JPH0216743A - ワーク加熱送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体組立装置の製造に用いるワイヤボンダー
、グイボンダー、キュア装置における等に用いるワーク
加熱送り装置に関する。

［従来の技術］ 従来、例えばボンダー用ワーク加熱送り装置には、第３
図に示すように、リードフレーム等のワークｌを加熱す
るヒートブロック２の上方が開放したもの、第４図に示
すように、ヒートブロック２の上方が密閉されてでいる
もの、第５図に示すように、ヒートブロック２の周りが
密閉されたものが知られている。

第３図に示す開放型は一般的なものであり、ワーク１を
ガイドするガイドレール３上には、ワークｌが送り爪４
によって送られる時に浮き上がらないように分割型のＭ
５が固定されている。即ち、ワークｌの中央上部は何も
なくむき出しとなっている。

その作動は、ヒートブロック２が下降した状態で、送り
爪４が下降、水平（紙面に垂直）方向に往動、上昇及び
水平方向に復動する１サイクルによってワークｌはｌピ
ッチ送られる。送り爪４の移動停止後にヒートブロック
２が上昇してワークｌを加熱する。

第４図に示す密閉型は、ワ一りｌ又はワーク１に形成さ
れたリードが酸化し易い鋼材よりなる場合に用いられる
もので、ヒートブロック２がワーク１をガイドするよう
になっており、ヒートブロックｚ自体に鉄製の一体型の
蓋５が固定されている。またヒートブロック２の上面に
は溝２ａが形成され、この溝２ａにはバイブロが上下動
可渣に設けられている。そして、バイブロよりヒートブ
ロック２の上面へ不活性ガス等を流すようになっている
。

その作動は、バイブロが上昇してワークｌをヒートブロ
ック２より浮き上がらせた状態で、送り爪４によってワ
ークｌが１ピッチ送られた後に、バイブロが下降してワ
ークｌをヒートブロック２上に載置してワーク１を加熱
する。またバイブロより流れる不活性ガス等により、ヒ
ートブロック２の上方はガス雰囲気となっており、ワー
ク１の酸化を防止している。

第５図に示す密閉型も前記第４図に示すものと同様にワ
ーク１の酸化を防止するものである。即ち、ワーク１を
ガイドするハウジング７の上面にはヒートブロック２を
覆うように一体型の鉄製の蓋５が固定されている。また
ヒートブロック２には、不活性ガス等を流すための孔２
ｂがワークｌの送り方向と平行に形成され、この孔２ｂ
はヒートブロック２の上面に孔２Ｃによって連通してい
る。そして、前記孔２ｂに図示しないガス供給口より不
活性ガス等を流すことにより、ヒートブロック２の上方
をガス雰囲気にしている。またヒートブロック２は上下
動駆動されるようになっており、前記第３図の場合と同
様に、ワーク１の送り時にはヒートブロック２は下降し
ており、ワークｌの送り後にヒートブロック２が上昇し
てワーク１を加熱する。

なお、第４図及び第５図の構造においては、ボングーの
ツールに対応してＭ５の部分にはポンディング用作業窓
が設けられていることはいうまでもない。

［発明が解決しようとする課題］ 第３図に示す開放型は、ワークｌの中央部分が露出して
いるので、上方からちりやごみ等が入ってワーク１に付
着し、ポンディングに悪影響を及ぼすという問題があっ
た。

第４図及び第５図の密閉型は、鉄製の蓋５で覆われてお
り、内部が見えないので、酸化による変色発生の監視、
ワーク送りの調整及びメンテナンス作業が困難であった
。

本発明の目的は、ごみ等が入らなく、またワークの状態
の監視及びワーク送りの調整等が容易なワーク加熱送り
装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段〕 上記目的は、ワークを加熱するヒートブロックの上方に
蓋を設けたワーク加熱送り装置において、前記蓋の中央
部に開口部を設け、前記開口部を覆うように透明な耐熱
板を取付けることにより達成される。

またヒートブロックの上方を覆っている蓋口体を透明な
耐熱板にすることにより達成される。

［作用］ ヒートブロックの上方は蓋及び透明な耐熱板で覆われて
いるので、内部にごみ等が入るのが防止される。

また透明な耐熱板によってワークが見えるので、ワーク
の状態が監視できると共に、ワークの送りの調整及びメ
ンテナンス作業が容易に行える。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する０本実
施例は、第３図に示す開放型に適用した例を示す、なお
、第３図と同じ部材には同一符合を付して説明する。ワ
ークｌをガイドするガイドレール３上には分割型の蓋ｌ
Ｏが固定されている。従ってＭｌＯｌｌＯの間には開口
部１１を有する。蓋１０．１０の対向端部には透明な耐
熱ガラス等の耐熱板１２を載置する溝１０ａが形成され
ている。前記耐熱板１２はＭＩＯにポルト１３で固定さ
れた板ばね１４によって溝１０ａに密着されている。ま
た前記蓋１０には送り爪４の移動を妨げないように爪逃
げ穴１０ｂが設けられている、前記耐熱板１２にはポン
ディングツール１５に対応した部分にポンディング用作
業窓１２ａが設けられている。

前記ツール１５は、周知のように、ポンディングアーム
１６の一端に取付けられており、ポンディングアーム１
６はｘＹ力方向駆動されるＸＹテーブル（図示せず）上
に固定されたポンディングヘッド１７に上下動自在に取
付けられている０図中、２は上下駆動されるヒートブロ
ックを示す。

なお、ワークｌの送り動作及びワーク１の加熱は、従来
と同じであるので、その説明は省略する。

このように、ヒートブロック２の上方はＭＩＯ及び透明
な耐熱板１２で覆われているので、内部にごみ等が入る
のが防止される。また透明な耐熱板１２によってワーク
１が見えるので、ワーク１の状態が監視できると共に、
ワーク１の送りの調整作業が容易に行える。またポル）
１３を緩めて板ばね１４及び耐熱板１２を取外すことに
より、メンテナンス作業も容易に行える。この場合、ポ
ル）１３と板ばね１４の間にスプリングを入れておくと
、ポルト１３を緩めなくても板ばね１４を回転させるこ
とができるので、容易に耐熱板１２を堆外すことができ
る。

第２図は本発明の他の実施例を示す０本実施例は、蓋２
０自体が透明な耐熱板よりなっており、このＭ２Ｏはガ
イドレール３の上面に密着するようにＬ字型の取付具２
１を介してガイドレール３にボルト２２で固定されてい
る。このように構成しても前記実施例と同様の効果が得
られる。

なお、上記各実施例は、第３図に示す構造に適用した場
合について説明したが、第４図及び第５図に示す構造に
も同様に適用できることはいうまでもない。また第１図
に示す耐熱板１２及び第２図に示す蓋２０はワークｌの
送り方向全体に設けたが、一部分に設けてもよい、また
上記実施例はボングーに適用した場合について説明した
が、キュア装置にも同様に適用できる。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、蓋の
中央部に開口部を設け、前記開口部を覆うように透明な
耐熱板を取付け、又はヒートブロックの上方を覆うよう
に蓋を透明な耐熱板より構成してなるので、ごみ等が入
らなく、またワークの状態の監視及びワーク送りの調整
等が容易に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示し、（ａ）は平面図、（
ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、第２図は本発明の他の
実施例を示す断面図、第３図、第４図、第５図はそれぞ
れ従来例の断面図である。 ｌ：ワーク、　　　　　２：ヒートブロック。 １０：蓋、　　　　　　１１：開口部、第１図 １２：１ｆＦｔ熱板、　　　　２０：蓋。 第 図 ：７−り ２０：盈 第 図 ↓ 第 図 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワークを加熱するヒートブロックの上方に蓋を設
   けたワーク加熱送り装置において、前記蓋の中央部に開
   口部を設け、前記開口部を覆うように透明な耐熱板を取
   付けたことを特徴とするワーク加熱送り装置。
2. （２）ワークを加熱するヒートブロックの上方を覆うよ
   うに蓋を設けたワーク加熱送り装置において、前記蓋は
   透明な耐熱板よりなることを特徴とするワーク加熱送り
   装置。
3. （３）前記透明な耐熱板は、耐熱ガラスよりなることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載のワー
   ク加熱送り装置。