータ１４２を起動して、ロータ１４０はその
軸の周りにタンク１２２の中から見て時計方向にスピン
される。ロータ１４０のスピン運動により、ホルダはロ
ータ軸の周りにオービットする。ロータのスピン運動に
より、タイミングベルト１６９及び駆動ベルト１８０を
介して、ホルダ１４４はその軸の周りにタンク１２２の
中から見て半時針方向に回転される。ロータ１４０のス
ピン中に、ノズル１５０から液がレイヤ１０２上にスプ
レィされる。レイヤ１０２の未硬化部は、液により除去
、洗い流されて穴を形成する。ノズル１５０から液をス
プレィしている間に、ガスナイフ１５４から乾燥ガスが
ブローされ、余剰の液を除去するすると共に、洗い流さ
れた未硬化部をブローする。液スプレィ停止後も、ガス
ナイフ１５４は乾燥ガスのブローを継続し、ロータ１４
０のスピン中にレイヤ１０２を乾燥する。ガスナイフ１
５４のブロー停止後、サポート即ち蓋１２６は開位置に
回動される。そして、部品が外される。以後、上記サイ
クルを繰返す。

第１５図及び第１６図は、第４〜６図に示されたものの
単純化した説明図である。第１５図は、本発明による回
転デベロッパーに保持されたレイヤが、第４図に示すラ
インスプレィを備えた６個のノズル上を通って、レイヤ
」二にデベロップされたレーンのパターンを示す。簡略
化のために、レーンは曲線でなく直線で示されている。

第１６図は、第１５図に示すレーンパターンで、６個の
ノズルの内の１個が作動しなかった場合のレーンパター
ンである。矢印は、無くなったレーンを示している。第
１５及び１６図は、本発明によりてデベロップされたレ
イヤ表面が、従来のデベロッパーを用いた場合に比べよ
り均一になっていることを示している。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のスピンデベロッパーの説明図、第２図
は、部品の回転中心からの距離に対する、部品レイヤへ
のスプレィのを効衝撃角度と速度との関係を示す説明図
、 第３図は、レイヤにスプレィが衝突して穴を形成してい
る状態を示す説明図、 第４図は、ファンスプレィノズルを用い、レイヤに対し
分離した液腺をスプレィし、レイヤ上に分離したレーン
をデベロップしている状態の説明図、 第５図は、第１図のノズルに、第４図に示すノズルを用
いて形成されるレーンを示す説明図、第６図は、第５図
の場合で、１９のスプレィラインが作動しなかった場合
のレーンの説明図、第７図は、第１〜６図に示す問題点
を解消するために用いられる本発明の原理を示す説明図
、第８図は、本発明の回転デベロッパーを１部を切断し
て示す説明図、 第９図は、第８図の９−９矢視断面図、第１０図は、第
９図の１０−１０矢視断面図、第１１図は、第１０図の
１１−１１矢視断面図、第１２図は、第１０図の１２−
１２矢視断面図、第１３図は、液及びガススプレィ手段
の平面図、第１４図は、第１３図の１４−１４矢視断面
図、第１５図は、第２図に示すファンスプレィノズルを
用い、本発明により６個のノズル上を通るレイヤに液を
分離線状にスプレィした場合のパターンを示す説明図、 第１６図は、第１５図に示すパターンで、１９のノズル
の１９のラインが作動せず、結果として１９のレーンが
無くなった場合のパターンの説明図である。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 Ｆｉｇ、　３ Ｆｉｇ、８ Ｆｉｇ、　／／ Ｆｉｇ、　１２ Ｆｉｇ、／３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）電子部品のレイヤーの１部を除去して該部品に穴を
   形成する回転デベロッパーで、 サポートと、 軸を有するロータで、このロータが軸の周りに回転可能
   に上記サポートに取り付けられているものと、 軸を有する部品ホルダで、このホルダが軸の周りに回転
   可能に上記ロータに取り付けられているものと、 上記ロータを軸の周りに第１の方向に回転させると共に
   、上記ホルダを第２の方向に回転させる手段と、 穴を形成するために１部を除去すると共に、上記レイヤ
   及び穴を乾燥させるために、上記レイヤに液及びガスを
   スプレイする手段と、 とから構成されている回転デベロッパー。 ２）ホルダの軸は離れており、且つロータ軸に実質的に
   平行になっている請求項１記載のデベロッパー。 ３）第１の方向と第２の方向が逆になっている請求項１
   記載のデベロッパー。 ４）回転手段は、ホルダをサポートに対し回転させるも
   のである請求項１記載のデベロッパー。 ５）回転手段が、 サポートに取付けられた可変速モータで、このモータは
   軸線の周りに回転する軸を有しているものと、 上記軸をロータに、その軸線をロータ軸線に一致させて
   接続する手段と、 上記軸の周りで、サポートに固定された固定プリーで、
   円周面を有するものと、 ホルダに固定され、該ホルダ軸の周りに回転できる回転
   プリーで、このホルダプリーが円周面を有するものと、 上記固定プリー及びホルダプリーの円周面に接して、そ
   の周りを動くタイミング手段と、から構成され、 かくて、モータが駆動されると、モータはその軸を１方
   向に回転し、ロータを第１の方向に回転させると共に、
   タイミング手段がホルダを第２の方向に回転させるよう
   になっている請求項１記載のデベロッパー。 ６）固定プリーの外周面と回転プリーの外周面との外周
   が異なっている請求項５記載のデベロッパー。 ７）複数の部品ホルダを有し、このホルダはホルダー軸
   を有して、その軸の周りに回転可能にロータに取り付け
   られており、 回転手段は上記ホルダを第２の方向に回転させるように
   なっており、 スプレー及び乾燥手段が、部品がホルダにより保持され
   、ロータ及びホルダが回転している時に、レイヤーの露
   出されてないホトポリマー部を除去して穴を形成させる
   べく、液をレイヤ上にスプレイする手段から構成され、 スプレイ及び乾燥手段は、部品がホルダにより保持され
   、ロータ及びホルダが回転している時に、レイヤからそ
   の１部及び液の１部を除去し、その後レイヤ及び穴を乾
   燥するガスブロー手段を更に備えている、 請求項１記載のデベロッパー。 ８）回転手段が、 サポートに取付けられた可変速モータで、このモータは
   軸線の周りに回転する軸を有しているものと、 上記軸をロータに、その軸線をロータ軸線に一致させて
   接続する手段と、 上記軸の周りで、サポートに固定された固定プリーで、
   円周面を有するものと、 ホルダに固定され、該ホルダ軸の周りに回転できる回転
   プリーで、このホルダプリーが円周面を有するものと、 上記固定プリー及びホルダプリーの円周面に接して、そ
   の周りを動くタイミング手段と、 各ホルダに固定されたホルダプリーで円周面を有するも
   のと、 各ホルダプリーの外周面に接してその周りを動く駆動手
   段と、から構成され、 かくて、モータが駆動されると、モータはその軸を１方
   向に回転し、ロータを第１の方向に回転させると共に、
   タイミング手段が回転プリーを第２の方向に回転させ、
   且つ駆動手段がホルダを第２の方向に回転させるように
   なっている請求項７記載のデベロッパー。 ９）合計で、１２のホルダがある請求項７記載のデベロ
   ッパー。 １０）スプレイ及び乾燥手段が、 液スプレイ手段で、ファンスプレイノズルが離間して固
   定され、部品がホルダに保持されているときに、レイヤ
   に向き、また上記ノズルがホルダの第１位置において実
   質的にホルダー軸上にある請求項１記載のデベロッパー
   。 １１）スプレイ及び乾燥手段は、 スプレイ手段が、液をロータ軸に実質的に一致する実質
   的な面内に扇状に液をスプレイする固定ファンスプレイ
   ノズルであり、かくてホルダが部品を保持し、ロータが
   回転してホメダがノズルを過ぎる時に、ノズルがスプレ
   イして、実質的に全てのレイヤがスプレイされるように
   なっている請求項１記載のデベロッパー。 １２）上記面が、ロータ軸を通る面に鋭角をなし、且つ
   ホルダ軸がホルダの第１位置にある請求項１１記載のデ
   ベロッパー。 １３）上記面がロータ軸に交差し、ホルダ軸がホルダの
   第１位置にある請求項１１記載のデベロッパー。 １４）スプレイ及び乾燥手段は、 スプレイ手段が、部品がホルダに保持され、且つホルダ
   が第１位置にあるとき、液及びガスの混合物をレイヤに
   向ってスプレイできるアトマイズファンスプレイノズル
   である請求項１記載のデベロッパー。 １５）スプレイ及び乾燥手段は、 液スプレイ手段が、複数のファンスプレイノズルからな
   り、各ノズルは同円周上に離間して固定されると共に、
   部品がホルダに保持されているときレイヤに向き、且つ
   ノズルはホルダの異なった位置で実質的にホルダ軸の上
   にある請求項１記載のデベロツパー。 １６）合計で６個のノズルが、円周上に約６０度の間隔
   で配設されている請求項１５記載のデベロッパー。 １７）スプレイ及び乾燥手段は、 レイヤからその１部及び液を除去して、その後乾燥させ
   るガスブロー手段で、 ブロー手段は、離間して固定されたガスナイフで、部品
   がホルダに保持されているときにガスをレイヤに向って
   ブローするもので、このガスナイフはホルダの第２位置
   で実質的にホルダ軸上にある請求項１記載のデベロッパ
   ー。 １８）スプレイ及び乾燥手段は、 レイヤからその１部及び液を除去して、その後乾燥させ
   るガスブロー手段で、 ブロー手段は、実質的にロータ軸上にある実質的な面内
   のナイフエッジ状に乾燥ガスをブローできる固定ガスナ
   イフで、ホルダ軸がホルダの第２位置にあり、かくてホ
   ルダが部品を保持しており、ホルダが回転してホルダが
   ガスナイフを過るときに、ナイフがブローされ、全ての
   レイヤがガスによりブローされるようになっている請求
   項１記載のデベロッパー。 １９）スプレイ及び乾燥手段は、 レイヤからその１部及び液を除去して、その後乾燥させ
   るガスブロー手段で、 ブロー手段は、複数のガスナイフからなり、各ナイフは
   実質的に第２円上に離間して設けられる共に、部品がホ
   ルダに保持されているときにレイヤに向き、且つナイフ
   はホルダの異なった位置における軸上に実質的にある請
   求項１記載のデベロッパー。 ２０）合計６個のガスナイフが、第２円上に約６０度間
   隔で設けられている請求項１９記載のデベロッパー。 ２１）スプレイ及び乾燥手段は、 レイヤからその１部及び液を除去して、その後乾燥させ
   るガスブロー手段で、 ブロー手段は、６個のガスナイフからなり、各ナイフは
   実質的に第２円上に離間して固定されると共に、部品が
   ホルダに保持されているときにレイヤに向き、且つナイ
   フはホルダの異なる位置において実質的にホルダ軸上に
   あり、更にナイフは隣接するノズルの間にある請求項１
   ６記載のデベロッパー。 ２２）更に、フレームと、 開口を有し上記フレームに支持されるタンクで、その中
   にスプレイ及び乾燥手段を有するものとを備え、 前記サポートが上記フレームに、第１位置と第２位置と
   の間を揺動できるように取り付けられ、第１位置におい
   てサポートが、ロータ及びホルダが入ったタンクの開口
   を閉じ、また第２位置において、サポートはタンクから
   離れるように傾斜され、電子部品を交換するためにホル
   ダに近付けるようになっており、 また、サポートを第１及び第２位置との間を揺動させる
   手段とを備えている 請求項１記載のデベロッパー。 ２３）レイヤが硬化部と硬化可能な部とから構成され、
   液及びガスが硬化可能な部を除去するようになっている
   請求項１記載のデベロッパー。 ２４）レイヤがホトポリマーである請求項２３記載のデ
   ベロッパー。 ２５）部分が液に溶解されるものである請求項２３記載
   のデベロッパー。 ２６）部分が液に溶解されるものである請求項２４記載
   のデベロッパー。 ２７）電子部品の硬化部と未硬化部からなるレイヤに穴
   を形成するレイヤのデベロップ方法で、電子部品をロー
   タに回転可能に取りつけられたろホルダに装着する工程
   と、 ロータをその軸の周りに第１の方向にスピンさせる工程
   と、 ホルダをロータ軸の周りにオービットさせる工程と、 ホルダをホルダ軸の周りに回転する工程と、穴を形成す
   べく未硬化部を洗い流すために、レイヤ上に液をスプレ
   イする工程と、 レイヤ及び穴を乾燥する工程と、 部品を取り外す工程と、 とからなるデベロップ方法。 ２８）スピン、オービット、回転及びスプレイ工程が同
   時になされる請求項２７記載の方法。 ２９）回転工程中に、ホルダがその軸の周りに第１方向
   と逆の第２方向に回転する請求項２８記載の方法。 ３０）ホルダがロータと実質的に同じ速度で回転する請
   求項２９記載の方法。 ３１）ホルダがロータとは異なった速度で回転する請求
   項２９記載の方法。 ３２）装着工程後に、更に、 ロータ及びホルダを支持するカバーによりタンクを閉じ
   る工程と、 乾燥工程後に、カバーを動かしてタンクを開ける工程と
   を含む 請求項２７記載の方法。 ３３）複数の部品ホルダがあり、このホルダに未硬化部
   を有する複数の電子部品が装着され、ホルダがその軸の
   周りを回転する間に、ホルダがロータ軸の周りにオービ
   ットされ、穴を形成すべく液がスプレイされ、レイヤ及
   び穴が乾燥され、その後取り外される請求項２７記載の
   方法。 ３４）レイヤがホトポリマーである請求項２７記載の方
   法。 ３５）未硬化部は液に溶解するものである請求項２７記
   載の方法。 ３６）更に、液がスプレイされている間に、余分の液を
   除去すると共に、洗い流された未硬化部をブローアウト
   するために、ガスをレイヤ上にブローする工程を含む請
   求項２７記載の方法。