JPH02170026A - サーモグラフィ装置 - Google Patents

サーモグラフィ装置

Info

Publication number
JPH02170026A
JPH02170026A JP63325353A JP32535388A JPH02170026A JP H02170026 A JPH02170026 A JP H02170026A JP 63325353 A JP63325353 A JP 63325353A JP 32535388 A JP32535388 A JP 32535388A JP H02170026 A JPH02170026 A JP H02170026A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
condensing
gain
luminous flux
condensing mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63325353A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Mizukami
洋 水上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP63325353A priority Critical patent/JPH02170026A/ja
Publication of JPH02170026A publication Critical patent/JPH02170026A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Diaphragms For Cameras (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Exposure Control For Cameras (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、サーモグラフィ装置に係り、特に集光鏡を交
換可能にすると共に、使用する集光鏡によらず温度指示
を一定にできるサーモグラフィ装置に関するものである
[従来の技術] 被写体から放射される赤外線を検出して、被写体の温度
分布を測定する装置はサーモグラフィ装置として広く知
られており、その構成としては種々知られているが、本
出願人は先に、水平走査と垂直走査をそれぞれ専用の走
査鏡で行うようにしたサーモグラフィ装置を提案した。
その構成を第3図に示す。
第3図(a)はサーモグラフィ装置の正面図、同図(b
)は側面図を示し、図中、31は垂直走査鏡、32は垂
直走査鏡駆動モータ、33は水平走査鏡、34は水平走
査鏡駆動モータ、35は集光鏡、36は光束絞り、37
はリレーレンズ、38は赤外線検出器を示す。
第3図<a)、  (b)において、水平走査鏡33の
中央部には小さな開口部が設けられており、集光鏡35
、水平走査鏡33の開口部、リレーレンズ37、赤外線
検出器38がこの順序で図の40で示す光軸上に配置さ
れている。
水平走査鏡33は、その走査偏向角が0°のとき、即ち
、水平視野の中心にある時、光軸40とは45°の角度
をなすように配置されており、光軸40を41で示す光
軸に90’回転させる。
垂直走査鏡31は、その走査偏向角が00のとき、即ち
、垂直視野の中心にあるとき、光軸41を、光軸40と
光軸41とで形成される平面の垂線の方向に90°回転
させる。これが図の42で示す光軸である。
水平走査鏡33は光軸40と光軸41の交点を通ってこ
れらの光軸と垂直な軸を中心に回転振動して水平走査を
行う(第3図(a)の矢印43)。
この回転振動は水平走査鏡駆動モータ34により行われ
る。
垂直走査鏡31は光軸41と光軸42の交点を通ってこ
れらの光軸と垂直な軸を中心に回転振動して垂直走査を
行う(第3図(b)の矢印44)。
この回転振動は垂直走査鏡駆動モータ32により行われ
る。
リレーレンズ37はその位置は固定されており、赤外線
検出器38の像を図の45で示す中間結像点に投影する
。中間結像点45は水平走査鏡33の開口部の近傍にな
るようになされる。このことにより当該開口部の開口面
積は小さくできるものである。
集光鏡35は凹面鏡で構成されており、焦点調整のため
に光軸40の方向に移動可能となされている。
さて、第3図に示す構成によれば、集光鏡の鏡胴をユニ
ット化することで容易に交換可能にすることができる。
その例を第4図に示す。
第4図は、第3図の焦点距離の短い集光鏡35を、より
焦点距離の長い集光鏡35′に交換した場合を示してい
る。このように曲率の異なる、即ち焦点距離の異なる集
光鏡を交換可能にすることにより、被写体上のスポット
(被写体に結像される赤外線検出器の像の大きさ)を変
えることができ、画像分解能を優先させる場合には焦点
距離の長い集光鏡を使用し、また、温度分解能を優先さ
せたい場合には焦点距離の短い集光鏡を使用することが
できるものである。例えば、第4図の集光鏡35′の曲
率半径が第3図の集光鏡35のそれの2倍とすると、被
写体上のスポットは第3図の場合の約1/2になるので
画像分解能がよい赤外線像を得ることができる。走査鏡
上の光束の大きさは第3図の場合と第4図の場合とで同
じであるが、赤外線検出器38に入射する光束の開き角
39は第4図の場合の方が小さくなるので、第3図の場
合に比して温度分解能が悪い赤外線像を得ることになる
[発明が解決しようとする課題] さて、第3図、第4図において、光束絞り36の大きさ
は光束の大きさが走査ミラーの外形寸法からはみ出さな
い大きさに決められる。また、光束絞り36は赤外線検
出器38に入射する光量を制限し、温度指示が焦点範囲
によらず常に一定になるようにする機能がある。つまり
、もし、光束絞り36を設けないとすると、被写体の距
離に応じて集光鏡35が移動したときに赤外線検出器3
8に入射する光束の開き角39が変化し、その結果、被
写体の検出温度は距離によらず一定であるべきであるに
も拘らず、距離によって変わってしまうことになる。
以上の理由により、光束絞り36を設けて常に一定の温
度指示とするようにしているのである。
このような現象は集光鏡35を交換して倍率を変えた場
合にはより顕著に現れる。つまり、集光鏡の焦点距離を
長くして倍率を下げると被写体に結像する赤外線検出器
38のスポットが小さくなり、同時に光束の開き角39
が小さくなるのでより小さな光束絞り36に交換する必
要がある。第1図で36aは焦点距離の短い集光鏡の場
合の光束絞りで、36bは焦点距離の長い集光鏡の場合
の光束絞りである。
しかし、集光鏡の交換の度毎にオペレータが手作業で光
束絞りの交換を行うのでは煩わしく、負担になるもので
あった。
また、集光鏡の直径は、装置全体をできるだけコンパク
トに構成したいという要求もあって、倍率によらず一定
となされるために、曲率半径の大きい倍率の小さい集光
鏡の場合には光量が不足することになる。従って集光鏡
を交換すると光量が変化するので、増幅器の利得を調整
して振幅の変化を補償する必要があり、この作業をその
都度手作業で行うのも面倒であった。
なお、以上の説明は集光レンズとして凹面鏡の集光鏡を
用いて説明したが、集光手段としては凹面鏡に限らずレ
ンズを使用してもよい。但し赤外像のみならず可視像も
検出するサーモグラフィ装置では、赤外光と可視光を同
時に透過するレンズ材質を選択する必要があることは言
うまでもない。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、集光鏡
の交換に連動されて自動的に光束絞りが交換されるよう
になされたサーモグラフィ装置を提供することを目的と
するものである。
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達成するために、本発明のサーモグラフィ
装置は、集光鏡又は集光レンズが交換可能となされたサ
ーモグラフィ装置において、集光鏡又は集光レンズの種
類を識別する手段と、光束絞りを交換する第2手段と、
赤外線検出器出力を利得調整する手段とを具備し、使用
される集光鏡又は集光レンズの種類に応じて光束絞りを
自動的に交換し、赤外線検出器出力の利得を調整するこ
とを特徴とする。
[作用および発明の効果] 本発明によれば、集光鏡の交換に連動して光束絞りが自
動的に交換され、更に赤外線検出器出力の利得も自動調
整されるので、使用される集光手段によらず、また被写
体の距離によらず、温度の指示を一定にすることができ
る。
また、本す−キグラフィ装置においては赤外線像とバラ
ラックスのない、即ち同軸で視野が同一な可視光像を得
ることができ、その際に使用する集光鏡またはレンズに
よらず一定のコントラストの可視像を得ることができる
ものである。
[実施例コ 以下、第1図を参照しつつ本発明の1実施例を説明する
第1図は本発明に係るサーモグラフィ装置の1実施例の
構成を示す図であり、図中、1は集光鏡ユニット、2は
集光鏡検知器、3−は演算装置、4はD/A変換器、5
は駆動回路、6はモータ、7は絞り板、8.10はプリ
アンプ、9.11は利得調整器である。
交換可能となされる集光鏡はそれぞれユニット化されて
おり、所望の集光鏡ユニットが第3図a1または第4図
に示すようにサーモグラフィ装置本体に装着される。こ
れが第1図の集光鏡ユニット1であり、ある集光鏡ユニ
ットが装着されると、集光鏡検知器2はサーモグラフィ
装置本体に装着された集光鏡ユニットの種類を識別し、
どの集光鏡ユニットが装着されたかを演算装置3に通知
する。そのためのメカニズムとしては、例えば、サーモ
グラフィ装置本体に電気的接点を二つ設けておき、当該
接点と接する集光鏡ユニットの接点の数、およびその配
置の組合せにより集光鏡ユニットの種類を4通り識別す
ることができる。当該接点の数を増やせばより多くの集
光鏡ユニットの種類を識別することができることは明か
であろう。
また、適当なセンサを用いてもよいものである。
演算装置3は、装着された集光鏡ユニットの種類に応じ
て使用する光束絞りの種類を決定すると共に、赤外線検
出器出力に対する利得を決定する。
使用する光束絞りの種類が決定されると、演算装置3は
、現在使用されている光束絞りの絞り板7上の位置と、
新たに挿入する光束絞りの絞り板7上の位置との相対関
係よりモータ6をどれだけ回転させればよいかを演算し
、その結果をD/A変換器4に出力する。演算装置3の
ディジタル出力はD/A変換器4でアナログ信号に変換
され、駆動回路5に入力される。駆動回路5は当該入力
に応じた電力を発生してモータ6に供給する。これによ
りモータ6は絞り仮7を所定の角度だけ回転させて、所
定の光束絞りを光路上に配置させる。
利得の調整は次のようにして行われる。
利得調整器9にはプリアンプ8を介して赤外線検出器の
出力が入力されているので、演算装置3で決定された利
得の指令を利得調整器9に与えることで調整することが
できる。利得調整器9の構成としては、例えば、ボテン
シロメータの摺動子をモータで移動させたり、トランジ
スタ等を用いた一般的な利得調整回路を使用することも
できるが、その場合にはD/A変換器を設けなければな
らず、コストアップの要因にもなるので、D/A変換器
を電子ボリウムとして用いるのがよい。このようにする
と演算装置3のディジタル出力をそのまま使えるので便
利である。
この利得調整量の決定は、使用される集光鏡ユニットに
対する利得量を収めたテーブルを参照することによって
行うことができる。即ち、ある集光鏡ユニットを使用し
た場合にはどれだけの利得が必要かは最終調整段階で得
られるので、その値をテーブルとして演算装置3に格納
しておけばよいものである。
絞り板7に配置される光束絞りは第2図のようII な構成となされる。第2図はその1例であり、透孔20
の略中心部に遮光部21が設けられている。
これは検出器の視野が走査ミラー33の中心に開けられ
た穴を見ないようにするためである。遮光部21がない
と赤外画像の中央部と端部で温度指示値のムラが生じる
ことになる。すなわち走査ミラー33が走査されて角度
が変化すると、光束の面積に占める穴の影の面積の割合
が変化するために、温度指示の均一性が得られないので
ある。従って、当該遮光部21は光軸上に配置され、赤
外線検出器の視野の中央部を目隠しするようになされる
。なお、この透孔20および遮光部21の大きさは使用
する集光鏡に応じて変わり、焦点距離の長い集光鏡検知
器20および遮光部21の大きさは小さくなされる。
以上、赤外線像を得る場合について説明したが、可視像
を得る場合にも同様にできるものである。
即ち、第3図に示すサーモグラフィ装置においては、中
間結像点45に可視光検出器を挿入することによって、
赤外線像と同軸でバララックスのな+2− い可視像を得ることができる。その際に、可視光検出出
力ラインに設けた利得調整器11により、集光鏡ユニッ
トに応じて利得調整を行えば集光鏡の相違による光量の
違い、即ち可視像のコントラストのばらつきをなくシ、
コントラストを一定に保つことができる。この場合、演
算装置3は可視像用のテーブルを参照することは当然で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るサーモグラフィ装置の1実施例の
構成を示す図、第2図は光束絞りの構成を示す図、第3
図は本発明が適用されるサーモグラフィ装置の光学系を
示す図、第4図は第3図に示すサーモグラフィ装置にお
いて集光鏡を交換した様子を示す図である。 1・・・集光鏡ユニット、2・・・集光鏡検知器、3・
・・演算装置、4・・・D/A変換器、5・・・駆動回
路、6・・・モータ、 7・・・絞り板、 8、10・
・・プリアンプ、9.11・・・利得調整器、31・・
・垂直走査鏡、32・・・垂直走査鏡駆動モータ、33
・・・水平走査鏡、34・・・水平走査鏡駆動モータ、
35.35’・・・集光鏡、36・・・光束絞り、37
・・・リレーレンズ、38・・・赤外線検出器。 出  願  人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 菅 井 英 雄(外5名)第 3図 (a) (b)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)集光鏡又は集光レンズが交換可能となされたサー
    モグラフィ装置において、集光鏡又は集光レンズの種類
    を識別する手段と、光束絞りを交換する第2手段と、赤
    外線検出器出力を利得調整する手段とを具備し、使用さ
    れる集光鏡又は集光レンズの種類に応じて光束絞りを自
    動的に交換し、赤外線検出器出力の利得を調整すること
    を特徴とするサーモグラフィ装置。
  2. (2)集光鏡又は集光レンズの焦点位置又は焦点位置と
    等価な位置に可視光検出器を配置可能なサーモグラフィ
    装置において、可視光検出器出力の利得調整手段をも具
    備し、使用される集光鏡又は集光レンズの種類に応じて
    可視光検出器出力の利得を調整することを特徴とする請
    求項1記載のサーモグラフィ装置。
JP63325353A 1988-12-23 1988-12-23 サーモグラフィ装置 Pending JPH02170026A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63325353A JPH02170026A (ja) 1988-12-23 1988-12-23 サーモグラフィ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63325353A JPH02170026A (ja) 1988-12-23 1988-12-23 サーモグラフィ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02170026A true JPH02170026A (ja) 1990-06-29

Family

ID=18175868

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63325353A Pending JPH02170026A (ja) 1988-12-23 1988-12-23 サーモグラフィ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02170026A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4472826A (en) X-Ray examination apparatus
JPH067343A (ja) コンピュータトモグラフ
US3691922A (en) A method and apparatus of contrast-dependent sharp focussing
US5136627A (en) Slit diaphragm system defining x-ray examination zone with visible light and for passing x-ray radiation to the defined zone
JPS61251809A (ja) 自動焦点調節装置
US3706848A (en) Optical system for a camera
EP0402876B1 (en) Radiographic apparatus
US4755880A (en) Camera for opto-electronically scanning any desired scene
US4907873A (en) Magnified image projector apparatus
US2887586A (en) X-ray focusing apparatus
JP3374736B2 (ja) レンズ調整装置
JPH085344A (ja) 3次元形状入力装置
US4442535A (en) Fluorescent X-ray film thickness gauge for very small areas
US5270534A (en) Solid-state image recording apparatus having two pairs of adjustment members
JP2001304831A (ja) 光学式角度測定装置
JPH04261278A (ja) 撮影装置
GB2095505A (en) Automatic focusing
JPH05224277A (ja) 電子映画のためのカメラ装置
KR20000055585A (ko) 초점 미세조정이 가능한 비전장치
JPS60125812A (ja) 合焦検出装置
EP0587946B1 (en) Solid-state image recording apparatus
JPS5838822A (ja) リングフイ−ルドプロジエクシヨン装置における照度の均一性を測定する装置
JPH03277350A (ja) X線絞り装置
JP2628941B2 (ja) 写真投影焼付け装置用測光装置
JPH02128125A (ja) サーモグラフィ装置