JPH0216858B2 - - Google Patents
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- JPH0216858B2 JPH0216858B2 JP57013892A JP1389282A JPH0216858B2 JP H0216858 B2 JPH0216858 B2 JP H0216858B2 JP 57013892 A JP57013892 A JP 57013892A JP 1389282 A JP1389282 A JP 1389282A JP H0216858 B2 JPH0216858 B2 JP H0216858B2
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0803—Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
- G01J5/0805—Means for chopping radiation
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- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/314—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry with comparison of measurements at specific and non-specific wavelengths
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は赤外線検出器に関する。
近時の赤外線検出器では、その赤外線検出部に
例えば焦電型の赤外線検出体が内蔵されている。
斯る赤外線検出体は入射赤外線の変化量に基づい
て電荷を発生する特性を有し、又上記赤外線検出
体の検出精度は入射赤外線量の変化が周期的であ
る程向上し、従つて上記赤外線検出体に入射する
赤外線を周期的に断続する必要があり、このため
に第１図ａ及びｂに示す如く赤外線検出器１の前
方にはモータ２によつて周期的に回転駆動される
金属板チヨツパ３が配置されている。
例えば焦電型の赤外線検出体が内蔵されている。
斯る赤外線検出体は入射赤外線の変化量に基づい
て電荷を発生する特性を有し、又上記赤外線検出
体の検出精度は入射赤外線量の変化が周期的であ
る程向上し、従つて上記赤外線検出体に入射する
赤外線を周期的に断続する必要があり、このため
に第１図ａ及びｂに示す如く赤外線検出器１の前
方にはモータ２によつて周期的に回転駆動される
金属板チヨツパ３が配置されている。
しかし乍ら、斯るチヨツパ３は形状が大きくス
ペース上の問題があり、且つ上記モータ２は回転
むらを生じて必ずしもチヨツパ３を周期的に回転
駆動しないため検出精度の低下を招いてしまう。
ペース上の問題があり、且つ上記モータ２は回転
むらを生じて必ずしもチヨツパ３を周期的に回転
駆動しないため検出精度の低下を招いてしまう。
本発明は斯る点に鑑みてなされたもので、以下
本発明実施例を図面に基づいて詳述する。
本発明実施例を図面に基づいて詳述する。
第２図は赤外線検出器４を示し、５はタンタル
酸リチウム（LiTaO3）単結晶から成り入射赤外
線変化量に応じて電荷を発生する焦電型の赤外線
検出体、６及び７は夫々該赤外線検出体の表、裏
面にニクロム蒸着膜にて形成された表、裏面電
極、８は銅、燐青銅などからなる金属性支持台
で、該支持台上には、上記裏面電極７を支持台８
上面に対向するようにして、上記赤外線検出体５
が銀ペーストなどの導電性接着剤９にて固着され
ている。
酸リチウム（LiTaO3）単結晶から成り入射赤外
線変化量に応じて電荷を発生する焦電型の赤外線
検出体、６及び７は夫々該赤外線検出体の表、裏
面にニクロム蒸着膜にて形成された表、裏面電
極、８は銅、燐青銅などからなる金属性支持台
で、該支持台上には、上記裏面電極７を支持台８
上面に対向するようにして、上記赤外線検出体５
が銀ペーストなどの導電性接着剤９にて固着され
ている。
１０は上記赤外線検出体５が高抵抗であるが故
に斯る高抵抗を低抵抗に変換するためのインピー
ダンス変換回路１１が配置されたアルミナ基板、
１２は金属性のキヤツプ１３及びヘツダ１４から
なる収納体で、該収納体内の上記ヘツダ１４上に
は上記支持台８及び基板１０が固定されている。
１５は上記ヘツダ１４に直接的に植設されたアー
ス端子で、該端子は上記支持台８及び接着剤９を
介して上記裏面電極７に電気的に接続されてい
る。１６及び１７は夫々上記ヘツダ１４に絶縁材
１８，１９を介して植設された第１、第２リード
端子、２０は上記表面電極６とインピーダンス変
換回路１１とを結線するリード線、２１，２２は
上記インピーダンス変換回路１１と第１、第２リ
ード端子１６，１７とを結線するリード線であ
る。
に斯る高抵抗を低抵抗に変換するためのインピー
ダンス変換回路１１が配置されたアルミナ基板、
１２は金属性のキヤツプ１３及びヘツダ１４から
なる収納体で、該収納体内の上記ヘツダ１４上に
は上記支持台８及び基板１０が固定されている。
１５は上記ヘツダ１４に直接的に植設されたアー
ス端子で、該端子は上記支持台８及び接着剤９を
介して上記裏面電極７に電気的に接続されてい
る。１６及び１７は夫々上記ヘツダ１４に絶縁材
１８，１９を介して植設された第１、第２リード
端子、２０は上記表面電極６とインピーダンス変
換回路１１とを結線するリード線、２１，２２は
上記インピーダンス変換回路１１と第１、第２リ
ード端子１６，１７とを結線するリード線であ
る。
２３は上記赤外線検出体５に表面電極５側から
赤外線を入射せしめるべく上記キヤツプ１３に穿
設された開口、２４は該開口を閉塞する第１赤外
線透過体で、該透過体は波長２〜15μmの赤外線
に対する透過率が高い厚さ数100μmのシリコン又
はゲルマニウム板からなつている。２５は上記開
口２３に対向すべく上記第１赤外線透過体２４の
下面に固定された平面状の第１対向体（詳細は後
述する）、２６は上記収納体１２内において上記
第１赤外線透過体２４に近接対向すべく配置され
た第２赤外線透過体で、該透過体は上記第１赤外
線透過体２４と同様に波長２〜15μmの赤外線に
対する透過率が高い厚さ数100μmのシリコン又は
ゲルマニウム板からなつている。２７は上記開口
２３に対向すべく、更には上記第１対向体２５に
平行にして近接対向すべく上記第２赤外線透過体
２６の上面に固定された平面状の第２対向体（詳
細は後述する）である。
赤外線を入射せしめるべく上記キヤツプ１３に穿
設された開口、２４は該開口を閉塞する第１赤外
線透過体で、該透過体は波長２〜15μmの赤外線
に対する透過率が高い厚さ数100μmのシリコン又
はゲルマニウム板からなつている。２５は上記開
口２３に対向すべく上記第１赤外線透過体２４の
下面に固定された平面状の第１対向体（詳細は後
述する）、２６は上記収納体１２内において上記
第１赤外線透過体２４に近接対向すべく配置され
た第２赤外線透過体で、該透過体は上記第１赤外
線透過体２４と同様に波長２〜15μmの赤外線に
対する透過率が高い厚さ数100μmのシリコン又は
ゲルマニウム板からなつている。２７は上記開口
２３に対向すべく、更には上記第１対向体２５に
平行にして近接対向すべく上記第２赤外線透過体
２６の上面に固定された平面状の第２対向体（詳
細は後述する）である。
２８は２枚の圧電板を張り合わせて形成された
振動体、即ちバイモルフで、該バイモルフは直方
体形状を有しその長さ、幅ｗ、厚みａは夫々約
30mm、５mm、05mmであり、水晶、ロツシエル塩、
酒石酸エチレン、ジアミン、酒石酸カリ、第一リ
ン酸カリ、第一リン酸アンモン、硫酸リチウム、
チタン酸バリウム、硫酸グリシンなどの単結晶
や、チタン酸バリウム系磁器、ジリコン酸・チタ
ン酸鉛系磁器、ニオブ酸系磁器などの磁器材料か
らなつている。そして、上記バイモルフ２８は赤
外線入射方向に垂直な方向、即ち横方向に長くな
るようにして左端２８′が上記ヘツダ１４に設け
られた絶縁台２９に固定され、右端２８″に上記
第２赤外線透過体２６が装着されている。３０及
び３１は上記ヘツダ１４に絶縁材３２，３３を介
して植設された第３、第４リード端子、３４及び
３５は第３図にも示す如く上記バイモルフ２８の
左端２８′の両面に形成された第１、第２振動電
極で、該第１、第２振動電極は夫々上記第３、第
４リード端子３０，３１に接続されている。
振動体、即ちバイモルフで、該バイモルフは直方
体形状を有しその長さ、幅ｗ、厚みａは夫々約
30mm、５mm、05mmであり、水晶、ロツシエル塩、
酒石酸エチレン、ジアミン、酒石酸カリ、第一リ
ン酸カリ、第一リン酸アンモン、硫酸リチウム、
チタン酸バリウム、硫酸グリシンなどの単結晶
や、チタン酸バリウム系磁器、ジリコン酸・チタ
ン酸鉛系磁器、ニオブ酸系磁器などの磁器材料か
らなつている。そして、上記バイモルフ２８は赤
外線入射方向に垂直な方向、即ち横方向に長くな
るようにして左端２８′が上記ヘツダ１４に設け
られた絶縁台２９に固定され、右端２８″に上記
第２赤外線透過体２６が装着されている。３０及
び３１は上記ヘツダ１４に絶縁材３２，３３を介
して植設された第３、第４リード端子、３４及び
３５は第３図にも示す如く上記バイモルフ２８の
左端２８′の両面に形成された第１、第２振動電
極で、該第１、第２振動電極は夫々上記第３、第
４リード端子３０，３１に接続されている。
而して、上記第１、第２振動電極３４，３５間
に第３、第４リード端子３０，３１を介して所定
の交流信号を印加すると、上記バイモルフ２８は
交流信号の周波数に応じて撓んで第２赤外線透過
体２６を円弧状Ａ方向（第３図）に周期的に振動
せしめる。この場合、上記２対向体２７は第１対
向体２５に対して常に平行状態に保持されながら
円弧状Ａ方向に周期的に振動する。
に第３、第４リード端子３０，３１を介して所定
の交流信号を印加すると、上記バイモルフ２８は
交流信号の周波数に応じて撓んで第２赤外線透過
体２６を円弧状Ａ方向（第３図）に周期的に振動
せしめる。この場合、上記２対向体２７は第１対
向体２５に対して常に平行状態に保持されながら
円弧状Ａ方向に周期的に振動する。
ここで、上記第１、第２対向体２５，２７を詳
述するに、第２対向体２７において３６，３６…
はアルミニウム、金、銀などの赤外線非透過材料
からなり紙面に略平行な方向（第２図）にて第４
図ｂに示す如く線状に延設された複数の第２赤外
線非透過部、３７，３７…は該第２赤外線非透過
部の各々の間に位置し第２赤外線非透過部３６，
３６…と同一の形状及び寸法を有する第２赤外線
非透過部である。そして第２赤外線非透過部３
６，３６…及び第２赤外線透過部３７，３７…の
各部分の振動方向寸法は各部分の振動幅に比例し
ている。従つて、第２対向体２７は円弧状Ａ方向
に振動するから、上記第２赤外線非透過部３６，
３６…及び第２赤外線透過部３７，３７…は共
に、上記バイモルフ２８に最も近い部分の振動方
向寸法が最小幅W1となりバイモルフ２８から最
も遠い部分の振動方向寸法が最大幅W2となるよ
うな扇形をなしている。
述するに、第２対向体２７において３６，３６…
はアルミニウム、金、銀などの赤外線非透過材料
からなり紙面に略平行な方向（第２図）にて第４
図ｂに示す如く線状に延設された複数の第２赤外
線非透過部、３７，３７…は該第２赤外線非透過
部の各々の間に位置し第２赤外線非透過部３６，
３６…と同一の形状及び寸法を有する第２赤外線
非透過部である。そして第２赤外線非透過部３
６，３６…及び第２赤外線透過部３７，３７…の
各部分の振動方向寸法は各部分の振動幅に比例し
ている。従つて、第２対向体２７は円弧状Ａ方向
に振動するから、上記第２赤外線非透過部３６，
３６…及び第２赤外線透過部３７，３７…は共
に、上記バイモルフ２８に最も近い部分の振動方
向寸法が最小幅W1となりバイモルフ２８から最
も遠い部分の振動方向寸法が最大幅W2となるよ
うな扇形をなしている。
更に、上記第１対向体２５において、３８，３
８…は上記第２赤外線非透過部３６，３６…と同
一材料からなり紙面に略平行な方向（第２図）に
て第４図ａに示す如く線状に延設された複数の第
１赤外線非透過部、３９，３９…は該第１赤外線
非透過部の各々の間に位置する第１赤外線透過部
で、上記第１赤外線非透過部３８，３８…及び第
１赤外線透過部３９，３９…は上記第２対向体２
７の第２赤外線非透過部３６，３６…及び第２赤
外線透過部３７，３７…と同一の扇形状及び寸法
を有している。
８…は上記第２赤外線非透過部３６，３６…と同
一材料からなり紙面に略平行な方向（第２図）に
て第４図ａに示す如く線状に延設された複数の第
１赤外線非透過部、３９，３９…は該第１赤外線
非透過部の各々の間に位置する第１赤外線透過部
で、上記第１赤外線非透過部３８，３８…及び第
１赤外線透過部３９，３９…は上記第２対向体２
７の第２赤外線非透過部３６，３６…及び第２赤
外線透過部３７，３７…と同一の扇形状及び寸法
を有している。
そして、例えば、上記第１赤外線非透過部３
８，３８…、第１赤外線透過部３９，３９…、第
２赤外線非透過部３６，３６…及び第２赤外線透
過部３７，３７…の幅W1，W2は夫々100μm、
120μmであり長さは３mm、厚さＤは0.1〜
100μmである。
８，３８…、第１赤外線透過部３９，３９…、第
２赤外線非透過部３６，３６…及び第２赤外線透
過部３７，３７…の幅W1，W2は夫々100μm、
120μmであり長さは３mm、厚さＤは0.1〜
100μmである。
而して、上記バイモルフ２８の振動時には、上
記第２対向体２７の第２赤外線非透過部３６，３
６…は第５図に詳細に示す如く上記第１対向体２
５の第１赤外線非透過部３８，３８…及び第１赤
外線透過部３９，３９…に交互に完全に重畳する
ように、即ち打点領域Ｉ及び斜線領域Ｊに位置す
るように振動する。
記第２対向体２７の第２赤外線非透過部３６，３
６…は第５図に詳細に示す如く上記第１対向体２
５の第１赤外線非透過部３８，３８…及び第１赤
外線透過部３９，３９…に交互に完全に重畳する
ように、即ち打点領域Ｉ及び斜線領域Ｊに位置す
るように振動する。
ここに、上記第１赤外線非透過部３８，３９
…、第１赤外線透過部３９，３９…、第２赤外線
非透過部３６，３６…及び第２赤外線透過部３
７，３７…の幅は第６図ａ，ｂに示す如く一定と
するのが通常である。この場合、第２対向体２７
は円弧状Ａ方向に振動するから、例えば第２赤外
線非透過部３６，３６…は第７図に示す如く第１
赤外線非透過部３８，３８…に完全には重畳しな
い。すると、赤外線検出器４外部の被検出体から
の赤外線を周期的に断続して赤外線検出体５に入
射する赤外線を周期的に変化せしめるにも、即ち
交流的に変調せしめるにもその変調度が悪く、従
つて赤外線検出体５におけるSN比が低下してし
まう。
…、第１赤外線透過部３９，３９…、第２赤外線
非透過部３６，３６…及び第２赤外線透過部３
７，３７…の幅は第６図ａ，ｂに示す如く一定と
するのが通常である。この場合、第２対向体２７
は円弧状Ａ方向に振動するから、例えば第２赤外
線非透過部３６，３６…は第７図に示す如く第１
赤外線非透過部３８，３８…に完全には重畳しな
い。すると、赤外線検出器４外部の被検出体から
の赤外線を周期的に断続して赤外線検出体５に入
射する赤外線を周期的に変化せしめるにも、即ち
交流的に変調せしめるにもその変調度が悪く、従
つて赤外線検出体５におけるSN比が低下してし
まう。
この点、上記赤外線検出器４では、第２赤外線
非透過部３６，３６…は第１赤外線非透過部３
８，３８…及び第１赤外線透過部３９，３９…に
完全に重畳するから、赤外線検出体５に入射する
赤外線の変調度は良好であり、従つて赤外線検出
体５におけるSN比は顕著に向上する。尚、赤外
線検出体５の出力は被検出体の温度と室温との温
度差に基づいている。
非透過部３６，３６…は第１赤外線非透過部３
８，３８…及び第１赤外線透過部３９，３９…に
完全に重畳するから、赤外線検出体５に入射する
赤外線の変調度は良好であり、従つて赤外線検出
体５におけるSN比は顕著に向上する。尚、赤外
線検出体５の出力は被検出体の温度と室温との温
度差に基づいている。
第８図は上記赤外線検出器４を含む回路を示
し、赤外線検出器４内のインピーダンス変換回路
１１は1010〜1011Ωの高入力抵抗４０、FET（電界
効果トランジスタ）４１及び約10KΩの出力抵抗
４２にて形成されている。
し、赤外線検出器４内のインピーダンス変換回路
１１は1010〜1011Ωの高入力抵抗４０、FET（電界
効果トランジスタ）４１及び約10KΩの出力抵抗
４２にて形成されている。
そして、上記赤外線検出器４は第１リード端子
１６にて直流電圧が供給され、第２リード端子１
７から被検出体の温度と室温との温度差に応じた
交流信号が出力される。４３は室温測定を行なう
ダイオード、４４は無安定マルチバイブレータか
らなり周期的パルスを発振する発振器、４５は上
記パルスに基づいて上記バイモルフ２８を振動せ
しめる（撓ませる）ための交流信号を出力する駆
動回路、４６，４７，４８は直流増幅器、４９は
フイルタ増幅器、５０は周期検波器で、上記赤外
線検出器４からの交流信号と上記発振器４４から
のパルスとの同期をとり、被検出体の温度が室温
より高い場合はその温度差に応じた正の直流信号
を出力し、被検出体の温度が室温より低い場合は
その温度差に応じた負の直流信号を出力する。５
１は上記同期検波器５０の出力とダイオード４３
の出力とを合成（加算）する合成回路で、該回路
は被検出体の温度に応じた信号を出力する。５２
は斯る温度を所望回路へ出力するための出力端子
である。
１６にて直流電圧が供給され、第２リード端子１
７から被検出体の温度と室温との温度差に応じた
交流信号が出力される。４３は室温測定を行なう
ダイオード、４４は無安定マルチバイブレータか
らなり周期的パルスを発振する発振器、４５は上
記パルスに基づいて上記バイモルフ２８を振動せ
しめる（撓ませる）ための交流信号を出力する駆
動回路、４６，４７，４８は直流増幅器、４９は
フイルタ増幅器、５０は周期検波器で、上記赤外
線検出器４からの交流信号と上記発振器４４から
のパルスとの同期をとり、被検出体の温度が室温
より高い場合はその温度差に応じた正の直流信号
を出力し、被検出体の温度が室温より低い場合は
その温度差に応じた負の直流信号を出力する。５
１は上記同期検波器５０の出力とダイオード４３
の出力とを合成（加算）する合成回路で、該回路
は被検出体の温度に応じた信号を出力する。５２
は斯る温度を所望回路へ出力するための出力端子
である。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれば
入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する赤外線
検出体、該検出体を収納する収納体、被検出体か
らの赤外線を上記赤外線検出体へ入射せしめるべ
く上記収納体に穿設された開口、赤外線透過部及
び赤外線非透過部を共に有し互いに平行にして上
記開口に対向すべく配置された平面状の一対の対
向体、長手方向に対して垂直に自由に振動可能な
自由開放端の先端部に一方の前記対向体を装着し
且つ上記平行状態を保持しながら一方の対向体を
その赤外線非透過部が他方の対向体の赤外線透過
部及び赤外線非透過部に周期的に交互に重畳する
ように振動せしめる振動体を備え、上記一方の対
向体の赤外線透過部及び赤外線非透過部におい
て、その形状及び寸法は互いに同一とし、各部分
の振動方向の寸法は各部分の振動幅に比例せし
め、更に上記他方の対向体の赤外線透過部及び赤
外線非透過部の形状及び寸法は上記一方の対向体
の赤外線透過部及び赤外線非透過部と同一とした
から、従来の如きチヨツパ及びモータが不要とな
り、従つて赤外線検出部を小型化できると共に、
赤外線検出体に入射する赤外線はむらなく周期的
に変化するため高精度の下に赤外線検出を行なう
ことができる。更に、赤外線を変化せしめる場合
の変調度を向上でき、従つて赤外線検出体におけ
るSN比を顕著に向上できる。
入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する赤外線
検出体、該検出体を収納する収納体、被検出体か
らの赤外線を上記赤外線検出体へ入射せしめるべ
く上記収納体に穿設された開口、赤外線透過部及
び赤外線非透過部を共に有し互いに平行にして上
記開口に対向すべく配置された平面状の一対の対
向体、長手方向に対して垂直に自由に振動可能な
自由開放端の先端部に一方の前記対向体を装着し
且つ上記平行状態を保持しながら一方の対向体を
その赤外線非透過部が他方の対向体の赤外線透過
部及び赤外線非透過部に周期的に交互に重畳する
ように振動せしめる振動体を備え、上記一方の対
向体の赤外線透過部及び赤外線非透過部におい
て、その形状及び寸法は互いに同一とし、各部分
の振動方向の寸法は各部分の振動幅に比例せし
め、更に上記他方の対向体の赤外線透過部及び赤
外線非透過部の形状及び寸法は上記一方の対向体
の赤外線透過部及び赤外線非透過部と同一とした
から、従来の如きチヨツパ及びモータが不要とな
り、従つて赤外線検出部を小型化できると共に、
赤外線検出体に入射する赤外線はむらなく周期的
に変化するため高精度の下に赤外線検出を行なう
ことができる。更に、赤外線を変化せしめる場合
の変調度を向上でき、従つて赤外線検出体におけ
るSN比を顕著に向上できる。
また、特開昭56−160628号（G01J、５／62）
に記載の従来技術においては圧電振動子の伸び方
向（縦方向）の振動を用いているが、伸び方向の
振幅量は100Vの印加でもせいぜい10μm程度であ
る。一方、本発明においてはバイモルフ振動子の
横方向の振幅量を利用しているので、数10Vの印
加でも数10μmの大きな振幅、即ち、前者に比較
して約10倍の振幅量を得ることができ、極めて効
率がよい。また、この従来例においては２個の発
振器を要し、而も両発器の発振周波数の差の周波
数で赤外線をチヨツピングするので、その周波数
を精度よく制御する必要があるが、本発明ではそ
のような高精度の発振器を要せず、而も１個で事
足りる。
に記載の従来技術においては圧電振動子の伸び方
向（縦方向）の振動を用いているが、伸び方向の
振幅量は100Vの印加でもせいぜい10μm程度であ
る。一方、本発明においてはバイモルフ振動子の
横方向の振幅量を利用しているので、数10Vの印
加でも数10μmの大きな振幅、即ち、前者に比較
して約10倍の振幅量を得ることができ、極めて効
率がよい。また、この従来例においては２個の発
振器を要し、而も両発器の発振周波数の差の周波
数で赤外線をチヨツピングするので、その周波数
を精度よく制御する必要があるが、本発明ではそ
のような高精度の発振器を要せず、而も１個で事
足りる。
また、特開昭56−128432号（G01J １／42）に
示されている技術においては、回転円板上の光透
過部の寸法を振動幅に比例するようにした例が示
されているが、この従来例では１枚の回転円板を
モーターで回転駆動するに過ぎない。また、特開
昭55−54418号（G01J ５／14）第５図にはバイ
モルフを使用して光を断続する例が示されている
が、本発明で述べた如き構成および効果を有する
ものではない。
示されている技術においては、回転円板上の光透
過部の寸法を振動幅に比例するようにした例が示
されているが、この従来例では１枚の回転円板を
モーターで回転駆動するに過ぎない。また、特開
昭55−54418号（G01J ５／14）第５図にはバイ
モルフを使用して光を断続する例が示されている
が、本発明で述べた如き構成および効果を有する
ものではない。
第１図ａ及びｂは夫々従来の赤外線検出機構の
側面図及び平面図、第２図は本発明実施例赤外線
検出器の断面図、第３図は第２図において矢印
方向から見た図、第４図ａ，ｂは夫々同要部平面
図、第５図は同要部の動作状態図、第６図ａ，ｂ
は夫々第４図ａ，ｂに対応する赤外線検出器の一
般的要部平面図、第７図は同要部の動作状態図、
第８図は第２図の赤外線検出器を含む回路図であ
る。 ５……赤外線検出体、１２……収納体、２３…
…開口、２５……第１対向体、３８，３８……第
１赤外線非透過部、３９，３９……第１赤外線透
過部、２７……第２対向体、３６，３６……第２
赤外線非透過部、３７，３７……第２赤外線透過
部、２８……バイモルフ。
側面図及び平面図、第２図は本発明実施例赤外線
検出器の断面図、第３図は第２図において矢印
方向から見た図、第４図ａ，ｂは夫々同要部平面
図、第５図は同要部の動作状態図、第６図ａ，ｂ
は夫々第４図ａ，ｂに対応する赤外線検出器の一
般的要部平面図、第７図は同要部の動作状態図、
第８図は第２図の赤外線検出器を含む回路図であ
る。 ５……赤外線検出体、１２……収納体、２３…
…開口、２５……第１対向体、３８，３８……第
１赤外線非透過部、３９，３９……第１赤外線透
過部、２７……第２対向体、３６，３６……第２
赤外線非透過部、３７，３７……第２赤外線透過
部、２８……バイモルフ。
Claims (1)
- １ 入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する赤
外線検出体５と、該検出体を収納する収納体１２
と、被検出体からの赤外線を前記赤外線検出体へ
入射せしめるべく前記収納体に穿設された開口２
３と、赤外線透過部３９及び赤外線非透過部３８
を共に有し互いに平行にして前記開口２３に対向
すべく配置された平面状の一対の対向体２５，２
７と、長手方向に対して垂直に自由に振動可能な
自由開放端の先端部に一方の前記対向体を装着し
且つ前記平行状態を保持しながら前記一方の対向
体をその赤外線非透過部が他方の対向体の赤外線
透過部及び赤外線非透過部に周期的に交互に重畳
するように振動せしめるバイモルフ振動体２８と
を備え、前記一方の対向体の赤外線透過部及び赤
外線非透過部において、その形状及び寸法は互い
に同一とし、各部分の振動方向の寸法は各部分の
振動幅に比例せしめ、更に、上記他方の対向体の
赤外線透過部及び赤外線非透過部の形状及び寸法
は上記一方の対向体の赤外線透過部及び赤外線非
透過部と同一にしてなる赤外線検出器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57013892A JPS58129334A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 赤外線検出器 |
| US06/407,582 US4485305A (en) | 1981-08-20 | 1982-08-12 | Infrared detector with vibrating chopper |
| GB08223932A GB2105033B (en) | 1981-08-20 | 1982-08-19 | Infrared ray detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57013892A JPS58129334A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129334A JPS58129334A (ja) | 1983-08-02 |
| JPH0216858B2 true JPH0216858B2 (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=11845829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57013892A Granted JPS58129334A (ja) | 1981-08-20 | 1982-01-29 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129334A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6118887A (ja) * | 1984-07-06 | 1986-01-27 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | チヨツパ− |
| US5019710A (en) * | 1989-03-30 | 1991-05-28 | Measurex Corporation | Optical system for detecting properties of traveling sheet materials |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56128432A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-07 | Brother Ind Ltd | Optical detector |
| JPS56160628A (en) * | 1980-05-14 | 1981-12-10 | Sanyo Electric Co Ltd | Infrared detector |
| JPS5711518A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-21 | Citizen Watch Co Ltd | Manufacture for tuning fork type quartz oscillator |
| JPS5798033U (ja) * | 1980-12-05 | 1982-06-16 |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57013892A patent/JPS58129334A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58129334A (ja) | 1983-08-02 |
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