JPH02170583A - 圧電性磁器およびその製造方法 - Google Patents
圧電性磁器およびその製造方法Info
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- JPH02170583A JPH02170583A JP63325290A JP32529088A JPH02170583A JP H02170583 A JPH02170583 A JP H02170583A JP 63325290 A JP63325290 A JP 63325290A JP 32529088 A JP32529088 A JP 32529088A JP H02170583 A JPH02170583 A JP H02170583A
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- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 32
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 19
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 17
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 claims description 16
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims description 10
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 7
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NKTZYSOLHFIEMF-UHFFFAOYSA-N dioxido(dioxo)tungsten;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][W]([O-])(=O)=O NKTZYSOLHFIEMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- PYPDMIQMPWEFHX-UHFFFAOYSA-N [Pb].[Co] Chemical compound [Pb].[Co] PYPDMIQMPWEFHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 5
- HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N lead nickel Chemical compound [Ni].[Pb] HEPLMSKRHVKCAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 4
- SSWAPIFTNSBXIS-UHFFFAOYSA-N dioxido(dioxo)tungsten;iron(2+) Chemical compound [Fe+2].[O-][W]([O-])(=O)=O SSWAPIFTNSBXIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 3
- OQFRENMCLHGPRB-UHFFFAOYSA-N copper;dioxido(dioxo)tungsten Chemical compound [Cu+2].[O-][W]([O-])(=O)=O OQFRENMCLHGPRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 18
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 18
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 2
- OMAWWKIPXLIPDE-UHFFFAOYSA-N (ethyldiselanyl)ethane Chemical compound CC[Se][Se]CC OMAWWKIPXLIPDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- QLTKZXWDJGMCAR-UHFFFAOYSA-N dioxido(dioxo)tungsten;nickel(2+) Chemical compound [Ni+2].[O-][W]([O-])(=O)=O QLTKZXWDJGMCAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 34
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 20
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 19
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 14
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 12
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 12
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 7
- -1 alkali metal salt Chemical class 0.000 description 7
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- FPHIOHCCQGUGKU-UHFFFAOYSA-L difluorolead Chemical compound F[Pb]F FPHIOHCCQGUGKU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N tungsten trioxide Chemical compound O=[W](=O)=O ZNOKGRXACCSDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 description 3
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 241000125205 Anethum Species 0.000 description 1
- 101000886895 Magnolia grandiflora Alpha-terpineol synthase, chloroplastic Proteins 0.000 description 1
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVTGXFAWNQTDBG-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Pb] Chemical compound [Fe].[Pb] UVTGXFAWNQTDBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011361 granulated particle Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009766 low-temperature sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N tungstate Chemical compound [O-][W]([O-])(=O)=O PBYZMCDFOULPGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N tungsten(iv) oxide Chemical compound O=[W]=O DZKDPOPGYFUOGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
- C04B35/497—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates based on solid solutions with lead oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、ブザー アクチュエータ、圧力センサー等の
種々の電気機械変換素子に用いる圧電性磁器、およびそ
の製造方法に関する。更に詳しくは温度８５０℃以下で
焼成可能な圧電性磁器およびその製造方法に関する。
種々の電気機械変換素子に用いる圧電性磁器、およびそ
の製造方法に関する。更に詳しくは温度８５０℃以下で
焼成可能な圧電性磁器およびその製造方法に関する。
（従来の技術）
従来、この種の圧電性磁器としては、例えばチタン酸鉛
［ＰｂＴｉＯ３］ と、ジルコン酸鉛［ＰｂＺｒ０３］
とからなる２成分系固溶体、或いは、該２成分系固溶体
に複合ペロブスカイト酸化物を１種類添加固溶させた例
えば［Ｐｂ （Ｈｇｒｙ３Ｎｂ２ｚｓ ）０３ Ｐｂ
ＴｊＯ３ＰｂＺｒ０３ ］のような３成３成固溶体、或
いは前記３成分系固溶体中の［Ｐｂ（Ｍｇ１７．Ｎｂ２
□３）０３コ成分に代えて［Ｐｂ （Ｎｉ Ｉ／３ Ｎ
ｂｚ／ｉ ）０３］ 、 ［Ｐｂ（Ｙ＋７ｉ Ｎｂｚ
ｚｓ ） ０３］ 、 ［ＰｂＣｏ１／３Ｎｂ２、／
３ ） ０３］のうちいずれか１種類を添加固溶させた
固溶体、或いは前記２成分系固溶体に複合ペロブスカイ
ト酸化物を２種類を添加固溶させた４成分系固溶体等が
知られている。
［ＰｂＴｉＯ３］ と、ジルコン酸鉛［ＰｂＺｒ０３］
とからなる２成分系固溶体、或いは、該２成分系固溶体
に複合ペロブスカイト酸化物を１種類添加固溶させた例
えば［Ｐｂ （Ｈｇｒｙ３Ｎｂ２ｚｓ ）０３ Ｐｂ
ＴｊＯ３ＰｂＺｒ０３ ］のような３成３成固溶体、或
いは前記３成分系固溶体中の［Ｐｂ（Ｍｇ１７．Ｎｂ２
□３）０３コ成分に代えて［Ｐｂ （Ｎｉ Ｉ／３ Ｎ
ｂｚ／ｉ ）０３］ 、 ［Ｐｂ（Ｙ＋７ｉ Ｎｂｚ
ｚｓ ） ０３］ 、 ［ＰｂＣｏ１／３Ｎｂ２、／
３ ） ０３］のうちいずれか１種類を添加固溶させた
固溶体、或いは前記２成分系固溶体に複合ペロブスカイ
ト酸化物を２種類を添加固溶させた４成分系固溶体等が
知られている。
これら従来の圧電性磁器の焼成温度は一般には１１００
〜１３００℃の高温であるが、圧電性磁器中に含まれて
いるＰｂＯの融点は温度１０００℃以下であり、前記焼
成温度では数＋ｔｏｒｒの蒸気圧を有するので、圧電性
磁器の焼成中に該ＰｂＯの蒸発を防止することは極めて
困難である。ＰｂＯの蒸発は人体に極めて有毒なため、
該蒸気の大気中への拡散防止のために公害防止設備が必
要となり、またＰｂＯが蒸発すると圧電性磁器中のＰｂ
０成分量が不均一となり、部分的な焼きムラや、Ａサイ
ト欠陥による特性のバラツキが生じる等の問題を有する
。
〜１３００℃の高温であるが、圧電性磁器中に含まれて
いるＰｂＯの融点は温度１０００℃以下であり、前記焼
成温度では数＋ｔｏｒｒの蒸気圧を有するので、圧電性
磁器の焼成中に該ＰｂＯの蒸発を防止することは極めて
困難である。ＰｂＯの蒸発は人体に極めて有毒なため、
該蒸気の大気中への拡散防止のために公害防止設備が必
要となり、またＰｂＯが蒸発すると圧電性磁器中のＰｂ
０成分量が不均一となり、部分的な焼きムラや、Ａサイ
ト欠陥による特性のバラツキが生じる等の問題を有する
。
そこで、特公昭６２−５７５９４号公報に開示されてい
るように、チタン酸ジルコン酸鉛の仮焼粉末に焼結温度
低下剤としてアルカリ金属塩とＰｂＦ２からなる仮焼粉
末を添加してＰｂＯの融点以下の温度で焼結を施すこと
により、焼結中のＰｂＯの蒸発を防止して、圧電性磁器
を作成する方法が提案されている。
るように、チタン酸ジルコン酸鉛の仮焼粉末に焼結温度
低下剤としてアルカリ金属塩とＰｂＦ２からなる仮焼粉
末を添加してＰｂＯの融点以下の温度で焼結を施すこと
により、焼結中のＰｂＯの蒸発を防止して、圧電性磁器
を作成する方法が提案されている。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら前記方法は、焼結温度低下剤の１成分とし
てアルカリ金属塩が含まれるため、水溶性であるアルカ
リ金属塩は原料粉体の製造工程において水系溶剤中に一
部溶出してしまい、溶出量を制御することは困難である
ので、原料粉体中の該アルカリ金属塩の成分量がロット
毎で不均一となり、従って得られた圧電性磁器の組成比
にバラツキが発生しやすいという問題を有する。
てアルカリ金属塩が含まれるため、水溶性であるアルカ
リ金属塩は原料粉体の製造工程において水系溶剤中に一
部溶出してしまい、溶出量を制御することは困難である
ので、原料粉体中の該アルカリ金属塩の成分量がロット
毎で不均一となり、従って得られた圧電性磁器の組成比
にバラツキが発生しやすいという問題を有する。
また前記方法で得られた圧電性磁器はアルカリ金属塩を
含有しているため、一般に水中或いは高湿度の環境下で
は該組成物中からアルカリ金属塩が次第に溶出する危惧
があり、９０％ＲＨ以上の湿度下で１０００時間以上放
置されても電気的特性が劣化しないことが要求されてい
る電子部品の規格に対する信頼性に乏しい等の問題を有
する。
含有しているため、一般に水中或いは高湿度の環境下で
は該組成物中からアルカリ金属塩が次第に溶出する危惧
があり、９０％ＲＨ以上の湿度下で１０００時間以上放
置されても電気的特性が劣化しないことが要求されてい
る電子部品の規格に対する信頼性に乏しい等の問題を有
する。
本発明は、前記問題点を解消した圧電性磁器およびその
製造方法を提供することを目的とする。
製造方法を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明の圧電性磁器は、鉛系酸化物を主成分とした圧電
性磁器において、圧電性磁器中に鉄タングステン酸鉛Ｃ
ＰｂＰｅｘｙ１ｗ１ｙｓ ） ０３］ 、銅タングステ
ン酸鉛［Ｐｂ （ＣＬＩ１／２ Ｗ１／ｚ ） ０３
］コハルトタンクステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２
Ｌ／２）０質、ニッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｎｌ
＋７□Ｗ＋、□２） ０３コ、亜鉛タング７、−ｒ ＞
酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／２ Ｖｌ／２ ） ０３］のう
ち少なくとも１種類を含み、かつ、Ａサイト／Ｂサイト
のモル比が１１１１以上であることを特徴とする。
性磁器において、圧電性磁器中に鉄タングステン酸鉛Ｃ
ＰｂＰｅｘｙ１ｗ１ｙｓ ） ０３］ 、銅タングステ
ン酸鉛［Ｐｂ （ＣＬＩ１／２ Ｗ１／ｚ ） ０３
］コハルトタンクステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２
Ｌ／２）０質、ニッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｎｌ
＋７□Ｗ＋、□２） ０３コ、亜鉛タング７、−ｒ ＞
酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ１／２ Ｖｌ／２ ） ０３］のう
ち少なくとも１種類を含み、かつ、Ａサイト／Ｂサイト
のモル比が１１１１以上であることを特徴とする。
また固溶体磁器のＡサイト／Ｂサイトのモル比は圧電性
磁器の絶縁耐圧性の低下を防止する等の観点から１．０
１〜１．０３とすることが好ましい。
磁器の絶縁耐圧性の低下を防止する等の観点から１．０
１〜１．０３とすることが好ましい。
また圧電性磁器の製造方法は、鉛系酸化物を主成分とす
る圧電性磁器原料粉末を混合、焼成して圧電性磁器を製
造する方法において、該原料粉末中に酸化タングステン
と更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、酸化ニッケル、
酸化亜鉛のうち少なくとも１種類を含ませると共に、Ａ
サイト／Ｂサイトのモル比が１．０１以上となるように
調整されたものを焼成し、鉛系酸化物を主成分とする圧
電性磁器中に鉄タングステン酸鉛［Ｐｂ ＣＦｅ２ｙｓ
Ｗ１／ｘ ） Ｏｓ］ 、銅タングステン酸鉛Ｐｂ
（ＣｕＢ２ Ｗ＋ｚ□） Ｏｓコ コバルトタング
ステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏ＋ｚ２Ｗ＋、□ｚ ） ０３
］ 、ニッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ （ＮＩＬ／２
Ｗ１／２０３］ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ
（Ｚｒｘ／２Ｗ＋ｙ２） ０３コのうち少なくともＩＦ
Ｉｉ類を固溶させることを特徴とする。
る圧電性磁器原料粉末を混合、焼成して圧電性磁器を製
造する方法において、該原料粉末中に酸化タングステン
と更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、酸化ニッケル、
酸化亜鉛のうち少なくとも１種類を含ませると共に、Ａ
サイト／Ｂサイトのモル比が１．０１以上となるように
調整されたものを焼成し、鉛系酸化物を主成分とする圧
電性磁器中に鉄タングステン酸鉛［Ｐｂ ＣＦｅ２ｙｓ
Ｗ１／ｘ ） Ｏｓ］ 、銅タングステン酸鉛Ｐｂ
（ＣｕＢ２ Ｗ＋ｚ□） Ｏｓコ コバルトタング
ステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏ＋ｚ２Ｗ＋、□ｚ ） ０３
］ 、ニッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ （ＮＩＬ／２
Ｗ１／２０３］ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ
（Ｚｒｘ／２Ｗ＋ｙ２） ０３コのうち少なくともＩＦ
Ｉｉ類を固溶させることを特徴とする。
（作 用）
圧電性磁器の原料は鉛系酸化物を主成分とし、これに酸
化タングステンと更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、
酸化ニッケル、酸化亜鉛のうち少なくとも１種類を含む
ようにしたので、これ等の原料は酸化物であるため水系
溶剤に溶出することがない。また、前記原料を混合し、
焼成する際に固溶される鉄タングステン酸鉛［ＰｂＣＦ
ｅ２ｙｓ Ｗ１／ｓ ） ０３１ 、銅タングステン
酸鉛ｐｂ（ＣＬＩＩ／□ Ｌｙ□）０３］、コバルトタ
ングステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２ Ｌ／２） ０
３］ 、ニッケルタンクステン酸鉛［Ｐｂ （Ｎｉｌ／
２ Ｌ、・２０３］ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ
（ＺＬ＋７ｚ Ｍｌ／２ ） ０３コは焼結温度低
下剤として作用する。
化タングステンと更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、
酸化ニッケル、酸化亜鉛のうち少なくとも１種類を含む
ようにしたので、これ等の原料は酸化物であるため水系
溶剤に溶出することがない。また、前記原料を混合し、
焼成する際に固溶される鉄タングステン酸鉛［ＰｂＣＦ
ｅ２ｙｓ Ｗ１／ｓ ） ０３１ 、銅タングステン
酸鉛ｐｂ（ＣＬＩＩ／□ Ｌｙ□）０３］、コバルトタ
ングステン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２ Ｌ／２） ０
３］ 、ニッケルタンクステン酸鉛［Ｐｂ （Ｎｉｌ／
２ Ｌ、・２０３］ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ
（ＺＬ＋７ｚ Ｍｌ／２ ） ０３コは焼結温度低
下剤として作用する。
（実施例）
次に本発明の具体的実施例を比較例と共に説明する。
実施例１
先ず、酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化チタン（ＴｆＯｚ）、酸
化ジルコニウム（ＺｒＯｚ）、酸化鉄（Ｆｅ３０２）、
酸化タングステン（ＷＯ２）の各工業用金属酸化物粉末
を次の組成 （１−Ｘ）Ｐｂ＋、 ０２ （Ｔｌｏ、 ｓ□Ｚｒｏ、
４８） ０３ ＋ Ｘ−Ｐｂ１、ｏ２（Ｆｅｚ／ｉ
Ｌ、ｚ３） ０３ 但し ０くＸ≦０．１５ となるように正確に秤量した。次ぎにこれ等のうち酸化
ジルコニウムと、酸化鉄と、酸化タングステンの各粉末
を水と共に湿式ボールミルにより１０時間混合した後脱
水し、得られた混合物を空気中で温度１０００℃で２時
間仮焼成し解砕して仮焼成粉末を得た。続いてこの仮焼
成粉末に残りの酸化鉛と酸化チタンの各粉末を加え再び
水と共に湿式ボールミルによりＩＯ時間混合・粉砕した
後、脱水乾燥し、これを温度７５０℃で２時間仮焼成し
、更に解砕してセラミックス原料粉末を得た。得られた
セラミックス原料粉末にバインダーとしてポリビニルア
ルコール水溶液を適当加えて混練した後、造粒した。こ
の造粒された粒子を円板状成形金型に充填し、５００＃
／ｄの圧力で直径１０ｍ、厚さ０．３５關の円板状に加
圧成型し、これを空気中で温度８５０℃で２時間焼成し
て焼結体を得た。得られた焼結体の両面に温度８００℃
でＡｇ電極を焼付は形成し、温度６０℃のシリコンオイ
ル中で３．ＯＫＶ／ｍ■の印加電圧で３０分間の分極処
理を施して試験用試料を作成した。
化ジルコニウム（ＺｒＯｚ）、酸化鉄（Ｆｅ３０２）、
酸化タングステン（ＷＯ２）の各工業用金属酸化物粉末
を次の組成 （１−Ｘ）Ｐｂ＋、 ０２ （Ｔｌｏ、 ｓ□Ｚｒｏ、
４８） ０３ ＋ Ｘ−Ｐｂ１、ｏ２（Ｆｅｚ／ｉ
Ｌ、ｚ３） ０３ 但し ０くＸ≦０．１５ となるように正確に秤量した。次ぎにこれ等のうち酸化
ジルコニウムと、酸化鉄と、酸化タングステンの各粉末
を水と共に湿式ボールミルにより１０時間混合した後脱
水し、得られた混合物を空気中で温度１０００℃で２時
間仮焼成し解砕して仮焼成粉末を得た。続いてこの仮焼
成粉末に残りの酸化鉛と酸化チタンの各粉末を加え再び
水と共に湿式ボールミルによりＩＯ時間混合・粉砕した
後、脱水乾燥し、これを温度７５０℃で２時間仮焼成し
、更に解砕してセラミックス原料粉末を得た。得られた
セラミックス原料粉末にバインダーとしてポリビニルア
ルコール水溶液を適当加えて混練した後、造粒した。こ
の造粒された粒子を円板状成形金型に充填し、５００＃
／ｄの圧力で直径１０ｍ、厚さ０．３５關の円板状に加
圧成型し、これを空気中で温度８５０℃で２時間焼成し
て焼結体を得た。得られた焼結体の両面に温度８００℃
でＡｇ電極を焼付は形成し、温度６０℃のシリコンオイ
ル中で３．ＯＫＶ／ｍ■の印加電圧で３０分間の分極処
理を施して試験用試料を作成した。
得られた圧電性磁器の夫々について直径方向の電気機械
的結合係数（Ｋｐ％）を測定し、そのｎｌ定結果を第１
図にＡとして示した。
的結合係数（Ｋｐ％）を測定し、そのｎｌ定結果を第１
図にＡとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数（ｆ
’ａ、）をΔ―１定した後、該組成物を温度８５℃、相
対湿度９０％ＩｉＨとした恒温槽中に所定時間放置した
後、再び共振周波数（ｆ’ａ＋）を測定し、各所定時間
放置前後の共振周波数の変化率を次式により求めた。
’ａ、）をΔ―１定した後、該組成物を温度８５℃、相
対湿度９０％ＩｉＨとした恒温槽中に所定時間放置した
後、再び共振周波数（ｆ’ａ＋）を測定し、各所定時間
放置前後の共振周波数の変化率を次式により求めた。
変化率−” ”Ｘ１００（％＞
ｆａ。
得られた経過時間毎の変化率を第２図にＣとして示した
。
。
実施例２
各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化チタン
（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、酸化鉄
（Ｆｅｇ Ｏｚ ） 、酸化タングステン（ＷＯ３）、
酸化ニオブ（ＮｂｚＯｓ） 、酸化ニッケル（ＮＩＯ）
、酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化鉄と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化ニ
オブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で
試験用試料を作成した。 また実施例１と同様方法で各
圧電性磁器の直径方向の電気機械結合係数を測定し、そ
の測定結果を第１図にＢとして示した。
（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、酸化鉄
（Ｆｅｇ Ｏｚ ） 、酸化タングステン（ＷＯ３）、
酸化ニオブ（ＮｂｚＯｓ） 、酸化ニッケル（ＮＩＯ）
、酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化鉄と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化ニ
オブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で
試験用試料を作成した。 また実施例１と同様方法で各
圧電性磁器の直径方向の電気機械結合係数を測定し、そ
の測定結果を第１図にＢとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例３
各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化チタン
（Ｔ１０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）酸化銅（
Ｃｕｂ）、酸化タングステン（ＷＯ３）とし、また組成
を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化銅と、酸化タングステンで行った以外は実施例１同様
方法で試験用試料を作成した。
（Ｔ１０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）酸化銅（
Ｃｕｂ）、酸化タングステン（ＷＯ３）とし、また組成
を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化銅と、酸化タングステンで行った以外は実施例１同様
方法で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第３図にＥ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第３図にＥ
として示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例４
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、
酸化銅（Ｃｕｂ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ） 、酸
化ニオブ（Ｎｌ）２０５）、酸化ニッケル（Ｎｉｐ）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化銅と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化ニ
オブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で
試験用試料を作成した。
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、
酸化銅（Ｃｕｂ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ） 、酸
化ニオブ（Ｎｌ）２０５）、酸化ニッケル（Ｎｉｐ）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化銅と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化ニ
オブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で
試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第３図にＦ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第３図にＦ
として示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後についてＩＴＦＪ定し、放置前後の共
振周波数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同
等であった。
温槽への放置前後についてＩＴＦＪ定し、放置前後の共
振周波数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同
等であった。
実施例５
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、
酸化コバルト（Ｃｏｏ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ
）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化コバルトと、酸化タングステンで行った以外は実施例
１同様方法で試験用試料を作成した。
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、
酸化コバルト（Ｃｏｏ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ
）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化コバルトと、酸化タングステンで行った以外は実施例
１同様方法で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、そのｉｌｐ＋定結果を第４
図にＧとして示した。
気機械的結合係数を測定し、そのｉｌｐ＋定結果を第４
図にＧとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例６
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、
酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ
）、酸化ニオブ（Ｎｌ）２０５） 、酸化ニッケル（Ｎ
ＩＯ）、酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式％式
％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化コバルトと、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、
酸化ニオブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様
方法で試験用試料を作成した。
チタン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、
酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ
）、酸化ニオブ（Ｎｌ）２０５） 、酸化ニッケル（Ｎ
ＩＯ）、酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式％式
％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化コバルトと、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、
酸化ニオブと、酸化亜鉛で行った以外は実施例１と同様
方法で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第４図にＨ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第４図にＨ
として示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例７
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔｉ（ｈ） 、酸化ジルコニウム（ｚ「０□）
、酸化ニッケル（Ｎ１０）、酸化タングステン（ＷＯ３
）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化タングステンで行った以外は実施例
１同様方法で試験用試料を作成した。
チタン（Ｔｉ（ｈ） 、酸化ジルコニウム（ｚ「０□）
、酸化ニッケル（Ｎ１０）、酸化タングステン（ＷＯ３
）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化タングステンで行った以外は実施例
１同様方法で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第５図にＩ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第５図にＩ
として示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例８
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔｉ０２） 、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）
、酸化ニッケル（ＮｊＯ）、酸化タングステン（ＷＯ３
）、酸化ニオブ（Ｎｂｚ Ｏｓ ） 、酸化亜鉛（Ｚｎ
０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化タングステンと、酸化ニオブと、酸
化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で試験用試料
を作成した。
チタン（Ｔｉ０２） 、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）
、酸化ニッケル（ＮｊＯ）、酸化タングステン（ＷＯ３
）、酸化ニオブ（Ｎｂｚ Ｏｓ ） 、酸化亜鉛（Ｚｎ
０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化タングステンと、酸化ニオブと、酸
化亜鉛で行った以外は実施例１と同様方法で試験用試料
を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数をｎ１定し、その測定結果を第５図に
Ｊとして示した。
気機械的結合係数をｎ１定し、その測定結果を第５図に
Ｊとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例９
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チ９ ン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯｚ）
、酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化タングステン（ＷＯ３）と
し、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化亜鉛と、酸化タングステンで行った以外は実施例１同
様方法で試験用試料を作成した。
チ９ ン（ＴｉＯ２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯｚ）
、酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化タングステン（ＷＯ３）と
し、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化亜鉛と、酸化タングステンで行った以外は実施例１同
様方法で試験用試料を作成した。
そして実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の
電気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第６図に
Ｋとして示した。
電気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第６図に
Ｋとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例１０
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ） 、
酸化ニオブ（Ｎｂ２０５）、酸化ニッケル（ＮｉＯ）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化亜鉛と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化
ニオブで行った以外は実施例１と同様方法で試験用試料
を作成した。
チタン（Ｔｉ０２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ□）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化タングステン（Ｗ（ｈ） 、
酸化ニオブ（Ｎｂ２０５）、酸化ニッケル（ＮｉＯ）、
酸化亜鉛（Ｚｎ０）とし、また組成を次式 ％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化亜鉛と、酸化タングステンと、酸化ニッケルと、酸化
ニオブで行った以外は実施例１と同様方法で試験用試料
を作成した。
そして実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の
電気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第６図に
Ｌとして示した。
電気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第６図に
Ｌとして示した。
またＸの組成比がＯ０■の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
実施例１１
焼結温度を８００℃とした以外は実施例１と同様方法で
試験用試料を作成した。
試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数をｉ’ｌＦＩ定し、その測定結果を第
１図にＭとして示した。
気機械的結合係数をｉ’ｌＦＩ定し、その測定結果を第
１図にＭとして示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を実
施例１と同様方法で測定し、放置前後の共振周波数の変
化率を求め、その結果を第２図にＮとして示した。
施例１と同様方法で測定し、放置前後の共振周波数の変
化率を求め、その結果を第２図にＮとして示した。
実施例１２
焼結温度を８００℃とした以外は実施例２と同様方法で
試験用試料を作成した。
試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第１図にＯ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第１図にＯ
として示した。
またＸの組成比が０６１の圧電性磁器の共振周波数を実
施例１と同様方法で？ｆ＃１定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１１と同等で
あった。
施例１と同様方法で？ｆ＃１定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１１と同等で
あった。
実施例１３
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チ９ ン（Ｔ１０２）、酸化ジル＝７ ニー ラム（Ｚ
ｒ０ｚ ）、酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化鉄（Ｐ１３２０
ｉ） 、酸化タングステン（ｖ０３）、酸化ニオブ（Ｎ
ｌ）２０ｓ） 、酸化ニッケル（Ｎｌ０）とし、また組
成を次式％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化ニオブと、酸化鉄と、酸化亜鉛と、
酸化タングステンで行なった以外は実施例１と同様方法
で試験用試料を作成した。
チ９ ン（Ｔ１０２）、酸化ジル＝７ ニー ラム（Ｚ
ｒ０ｚ ）、酸化亜鉛（Ｚｎ０）、酸化鉄（Ｐ１３２０
ｉ） 、酸化タングステン（ｖ０３）、酸化ニオブ（Ｎ
ｌ）２０ｓ） 、酸化ニッケル（Ｎｌ０）とし、また組
成を次式％式％ とし、最初の原料粉末の混合を酸化ジルコニウムと、酸
化ニッケルと、酸化ニオブと、酸化鉄と、酸化亜鉛と、
酸化タングステンで行なった以外は実施例１と同様方法
で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第７図にＰ
として示した。
気機械的結合係数を測定し、その測定結果を第７図にＰ
として示した。
またＸの組成比が０．１の圧電性磁器の共振周波数を恒
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
温槽への放置前後について測定し、放置前後の共振周波
数の変化率を求めたが、その結果は実施例１と同等であ
った。
比較例
用いる各工業用酸化金属粉末を酸化鉛（Ｐｂ０）、酸化
チタン（Ｔ１０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、
弗化ナトリウム（Ｎａｐ）、弗化鉛（ｐｂｒ２）とし、
また組成比を次式 ％式％） とし、最初の原料粉末の混合を酸化鉛と、酸化チタンと
、酸化ジルコニウムで行い、仮焼成後得られた仮焼成粉
末に、温度４５０℃、時間１時間の仮焼成した残りの弗
化ナトリウム、弗化鉛を添加した以外は実施例１同様方
法で試験用試料を作成した。
チタン（Ｔ１０２）、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）、
弗化ナトリウム（Ｎａｐ）、弗化鉛（ｐｂｒ２）とし、
また組成比を次式 ％式％） とし、最初の原料粉末の混合を酸化鉛と、酸化チタンと
、酸化ジルコニウムで行い、仮焼成後得られた仮焼成粉
末に、温度４５０℃、時間１時間の仮焼成した残りの弗
化ナトリウム、弗化鉛を添加した以外は実施例１同様方
法で試験用試料を作成した。
また実施例１と同様方法で各圧電性磁器の直径方向の電
気機械的結合係数を測定したところ、該係数の最大値は
Ｘの組成比が０．１で５２％であった。
気機械的結合係数を測定したところ、該係数の最大値は
Ｘの組成比が０．１で５２％であった。
またＸの組成比が０，１の圧電性磁器の共振周波数を実
施例１と同様方法で測定し、放置前後の共振周波数の変
化率を求め、その結果を第２図にＤとして示した。
施例１と同様方法で測定し、放置前後の共振周波数の変
化率を求め、その結果を第２図にＤとして示した。
第２図から明らかなように本発明の圧電性磁器は温度８
５℃、９０％Ｒ）Ｉという苛酷な条件下で１０００時間
以上放置されても放置前後における共振周波数の変化率
は一定であるのに対して、従来法の焼結温度低下剤とし
て弗化ナトリウムと弗化鉛を用い、焼結して得られた圧
電性磁器は経時と共に該共振周波数の変化率は徐々に増
加した。また第１図、第３図、第４図、第５図、第６図
および第７図から明らかなように実施例１〜１３の圧電
性磁器組成物の電気機械的結合係数は実用性に問題がな
かった。
５℃、９０％Ｒ）Ｉという苛酷な条件下で１０００時間
以上放置されても放置前後における共振周波数の変化率
は一定であるのに対して、従来法の焼結温度低下剤とし
て弗化ナトリウムと弗化鉛を用い、焼結して得られた圧
電性磁器は経時と共に該共振周波数の変化率は徐々に増
加した。また第１図、第３図、第４図、第５図、第６図
および第７図から明らかなように実施例１〜１３の圧電
性磁器組成物の電気機械的結合係数は実用性に問題がな
かった。
（発明の効果）
このように本発明の圧電性磁器によれば、低温焼結でも
９０％Ｒ１（以上の湿度下で１０００時間以上放置され
ても優れた耐湿性を有するので電気的特性が劣化するこ
とがなく、また実用性に充分な電気機械的結合係数を有
する等の効果がある。
９０％Ｒ１（以上の湿度下で１０００時間以上放置され
ても優れた耐湿性を有するので電気的特性が劣化するこ
とがなく、また実用性に充分な電気機械的結合係数を有
する等の効果がある。
また圧電性磁器の製造方法によれば、圧電性磁器の原料
は鉛系酸化物を主成分とし、これに酸化タングステンと
更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸
化亜鉛のうち少なくとも１種類を含むようにしたので、
これ等の原料は酸化物であるため水系溶剤に溶出するこ
とがなく、得られる圧電性磁器の組成比はバラツキがな
く均一であり、また、前記原料を混合し、焼成する際に
固溶される鉄タングステン酸鉛［Ｐｂ ＣＰｅ２ｙｓ
Ｌ／３） ０３］ 、銅タングステン酸鉛Ｐｂ （Ｃ
ｕ＋ｚｚ Ｌ７ｚ ０３ ］ コバルトタングステ
ン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２ Ｌｚｚ ） Ｏｉ、ニ
ッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ （ＮＩＬ／□ Ｌｙ２
０ｉｌ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ （Ｚｎ１／２
Ｌ／□） ０３］は焼結温度低下剤として作用するので
、低温焼結することが出来る等の効果がある。
は鉛系酸化物を主成分とし、これに酸化タングステンと
更に酸化鉄、酸化銅、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸
化亜鉛のうち少なくとも１種類を含むようにしたので、
これ等の原料は酸化物であるため水系溶剤に溶出するこ
とがなく、得られる圧電性磁器の組成比はバラツキがな
く均一であり、また、前記原料を混合し、焼成する際に
固溶される鉄タングステン酸鉛［Ｐｂ ＣＰｅ２ｙｓ
Ｌ／３） ０３］ 、銅タングステン酸鉛Ｐｂ （Ｃ
ｕ＋ｚｚ Ｌ７ｚ ０３ ］ コバルトタングステ
ン酸鉛［Ｐｂ （Ｃｏｔ／２ Ｌｚｚ ） Ｏｉ、ニ
ッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ （ＮＩＬ／□ Ｌｙ２
０ｉｌ 、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ （Ｚｎ１／２
Ｌ／□） ０３］は焼結温度低下剤として作用するので
、低温焼結することが出来る等の効果がある。
第１図、第３図、第４図、第５図、第６図および第７図
は本発明実施例における圧電性磁器の径方向電気機械的
結合係数と、圧電性磁器中に含まれる各金属タングステ
ン酸鉛の含有量変化との関係を示す′特性図、第２図は
本発明実施例と比較例の圧電性磁器を温度８５℃、相対
湿度９０％Ｒ）ｌの条件下で所定時間放置前後の共振周
波数変化率と時間経過との関係を示す特性図である。 外３名 第７図 百儒＠ｔｍＯＮ；’ＩＯ）
は本発明実施例における圧電性磁器の径方向電気機械的
結合係数と、圧電性磁器中に含まれる各金属タングステ
ン酸鉛の含有量変化との関係を示す′特性図、第２図は
本発明実施例と比較例の圧電性磁器を温度８５℃、相対
湿度９０％Ｒ）ｌの条件下で所定時間放置前後の共振周
波数変化率と時間経過との関係を示す特性図である。 外３名 第７図 百儒＠ｔｍＯＮ；’ＩＯ）
Claims (2)
- １．鉛系酸化物を主成分とする圧電性磁器において、圧
電性磁器中に鉄タングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｆｅ＿２＿／
＿３Ｗ＿１＿／＿３）Ｏ＿３］、銅タングステン酸鉛［
Ｐｂ（Ｃｕ＿１＿／＿２Ｗ＿１＿／＿２）Ｏ＿３］、コ
バルトタングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｃｏ＿１＿／＿２Ｗ＿
１＿／＿２）Ｏ＿３］、ニッケルタングステン酸鉛［Ｐ
ｂ（Ｎｉ＿１＿／＿２Ｗ＿１＿／＿２）Ｏ＿３］、亜鉛
タングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｚｎ＿１＿／＿２Ｗ＿１＿／
＿２）Ｏ＿３］のうち少なくとも１種類を含み、かつ、
Ａサイト／Ｂサイトのモル比が１．０１以上であること
を特徴とする圧電性磁器。 - ２．鉛系酸化物を主成分とする圧電性磁器原料粉末を混
合、焼成して圧電性磁器を製造する方法において、該原
料粉末中に酸化タングステンと更に酸化鉄、酸化銅、酸
化コバルト、酸化ニッケル、酸化亜鉛のうち少なくとも
１種類を含むませると共に、Ａサイト／Ｂサイトのモル
比が１．０１以上となるように調整されたものを焼成し
、鉛系酸化物を主成分する圧電性磁器中に鉄タングステ
ン酸鉛［Ｐｂ（Ｆｅ＿２＿／＿３Ｗ＿１＿／＿３）Ｏ＿
３］、銅タングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｃｕ＿１＿／＿２Ｗ
＿１＿／＿２）Ｏ＿３］、コバルトタングステン酸鉛［
Ｐｂ（Ｃｏ＿１＿／＿２Ｗ＿１＿／＿２）Ｏ＿３］、ニ
ッケルタングステン酸鉛［Ｐｂ（Ｎｉ＿１＿／＿２Ｗ＿
１＿／＿２）Ｏ＿３］、亜鉛タングステン酸鉛［Ｐｂ（
Ｚｎ＿１＿／＿２Ｗ＿１＿／＿２）Ｏ＿３］のうち少な
くとも１種類を固溶させることを特徴とする圧電性磁器
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325290A JPH02170583A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 圧電性磁器およびその製造方法 |
| KR1019890012551A KR930006568B1 (ko) | 1988-12-23 | 1989-08-31 | 압전성 자기 및 그 제조방법 |
| EP89117108A EP0374378B1 (en) | 1988-12-23 | 1989-09-15 | Piezoelectric ceramic and manufacturing method thereof |
| DE89117108T DE68905911T2 (de) | 1988-12-23 | 1989-09-15 | Piezoelektrische Keramik und Verfahren zu ihrer Herstellung. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325290A JPH02170583A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 圧電性磁器およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170583A true JPH02170583A (ja) | 1990-07-02 |
Family
ID=18175163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325290A Pending JPH02170583A (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 圧電性磁器およびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0374378B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02170583A (ja) |
| KR (1) | KR930006568B1 (ja) |
| DE (1) | DE68905911T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4307804A1 (de) * | 1993-03-12 | 1994-09-15 | Hoechst Ceram Tec Ag | Piezokeramischer Werkstoff mit großer piezoelektrischer Aktivität und hoher Dielektrizitätszahl |
| KR100674470B1 (ko) * | 1998-08-14 | 2007-06-04 | 주식회사 에스세라 | 압전세라믹 조성물 |
| KR100402469B1 (ko) * | 2000-12-21 | 2003-10-22 | 안달 | 마이크로파 유전체 세라믹 조성물 |
Citations (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5116500A (ja) * | 1974-08-01 | 1976-02-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS5183751A (ja) * | 1975-01-21 | 1976-07-22 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS5769788A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-28 | Toshiba Corp | Piezoelectric oxide material |
| JPS59193079A (ja) * | 1983-04-15 | 1984-11-01 | Nec Corp | 電歪磁器組成物 |
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| JPS63225403A (ja) * | 1987-03-13 | 1988-09-20 | 株式会社村田製作所 | 誘電体磁器の製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1050449A (ja) * | 1962-07-24 | 1900-01-01 | ||
| JPS5557204A (en) * | 1978-10-24 | 1980-04-26 | Nippon Electric Co | Porcelain composition |
| JPS62210613A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | 松下電器産業株式会社 | 積層コンデンサ素子 |
| JPH0265186A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電性磁器組成物 |
| US5006956A (en) * | 1988-11-07 | 1991-04-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dielectric ceramic composition |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325290A patent/JPH02170583A/ja active Pending
-
1989
- 1989-08-31 KR KR1019890012551A patent/KR930006568B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-15 EP EP89117108A patent/EP0374378B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-15 DE DE89117108T patent/DE68905911T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68905911D1 (de) | 1993-05-13 |
| KR900009492A (ko) | 1990-07-04 |
| DE68905911T2 (de) | 1993-11-11 |
| KR930006568B1 (ko) | 1993-07-21 |
| EP0374378A3 (en) | 1991-04-10 |
| EP0374378B1 (en) | 1993-04-07 |
| EP0374378A2 (en) | 1990-06-27 |
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