JPH02167502A - 光学製品とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第５図〜第８図および第１８図）発明が解
決しようとする課題 課題を解決するための手段（第１図〜第４図）作用 実施例 ・光ヘツド部品への適用例（第９図〜第１０図および第
１４図） ・光スィッチ、分波器、合波器への適用例（第１１図〜
第１２図） ・複合機能膜の適用例（第１３図） ・光学部品用基材と複合光学部品の製造方法（第１５図
〜第１６図） ・本発明の複合光学部品を使用した光磁気ディスク用光
ヘッド（第１７図） 発明の効果 〔概要〕 光学部品用基材と複合光学部品およびその製造方法に関
し、 小型、高精度、高機能の複合光学部品を実用化すること
を目的とし、 複数の透明な平行平板と光学的機能を有する膜または薄
板を積み重ねて光学部品用基材を形威し、その光学部品
用基材から切り出された積層ブロックの４つの側面と両
端面の合計６つの面が所要の機能を持つように加工され
ており、その６つの面のうちの２つ以上の面が光学的に
加工されて光の入出射面となるように複合光学部品を構
成する。

また、各複合光学部品を一括多量生産するための製造工
程として、所要の機能の複合光学部品に合わせて作製さ
れた大きな積層物である光学部品用基材から、４つの側
面を切り出し研磨する工程と、両端面を加工する工程と
、光の入出射面を光学的に精密加工する工程とから構成
する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、複合光学部品の改良に関する。

海底通信ケーブルを中心とした基幹電送線路に光が使用
されるようになったことは良く知られている。

さらに、光ファイバ、レーザ光源、光データリンクその
他の光学部品の改良に伴い、Ｌ　Ａ　Ｎ（Ｌｏｃａｌ　
Ａｒｅａ　Ｎｅｔｗｏｒｋ）などへの導入も盛んになり
、最近の新しいインテリジェントビルには光ファイバに
よる情報ネットワークシステムが使用されるようになっ
てきた。

一方、コンピュータ関係でも情報の処理速度、転送速度
の高速化やＥＭＩ（電波障害）対策などの要請から光フ
ァイバや光データリンクとして光技術が採用され始めて
いる。　今後、ますます情報処理関連機器への光技術の
導入が増加してくるものと思われる。

例えば、書替え可能な大容量記憶装置としての光磁気デ
ィスク装置やレーザプリンタなどは代表的な例である。

また、民生エレクトロニス分野でもオーディオディスク
（ＣＩ）：コンパクトディスク）など光技術を使用した
機器が大きく伸びてきている。

これらの機器にはレンズ、プリズム、ビームスプリッタ
、波長板その他多くの光学部品が使用されているが、殆
どの場合個々の光学部品を組合せて使用しているのが現
状である。

〔従来の技術〕

従来の光学部品、例えば偏光ビームスプリッタ、その他
のビームスプリッタ、ハーフ柔う−なとは第５図に示し
たように、二個のプリズムの間に光学的機能を有する膜
または薄板を挟んで構成している。

図中１は光学的機能を有する膜または薄板、９はプリズ
ムである。

また、二分の一波長板、四分の一波長板、その他の波長
板、波長フィルタ、全反射ごラーなどは第６図に例を示
したように、透明な平板２の間に光学的機能を有する膜
または薄板１を挟んで構成している。

従来、これらは何れも個別部品として製造されており、
熟練作業者の手作業による精密加工に頼っているのが一
般的で、従って小型、軽量化にも限界が有り取扱にも注
意を必要とした。

一般に複雑な光学デバイスでは、これらの個別光学部品
をいくつか組合せて光学系を構成し所望の性能を得てい
る。

第７図にその一例として、光磁気ディスク用光ヘッドの
よく知られた代表的構成例を示す（光デイスク技術ハン
ドブック、　Ｐ７８　、　　日経マクグローヒル社、昭
和６２年９月１０日発行）。

図中１１１は二分の一波長板（λ／２板）、１０６はビ
ーム整形プリズム、１０２から１０５まではレンズで４
個使用されている。

また、１０７から１１０までは偏光ビームスプリッタで
４つの個別光学部品が使用されている。

半導体レーザ１０１から出たＰ偏光は、レンズ１０２で
平行ビームとなり、ビーム整形プリズム１０６で整形さ
れて第１の偏光ビームスプリッタ１０７を透過して集光
レンズ１０３で集光され光磁気ディスク１０に入射する
。

光磁気ディスク１０からの反射光はカー回転をうけて第
２の偏光ビームスプリッタ１０８で透過光と反射光とに
分離する。透過光径路に沿ってフォトディテクタ１１３
までがナイフェツジ１１２によるフォーカスエラー検出
系、フォトディテクタ１１４までがトラッキングエラー
検出系であり、一方、反射光径路に沿ってフォトディテ
クタ１１５．１１６までが信号検出系である。

λ／２板１１１を回転させることにより、信号光の偏光
方向を回転させて信号振幅が最大になるようにセットす
る。

２個のフォトディテクタ１１５，１１６で検出される信
号は、信号検出系の偏光ビームスプリッタ１１０での透
過と反射の関係、すなわちＰ波とＳ波の関係にあるので
逆相の信号になっており、差動検出により同相のノイズ
を除去してＳ／Ｎを大きくすることが出来るようにして
いる。

第１８図は立ち上げプリズム１１９によって、光路を直
角に曲げて実用的に使い易く構成した光ヘッドの従来例
である。なお、トラッキングエラー検出系を付加して性
能を上げろることは前記の例と全く同様である。

以上述べたような光ヘツドデバイスに使用されている個
別光学部品は、小さいものでも数ｍｍ以上の大きさがあ
り、それらを組合せたデバイスは前記光ヘッドのように
コンパクトにまとめたものであっても大きさは数十ｍｍ
、重さ数百グラムにもなる。

最近の光学装置は、ますます高機能化、高性能化、高精
度化の方向にむかっており、例えば、光磁気ディスク装
置の場合、大記憶容量化、高速アクセスへの要求を満た
すための重要な要素の一つとして光ヘッドの高速度駆動
が強く求められている。

このためには、光ヘッドの小型、軽量化、高機能化、ひ
いては使用される各種光学部品の小型、軽量化、高機能
化が是非必要となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

光技術を応用した前記のような光学装置は、極めて高精
度を要することは良く知られている。

従って、使用される光学部品も高精度に加工され、部品
相互の位置精度もきびしく、対振動性を充分配慮した部
品保持機構が必要となる。

個別光学部品として扱う限り小型、軽量化にも限界があ
り、それらを使用した光学系では今後の光学装置の高密
度化への要求を満たし得ないことは前記の通りである。

種々の個別光学部品からなる光学系を小型化し、取扱い
易くするために、これらの個別の光学部品を集めて複合
部品化しようとする場合、従来、夫々の光学部品の光軸
合わせ等の調整を行った後で光学用接着剤で接着してい
た例がある。

第８図にその一例を示した。　図中１１は偏光ビームス
プリッタ、１２は全反射ミラー、１３は光学接着剤の層
である。　従って、複合部品とば言っても寸法、重量と
も大きく複合部品数も少ないので、従来の光学部品のイ
メージを変えるような新規なものではなかった。

さらに、複合化に伴う位置合わせ、光軸合わせ、接着な
どに高精度の精密加工技術を要し非常に高価なものにな
るという問題があった。

本発明は、透明な平行平板と光学的機能を有する膜また
は薄板を交互に複数層積み重ねた積層ブロックから所要
の面が面加工された、言わば集積化された小型、軽量の
複合光学部品とその製造方法を提供することを目的とす
る。

（課題を解決するための手段〕 上記の課題は以下の如き光学部品用基材と複合光学部品
およびその製造方法により解決することができる。

第１図は本発明の光学部品用基材７７の原理構成を示し
た図で、図中１は光学的機能を有する膜または薄板、２
は透明な平行平板で、透明な平行平板が両端の最外層の
２面をなすように交互に積層されている。

こ＼で、光学的機能を有する膜または薄板１は、偏光ビ
ームスプリッタ、またはハーフミラ−３またはその他の
ビームスプリッタ、または全反射ミラー、または部分の
一波長板（λ／２板）、または四分の一波長板（λ／４
板）、またはその他の偏光素子（位相子、旋光子、偏光
子、ファラデー回転素子、カー回転素子など）、または
波長フィルタの何れかの機能を有するものであるか、ま
たはそれらの光学的機能を有する膜または薄板を２層以
上重ねた複数の機能を有する複合膜または複合薄板であ
る。

第２図は前記光学部品用基材７７から積層面の全てと交
わる４つの平面に沿って切断して得られる４つの面（Ａ
、Ｂ、Ｃ，Ｄ）を側面とする積層ブロック７の斜視図で
、α、β、γ、δは夫々ＡＢ、Ｃ，Ｄの各面が積層面と
なす角度である。

第３図（イ）〜（ニ）は本発明の複合光学部品を実現す
るための最外層の両端部の形状を示したもので、積み重
ねられた最外層の２枚の透明平板の少なくとも一方の外
表面が、（ロ）の如く積層面に対して平行な平面（４）
、（イ）、（ロ）（ハ）の如く積層面に対して平行でな
い平面（３または５）、（ニ）の如く曲面またはグレー
ティングに形状加工あるいは機能加工された非平面（６
または８）のうちの何れかの面に加工された端面から構
成される。

なお、最外層の２枚の透明平板は加工のための余裕（加
工しろ）を見て中間層の透明平板より若干厚めのものを
使用してもよい。

さらに、４つの側面と、積み重ねられた最外層の２枚の
透明平板を加工して得られる２つの外表面の合計６面の
うちの２つ以上の面は、光の入出射面として機能するよ
うに光学的に平面加工、または形状加工、または機能加
工されている。

第４図は本発明の複合光学部品の積層ブロック７の製造
方法を示した断面図で、以下の如く引き続く数工程を経
て本発明の複合光学部品を製造することができる。

即ち、前記光学部品用基材７７の積層面の全てと交わる
４つの平面に沿って切断して得られる４つの面を側面と
する多数の積層ブロック７を形成する工程と、第３図（
イ）〜（ニ）の如く各積層ブロック７の２つの最外層平
板の少なくとも一方の外表面を、積層面に対して平行な
平面（４）、積層面に対して平行でない平面（３または
５）、曲面またはグレーティングに形状加工あるいは機
能力ｌ工された非平面（６または８）のうちの何れかの
面に加工する工程と、前記４つの側面と両端面の合計６
つの面のうちの２つ以上の面を、光の入出射面として機
能するように光学的に加工する工程とから構成すること
により本発明の複合光学部品を製造することができる。

〔作用〕

本発明では、第２図の積層ブロックの各積層部分の一つ
一つが個々の光学部品としての働きをし、積層数に応し
て多数の光学素子の組合せができる。

また、第３図に示した如く両端面を種々の形状に面加工
することによってレンズ、プリズム、その他の機能を付
与することができる。

さらに、光学機能を有する膜または薄板の選定と組合せ
を含めると極めて多数の機能を持った光学系として本複
合光学部品を使用することが可能となる。

しかも、第４図の如く、積層物から多数の個別積層ブロ
ックを自動機による精密加工で一括生産することによっ
て、極めて小型に、且つ高精度、安価に製造することが
可能となる。

〔実施例〕

実施例１から実施例５までにおいては、光学部品用基材
７７から４つの平面で切り出された積層ブロック７の４
つの側面、即ちＡ、　Ｂ、　Ｃ，Ｄがそれぞれ積層面と
なす角度α、β、Ｔ、δは何れもα＝γ−４５’　、　
　β−δ−９０″の場合を示した。

一方、実施例６および実施例９ではα＝γ≠４５゜β−
δ−９０″の場合の例である。

実施例１：　第９図は各稲光ディスク装置用光ヘッドの
光学系の一部に適用した本発明複合光学部品の例である
。

同図（イ）はＣＤ用で読出し専用のため単純な構造であ
り、入射光ｉは半分がハーフミラ−１５を透過し半分は
反射する。反射光はここには記載してない光源の制御用
モニタ光として利用する。

透過光はミラー■４で反射したのちディスク１０に入射
する。ディスク１０からの戻り光は再び５ラー１４で反
射、ハーフミラ−１５で半分が反射され、最初の約２５
％の光が出射光Ｏとして図には記載してないフォトディ
テクタに入射して信号処理される。

同図（ロ）は追記型光デイスク用の例で、入射光ｉは偏
光ビームスプリッタ１８に対しＰ偏光であり、はり１０
０％が透過する。透過光はディスク１０への入射と反射
とを経過して往路と復路でλ／４板１６を二度通過し、
偏光面は９０°回転するのでＳ偏光となり、偏光ビーム
スプリッタ１８ではＮ’　１００％反射されて出射光Ｏ
となり信号処理される。

同図（ハ）は光磁気ディスク用光ヘッドの一部に適用し
た例である。

同図（ハ）で１９はビームスプリッタとして機能する膜
、１７は部分の一波長板として機能する薄板、１８は偏
光ビームスプリッタとして機能する膜、ｉは入射光、０
は出射光である。

透明な平行平板には、通常よく使用される光学ガラス、
例えばＢＫ７などを使用する。

λ／２板１７には複屈折結晶、例えば水晶の薄板、ビー
ムスプリッタ１９または偏光ビームスプリッタ１８には
誘電体多層膜、例えばＴｉＯ２やＳｉｎ、。

などをスパッタリングその他の通常行われる方法で生成
した多層膜を使用する。

ここに記載してない半導体レーザからの入射光はＰ偏光
で、大部分がビームスプリッタ１９を透過し、残りの反
射光はレーザダイオードの制御用モニタ光として利用さ
れる。

透過光は光磁気ディスク１０で反射され、カー回転を受
けるとＳ偏光を含んだ状態でビームスプリッタ１９で反
射されて、λ／２板１７を透過した後、偏光ビームスプ
リンタ１８でＰ偏光の透過光とＳ偏光の反射光とにわか
れる。

この両光を２つのホトディテクタに受けて検出される電
気信号は逆相なので差動検出することによって高いＳ／
Ｎ比を得ることができる。

なお、λ／２板１７は回転することによって戻り光の偏
光方向を回転させ偏光ビームスプリッタ１８に対して信
号振幅が最大になるようにする。

以上の実施例の図では対物レンズその他は簡略化のため
省略しである。

実施例２：第１０図は光磁気ディスク装置用光ヘッドの
光学系の一部に本発明を適用した複合光学部品の実施例
である。

本実施例では両端面部を加工して種々の機能を持たせた
本発明の複合光学部品を示してあり、積層面に平行でな
い平面、または曲面、またはグレーティングに端面加工
した例である。

同図（イ）は光の入射面をブリュウスタ角θに加工した
ブリュウスタプリズム、同図（ロ）は光の出射面を臨界
角θ゛に加工した臨界角プリズム、同図（ハ）は臨界角
プリズムと凸レンズ、同図（ニ）は臨界角プリズムとグ
レーティング（フレネルレンズの例）の実施例を示した
が、その他の組合せの複合光学部品も作り得ることは勿
論である。

曲面加工としては、ほかに凹レンズや円筒レンズその他
の機能を持たせることが可能であり、グレーティングと
してもフレネルレンズ以外に波長フィルタや光の偏向ま
たは反射などの機能をもたせることができる。

グレーティングの作り方は、よく知られているような厚
さ変調あるいは屈折率変調を光りソグラフィ、電子ビー
ムリソグラフィ、イオン注入、イオン拡散などの方法を
採用することによって可能である。

実施例３：第１１図は光スィッチへの応用の実施例（２
ｘ２）を示したもので、同図（イ）中の■と■は光の入
射ボート、■と■は光の出射ポー１−である。

同図（ロ）および（ハ）はスイッチとしての動作を示し
ており、図中２２は磁気光学効果などを用いたＳ波／Ｐ
波変換素子で、同図（ロ）の場合で説明するとのに入射
した光は２２でＰ偏光またはＳ偏光に変換され、Ｐ偏光
ならば偏光ビームスプリッタ１８を透過して■のボート
に出射し、Ｓ偏光ならば偏光ビームスプリッタ１８で反
射され、さらに全反射稟う−１４で反射されてボート■
に出射する。

他方、同図（ハ）の場合には■に入射した光は同様の経
過をたどって、同図（ロ）の場合とは反対にボート■に
Ｓ偏光を、ボート■にＰ偏光を取り出すことができる。

従って、チャンネル選択器として使用することができる
。

実施例４：第１２図は光の分波器あるいは合波器へ適用
した実施例を示したもので、光学的機能を有する膜１は
波長フィルタ（ＢＰＦ）として機能する膜２３で、それ
ぞれの膜は特定の波長の光を反射するように設計されて
いる。

機能膜としては誘電体多層膜あるいはグレーティングな
どを使用することができる。

波長フィルタとしての機能膜２３は、特定の波長（λ１
〜λ７）の光を選択的に反射させるので図に示したよう
に、光分波機能あるいは光合波機能を持たせることが可
能となる。

いずれもその働きは、極めて容易に理解できるので詳細
な説明は省略するが、光多重通信用の入出力器あるいは
分光用計測器などに使用することができる。

なお、本発明は本実施例のように、積層数が多い場合に
特に有効なことは容易に理解できる。

実施例５；第１３図の（イ）は機能膜であるビームスプ
リンタ１９と、機能薄板であるλ／２板■７を組み合わ
せた複合機能薄板を用いた光ヘツド用複合光学部品の一
実施例で、第９図の（ハ）に対応するものである。

両図を比較してわかるように、複合機能薄板の使用によ
り、よりコンパクトに複合光学部品を構成することがで
きる。

同図（ロ）は複合機能薄板の部分を拡大したもので、ビ
ームスプリンタ１９およびλ／２板１７は、前に述べた
実施例１と同様の方法で作製すればよい。

同図（ハ）の矢印はディスク１０面への人出射光の方向
から見たλ／２板１７の光軸の方向を示したものでｙ軸
に対して２２．５°の角度に傾けてあり、従って、よく
知られているようにλ／２板を通過した戻り光の偏光面
は４５″回転し信号振幅を大きくすることができ、実施
例１で述べた如く偏光ビームスプリッタ１８の透過光と
反射光をホトディテクタに受けた時の逆相の再出力信号
光を差動検出できるようにしている。

本実施例以外の組合せの複合膜あるいは複合薄板を用い
て、本実施例と異なる機能の複合光学部品を構成できる
ことは勿論である。

実施例６：第１４図は積層面に対する４つの側面のなす
角度α、β、γ、δが、より一般的で複雑な、α＝γ≠
４５６．β≠δ≠９０°の場合の例である。

光学的機能層としては、ビームスプリッタ膜１９と１７
２波長板１７を合わせた複合機能薄板、偏光ビームスプ
リッタ膜１８およびミラー１４とから構成されている。

こ＼で注目すべき点は、本実施例では部品の上面を光の
入出射面としており、その角度をビーム整形プリズム１
０６として機能するように加工した。

同図（イ）は反射ターゲット、たとえば光磁気ディスク
１０への人出射光が複合光学部品の中の光路と平行な場
合を示した。

一方、同図（ロ）は更に機能を付加して、端面が立ち上
げプリズム２６として機能するように加工した場合の例
を示したものである。

したがって、ディスク１０へ入出射する光は、複合光学
部品の中の光路と垂直にすることができる。

実施例７：第１５図は本発明の複合光学部品の製造方法
のうち、光学部品用基材７７の構成と積層ブロック７の
切り出し方法の一実施例を示したもので、同図（イ）は
透明な平行平板２、例えば光学研磨した光学ガラス（Ｂ
Ｋ７）の表面に、光学的機能膜１、例えば実施例１に示
したような誘電体多層膜を形成して積層する場合の概念
図を、同図（ロ）は同しく光学的機能薄板１、例えば水
晶を光学研磨した薄板を使用して積層する場合の概念図
である。

いずれの場合も、通常使用されている光学接着剤、例え
ば光学用のエポキシ系樹脂などを用いて接着し一体とな
った積層物である光学用部品基材７７を構成する。

なお、両端の２枚の光学ガラスは中間のものより厚くし
て、後で行う端面加工に必要な余裕（加工しろ）をとっ
ておくのがよい。例えば中間の光学ガラスの厚さが１ｍ
ｍの場合、両端の光学ガラスの厚さを１．５１程度の必
要な厚さとする。

同図（ハ）は上に述べた光学部品用基材７７から個別積
層ブロック７を切り出す方法を示したもので、積層面の
全てと交わり積層面と角度αをなす面と、同じく角度β
をなす面に沿って図に示したように縦横に自動切断機で
切断することによって多数の個別積層ブロック７を一括
作製する一実施例を示したものである。

実施例８：第１６図は上に述べた個別積層プロツク７の
積層面と角度αをなすＡ面と相対する面、すなわちＣ面
を積層面と角度γをなすように研磨加工する一実施例を
示したものである。

まず、研磨用光学定盤２４の定盤面に、角度Ｔ−αを頂
角とするくさび型研磨用定盤２５を接着し、その上に図
に示したように多数の個別積層ブロック７を並べて接着
して、研磨用光学定盤２４の定盤面に平行に研磨するこ
とによって多数の相対する両側面を研磨仕上げした個別
積層ブロック７を一括作製することができる。

なお、図において点線で示したのは同様のくさび型定盤
を複数偏置いてより量産効果を上げるための例である。

積層面と角度βをなすＢ面と相対する面、すなわちＤ面
を積層面と角度δをなすように研磨加工するのも同様に
して行うことができる。

上に述べたように、側面加工を終えた個別積層ブロック
７は再び同様の方法で一括して、或いは必要に応じて個
別に端面の平面加工、または形状加工、または機能加工
などを行って本発明の複合光学部品を製造することがで
きる。

なお、必要に応じて側面加工と端面加工の順序を入れ換
えて行ってもよい。

実施例９：第１７図は本発明の複合光学部品を使用した
光磁気ディスク用光ヘッドの構成図である。　図中、１
００は本発明の複合光学部品で、第１４図に示した垂直
光路型の実施例６のものを使用した。

破線の枠内で示したのが光ヘッドの光学系であるが、よ
り機能を上げるためにトラッキングエラー検出系を付加
してもよいことは勿論である。

この実施例は、第１８図に示した従来の光ヘッドと機能
的に同等であることは、容易に理解されるので詳細な説
明は省略するが、従来の構成部品のうちビーム整形プリ
ズム１０６．ビームスプリッタ１９．立ち上げプリズム
１１９．１／２波長板１１１．偏光ビームスプリッタ１
１０．ミラー１４の６個の光学部品を、たった１個の本
発明の複合光学部品１００で置き換えたことを示してお
り、その効果が極めて大きいことがわかる。

〔発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、従来の個別光学
部品を集めた光学系と異なり、非常に小型で高精度の複
合光学部品を構成できるだけでなく、光軸合わせなどが
容易となり、また、部品間の境界面が少なくなるので波
面収差も減少させることができる。

さらに、透明な平行平板と光学的機能を有する膜または
薄膜とを積み重ねて一体とした大きな光学部品用基材か
ら、小さな多数の個別積層ブロックを一括製造できるの
で多量生産の効果が大きく、複雑な光学系を有する光学
デバイスの性能、品質の向上と小型化および価格の低下
に寄与するところが極めておおきい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の光学部品用基材の構成図、第２図は光
学部品用基材から切り出された積層ブロックの斜視図、 第３図（イ）〜（ニ）は本発明の複合光学部品の最外層
の両端面の形状を示す図、 第４図は本発明の複合光学部品の積層ブロックの製造方
法を示す図、 第５図および第６図は従来の光学部品の例、第７図は光
磁気ディスク装置用光ヘッドの光学系の従来例を示した
図、 第８図は従来の複合光学部品の例を示した図、第９図（
イ）〜（ハ）は実施例１：光ヘツド用複合光学部品の例
を示した図、 第１０図（イ）〜（ニ）は実施例２：光磁気ディスク装
置用光ヘッドに適用した複合光学部品の例を示した図、 第１１図（イ）〜（ハ）は実施例３：２ｘ２の光スィッ
チへの応用例を示した図、 第１２図（イ）、（ロ）は実施例４：分波器または合波
器としての応用例を示した図、第１３図（イ）〜（ハ）
は実施例５：複合機能薄板を用いた光ヘツド用複合光学
部品の例を示した図、 第１４図（イ）および（ロ）は実施例６：α＝γ≠４５
°、β≠δ≠９０’の場合の光ヘツド用複合光学部品の
例を示した図、 第１５図（イ）〜（ハ）は実施例７：光学部品用基材の
構成と積層ブロックの切り出し方法を示した図、 第１６図は実施例８：個別積層ブロックの側面の一括加
工方法の例を示した図である。 第１７図は実施例９：本発明の複合光学部品を使用した
光磁気ディスク用光ヘッドの構成図、第１８図は立ち上
げプリズムを有する従来の光ヘッドの構成図である。 図において、 １は光学的機能を有する膜または薄板、２は透明な平行
平板、 ７７は光学部品用基材、 ３および５は積層面に対して平行でない平面、４は積層
面に対して平行な平面、 ６は曲面（凸レンズ）に形状加工された非平面、７は積
層ブロック、 ８はグレーティング、 はプリズム、 ０はディスク、 ３は光学接着制の層、 ４はミラーとして機能する膜、 ５はハーフミラ−として機能する膜、 ６はλ／４板として機能する膜、 ７はλ／２板として機能する膜、 ８は偏光ビームスプリッタとして機能する膜、９ばビー
ムスプリッタとして機能する膜、０はブリュースタプリ
ズム、 １は臨界角プリズム、 ２は磁気光学効果を用いたＳ波／Ｐ波変換素子、３は波
長フィルタとして機能する膜、 ４は研磨用光学定盤、 ５はくさび型研磨用定盤、 ６は立ち上げプリズムである。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）３枚以上の透明な平行平板（２）と、２枚以上の
   光学的機能を有する膜または薄板（１）とを、透明な平
   行平板（２）が最外層の２面をなすように交互に積層し
   て一体化した光学部品用基材。
2. （２）光学的機能を有する膜または薄板（１）が、相異
   なる機能を持つ２種以上の膜または薄板を密接して２層
   以上重ねて一体とした複数の機能を有する複合膜または
   複合薄板であることを特徴とする請求項（１）記載の光
   学部品用基材。
3. （３）請求項（１）記載の光学部品用基材（７７）の積
   層面の全てと交わる４つの平面に沿って切断して得られ
   る４つの面を側面とし、前記最外層の２枚の透明平板の
   少なくとも一方の外表面が、積層面に対して平行な平面
   （４）、積層面に対して平行でない平面（３または５）
   、曲面またはグレーティングに形状加工あるいは機能加
   工された非平面（６または８）のうちの何れかの面に加
   工した端面からなり、前記４つの側面と両端面の合計６
   面のうちの２つ以上の面が、光の入出射面として機能す
   るように光学的に加工されていることを特徴とする複合
   光学部品。
4. （４）請求項（１）記載の光学部品用基材（７７）の積
   層面の全てと交わる４つの平面に沿って切断して得られ
   る４つの面を側面とする多数の個別積層ブロック（７）
   を形成する工程と、各積層ブロック（７）の最外層の２
   枚の透明平板の少なくとも一方の外表面を、積層面に対
   して平行な平面（４）、積層面に対して平行でない平面
   （３または５）、形状加工あるいは機能加工によって得
   られる曲面またはグレーティングなどの非平面（６また
   は８）のうちの何れかの面に加工する工程と、前記４つ
   の側面と両端面の合計６面のうちの２つ以上の面が、光
   の入出射面として機能するように光学的に加工する工程
   とからなることを特徴とする複合光学部品の製造方法。
5. （５）請求項（３）記載の複合光学部品を使用したこと
   を特徴とする光磁気ディスク用光ヘッド。